【其他行业标准】 锗单晶安全生产规范

ICS13.100
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1182—2016bzxz.net
锗单晶安全生产规范
Safe-production specification for germanium single crystal2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2017-01-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。YS/T1182—2016
本标准起草单位：云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、云南东昌金属加工有限公司、中锗科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：普世坤、包文东、惠峰、朱知国、李正美、柯尊斌、董汝昆、杨素心。1范围
锗单晶安全生产规范
YS/T1182—2016
本标准规定了储单晶安全生产的基本安全要求、工艺作业安全、设备设施安全作业要求、检修维护、危险源辨识、风险评价、风险控制、应急管理、职业健康和事故处理管理等。本标准适用于以区熔锗锭为原料生产锗单晶及晶片的安全生产管理。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB2893
安全色
GB2894
GB3095
安全标志及其使用导则
环境空气质量标准
GB/T11651个体防护装备选用规范GB12348
工业企业厂界环境噪声排放标准GB/T12801
GB/T13861
GB15630
生产过程安全卫生要求总则
生产过程危险和有害因素分类与代码消防安全标志设置要求
劳动能力鉴定职工工伤与职业病致残等级GB/T161803
GB18218
危险化学品重大危险源辨识
GB/T28001
职业健康安全管理体系要求
GB50019
GB50034
GB50140
采暖通风与空气调节设计规范
建筑照明设计标准
建筑灭火器配置设计规范
GBZ1工业企业设计卫生标准
GBZ2（所有部分）工作场所有害因素职业接触限值AQ/T9002
基本安全要求
3.1从业人员
生产经营单位安全生产事故应急预案编制导则3.1.1从业人员应进行职业适应性选择和职业健康体捡，满足工作要求。3.1.2应按照《安全生产培训管理办法》的规定，对从业人员分级进行安全卫生专项教育和培训，培训考核合格后上岗工作，教育和培训应包括但不仅限于以下内容：熟知本岗位生产过程中存在和可能产生的危险和有害因素及危险源，必要时能果断采取防范措施；
掌握岗位所需的消防知识和消防器材使用方法；能正确使用岗位劳动防护用品、用具；1
YS/T1182—2016
—掌握事故应急处理和紧急救护方法；一了解岗位工作可能产生的职业病损害及预防方法。3.1.3特种作业人员应按国家有关规定经专门机构安全作业培训，取得特种作业操作资格证书，方可上岗作业。
3.1.4企业的主要负责人及安全生产管理人员，应具备与本单位所从事的生产经营活动相适应的安全生产知识和管理能力，并按法律法规要求取得相应资质后方可任职。3.1.5操作者上岗前应经过系统的操作维护和安全技能培训，熟悉各设备、设施结构，掌握其性能、使用和维护方法及安全操作规程，并经过相关部门考核通过，获得安全操作资格证书。3.2管理制度
3.2.1应结合自身实际以文件化形式建立并保持可量化的安全生产目标。3.2.2贯彻执行国家的法律、法规，建立、健全安全生产责任制及安全生产管理网络，明确各级、各类人员要全生产职责，制定定期安全生产教育和培训考核奖惩办法。3.2.3应设置安全生产管理机构或者配备专职或兼职安全生产管理人员，对企业的各项安全活动以制度的形式加以规范，具体内容应符合国家相关法律法规的规定。3.2.4应建立识别和获取安全生产法律、法规、标准规范的渠道和方式，保证其适用和有效，并将相关要求及时转化为本单位规章制度，同时传达给相关方。3.2.5应根据生产工艺、技术及设备设施特点和材料、产品的要求，及时编制安全作业操作规程，制定各类设备设施使用、报废、拆除的管理规定3.2.6应建立安全生产体系文件发放领用登记制度，将各类规章制度及时发放到相关工作岗位，规范从业人员的作业行为。
3.2.7应建立安全生产有关规章制度、操作规程等执行情况的定期检查评估机制，每年至少一次，并根据评估结果及时对文件、制度进行评价与修订，始终保证与现场安全生产状况相符3.3作业环境
3.3.1企业应为操作者提供良好的作业环境。作业区域环境应符合GBZ1的规定；工厂区大气环镜应符合GB3095的规定；生产作业过程安全卫生要求应符合GB/T12801的规定。3.3.2作业场所温度、湿度、通风、照度、噪声、粉尘、有毒有害气体等规定应满足但不仅限于以下内容：温度、湿度应符合国家相关法律法规的要求；工作场所通风良好，应符合GB50019的规定；一工作场所光线应充足，照度值应符合GB50034的规定；作业场所的噪声应符合GB12348的规定，各种消声设施应运行良好；一工作场所职业接触的粉尘、有毒有害气体等，其限值应符合GBZ2的相关规定；一工作场所消防设施应保持完好，且符合GB50140及GB15630的规定；使用化学品时应遵循《工作场所安全使用化学品规定》。3.3.3生产作业操作现场应有严格的管理措施，与生产无关人员非经允许不得进入生产操作现场。3.3.4作业场所应设有专用安全通道。3.3.5工作场所的器物应摆放平稳有序，地面整洁畅通，脚踏设施牢固完好。坑、井、池等应设置盖板或护拦，人行通道两边不得有突出或锐边物品。3.4安全标识
3.4.1作业现场应正确配置、规范使用安全标识。安全标识、安全色应分别符合GB2894和GB2893的规定。
3.4.2危险场所应设置危险标识或警告标识。3.4.3变、配电场所应设立防触电安全标识。危险化学品贮存场所应设立醒目的防火、防爆、防毒标识及应急措施标识。3.4.4
跨越道路的管线应设置限高及介质名称、流向标识。3.4.6
设备检修、清理现场应设有明显的警示标识。3.4.7
施工、吊装等作业现场应设置警戒区域、警示标识。YS/T1182—2016
其他危险因素的生产经营场所和有关设施、设备上，也应设置明显的安全警示标识。3.5
其他要求
3.5.1禁止使用国家明令淘汰、危及生产安全的工艺、设备。3.5.2对重大危险源应登记建档，应进行定期检测、评估、监控，并制定应急预案，告知从业人员和相关人员在紧急情况下应采取的应急措施，3.5.3应根据职业要求及岗位性质配备必要的劳动保护、防护用品、用具。劳动保护、防护用品、用具的配置和管理应符合GB/T11651的现定。工作人员工作前应正确穿戴好工作服和有关劳保用品。3.5.4工艺生产所用的化学品等的运输、贮存、使用和管理应符合国家相关规定。3.5.5作业场所所在单位应对进入作业现场相关方人员进行进人现场前的安全教育培训，对可能接触到的危害及应急知识进行教育和告知，并做好现场引导与防护。4工艺作业安全
4.1总则
企业应建立健全锗单晶生产及加工过程的安全技术操作规程，4.2腐料
4.2.1不应用手直接接触腐料，接触经腐蚀的区熔锗锭时，应戴一次性手套。4.2.2双氧水和氢氧化钠具有较强的腐蚀性，如果沾上皮肤应用大量清水冲洗。4.2.3装料时高度不应超过石英埚的三分之二，层间应有一定的间隙，防止溶液沸腾时把石英器皿撑坏。
4.3开机
开炉前，按工艺要求检察水、电、气是否符合要求，确认无误后方能开炉。4.4热场装置
4.4.1石墨碳毡不能超出上密封圈，应平整的铺在炉底上。4.4.2对不锈钢垫片和螺母上的螺钉紧固时不宜拧得过紧以免螺钉断裂。4.4.3碳毡不能与加热器接触，防止加热时造成短路，损坏石墨部件。装料、抽空、加热熔料
4.5.1放入掺杂剂锑或镓，并用万能表检查加热器，确保对地不短路。4.5.2打开回水阀门、出水阀门并检查各个部位保证有水通过，打开主真空泵，运行几分钟后将抽气阀门打开，运行30min后观察真空度应在3Pa以下，若达不到此要求说明真空泵有问题应排除后才能运行。
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4.6等径
在等径过程时操作者禁止离开工作岗位，以免发生事故。4.7降温、停机
降温完成后关闭加热、欧陆控制、晶转、埚转及总控制等电源开关。氩气在保持1h后将出气阀门关闭，再将流量计关闭，冷却水温度降至90℃后才能关闭进水阀门。4.8出炉
支好取晶架，戴好手套，以免被烫伤或划伤。4.9
产品包装
4.9.1盛装产品的塑料袋、包装箱应密封结实，并在包装上标识易碎、禁止倒置等标志。4.9.2产品采用机械自动化包装时，按设备、设施相应的安全操作规范进行。4.9.3产品应码放整齐有序，防止超高坠落，周围严禁站立、通行。5设备、设施的安全作业要求
一般规定
5.1.1安全设备设施的建设应与主体工程同时设计、同时施工、同时投入生产和使用，具体应符合国家有关法律法规和标准规范。
5.1.2在用设备设施应保持完好，功能发挥正常。损坏或出现故障，应及时修复，确保使用安全。5.1.3设备设施建设应采用新技术、新工艺、新设备和新材料等先进技术成果，促进设备设施更新和技术升级，保障生产安全。
5.1.4应经常保持磨边机、单轴机、铣磨机、切片机等机床各部位的清洁，及时清除磨屑，并存放在指定位置，不得随意拆卸箱盖或其他部件。5.1.5磨边机、单轴机、铣磨机、切片机工作时，操作者不允许离开工作岗位，如需离开，无论时间长短都应停机，以免发生事故。
5.1.6磨边机、单轴机、铣磨机、切片机的操作人员下班前，应将无零件的机器置零位。工作完毕应清洗机床，关闭电源，检查所有开关是否关闭，整理机床周围环境和卫生。5.2
2重点设备设施
5.2.1总则
应建立重点设备设施档案及登记台账，并设专人负责对其运行状况进行监控管理，同时接国家法律法规及标准规范的规定进行定期检验评价，确保安全运行。重点设备设施应包括但不仅限于5.2.2～5.2.7所列设备。
5.2.2大型运转设备
1设备运转、移动部位和高温操作区域应采取安全防护。5.2.2.1
设备发生故障时应停机检修，启动设备时应防止超负载启动。运转设备现场应设置急停开关。5.2.2.3
5.2.3单晶炉
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开机前应对单晶炉各部位及辅助设备进行检查，检查正常方可进行正式生产。5.2.3.1
操作者在工作时不允许离开工作岗位，不得随意拆卸单晶炉盖或其他部件。5.2.3.3工作完毕应关闭电源，检查所有开关是否关闭，并整理单晶炉周围环境卫生。5.2.4磨边机、单轴机
开机前先检查机床各部位（如顶针等），确保正常工作，单轴机还应检查所使用的模具是否符合5.2.4.1
要求，确定正常以后方可开机。工作时应戴手套，并检查手柄的正确性，保持在定位位置上。5.2.4.2
装卸工件及夹具时，应停车进行，如要测量工件，应待机床停稳后测量，严禁机床运转时测量。单轴机除台面要经常保持清洁外，还应把所用的模具甩干放在指定位置。5.2.5铣磨机
5.2.5.1开机前应对机床各部位进行检查，对润滑部位加注润滑油，加工前先试转，并检查冷却液喷射状态，运行正常方可正式生产。5.2.5.2装夹零件前，查看夹具工作面是否有赃物，如有应清扫干净后才能进行装夹。拆装磨具时应按规定的方法进行，严禁敲打主轴。在零件进刀时，应轻缓均匀放下操作杆，铣磨过程应避免零件被磨轮卡住。
加工完成后的零件应待机器停稳方能取下，以免伤手。5.2.6切片机
切片机应有警示线（如危险方向），防止他人靠近。5.2.6.2
开机前应对机床各部位进行检查，应对润滑部位加注润滑油。每关应做到开启和关闭空气压缩机，根据季节变化，定期排除积水，保证切片机所需气压。5.2.6.4工作时应检查手柄的正确性，并保持在定位位置上。5.2.6.5
按照图样和相关技术文件要求设置切片机程序，加工前先试运行程序，确认切片厚度、加工余量都满足要求，并检查冷却液喷射状态，一切运行正常方可正式生产。5.2.6.6将被切棒料与粘接头在两面比较吻合的情况下粘在一块，保证两者牢固可靠，在切片机停止工作的状态下装上材料。
动力及运输设备
氩气、真空泵、变电所、供排水、运输等设备设施的建设及使用应符合国家相关规定。运输压缩气体的车辆应按国家相关规定办理许可后方可运营6检修维护
资质确认
检修维护单位应具备相应的检修资质，检修人员应有相应作业的资格证或上岗证。6.1.2受检部门应对检修作业单位及人员的检修资质和能力进行确认。6.2
检维修作业
根据检维修业务情况，编制检维修计划。6.2.2
检维修计划应经过专业性确认，安全、可行方可实施。5
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对检修过程可能遇到的危险，危害因素等进行识别，并应制定安全防范措施。6.2.4
根据检修业务，应对检修人员进行必要的安全培训教育。6.2.5配备必要的开动保护、防护用品，对现场安全条件进行确认，确认安全方可作业6.2.6需办理检修作业手续或证件时，应按规定办理，检维修作业应在适当位置悬挂警示标识牌。6.2.7
检维修期间，应对检维修现场进行安全检查。6.2.8
检维修后的设备设施应确认安全后方可投入使用。6.3报废与拆除作业
应按相关制度规定的程序要求，确定报废、拆除的对象，相关部门负责人应进行现场确认交接，6.3.1
并办理交接手续。
6.3.2应对需拆除的设备设施及周边环境进行危险、有害因素识别，制定拆除计划或方案，确保作业过程安全。
6.3.3安全设施不得随意拆除、挪用或弃置不用，因检维修拆除的，检维修完毕后应立即还原。6.3.4拆除作业期间，应进行现场安全检查，确保安全。7危险源的辨识与风险评价、风险控制危险源的辨识与风险评价、风险控制应符合GB18218、GB/T13861、GB/T28001及职业健康安全管理体系、环境管理体系和《关于开展重大危险源辨识监督管理工作的指导意见》的规定。单晶生长及加工过程的危险源辨识与风险评价、风险控制参见附录A。8应急管理
8.1应系统地识别和确定潜在突发事件，并充分考虑作业内容、环境条件、设备设施类型、应急救援资源等因素，编制应急预案。
8.2应急预案的编制应征求相关方意见，考虑多单位联动作业，应符合AQ/T9002的要求，并按规定上报备案。
企业应建立但不仅限于如下专项应急预案：危险化学品、有毒、有害物泄漏应急预案；危险化学品事故灾难应急预案；一氯气泄漏应急救援预案；
液氨泄漏应急救援预案；
大面积停电应急救援预案；
一火灾和爆炸应急疏散救援预案；突发环境事件应急预案；
一生产安全事故综合应急预案；一压力容器（气瓶）、压力管道事故应急预案；锅炉设备事故应急预案
8.3应进行应急培训、定期组织应急演练，使从业人员掌握应急要求和措施，并根据实际情况变化及时修订。
8.4结合工艺生产情况，应制定生产装置紧急情况下的应急处置措施。6
9职业健康
YS/T1182-—2016
应按照国家法律法规、标准规范的要求，为从业人员提供符合职业健康要求的工作环境和条件，配备与职业健康保护相适应的设施和工具。9.2各种防护用具应定点存放在安全、便于取用的地方，并有专人负责保管，定期校验和维护。9.3应对现场急救用品、设备和防护用品进行经常性的检维修，定期检测其性能，确保其处于正常状态。
9.4应定期对作业场所职业危害进行检测，并在检测点设置标识牌给予告知，注明产生职业危害的种类、后果、预防及应急救治措施，检测结果存档管理。9.5与从业人员订立劳动合同时，应将工作过程中可能产生的职业危害及其后果和防护措施如实告知，使其了解生产过程中的职业危害、预防和应急处理措施，并在劳动合同中写明。发生职业危害时，应按GB/T16180进行劳动能力、职业病致残等级的鉴定。9.6
应按规定，及时、如实向当地主管部门申报生产过程存在的职业危害因素，并依法接受其监督。10
事故处理管理
10.1事故发生后，应按规定及时向上级单位、政府有关部门报告，并妥善保护事故现场及有关证据。10.2事故发生后，应按规定成立事故调查组，明确其职责与极限，进行事故调查或配合上级部门进行事故调查。
10.3应查明事故发生的时间、经过、原因、人员伤亡情况及直接经济损失等，并分析事故的直接、间接原因和事故责任，提出整改措施和处理建议，并落实，编制事故调查报告。YS/T1182—2016
附录A
（资料性附录）
锗单晶企业危险源辨识与风险评价、风险控制调查表A.1锗单晶企业危险源辨识与风险评价、风险控制调查表用LEC法（对具有潜在危险性作业环境中的危险源进行半定量的安全评价方法）对储单晶企业危险源辨识与风险评价、风险控制进行调查的调查表见表A.1。表A.1
单晶生长
单晶生长
单晶生长
单晶加工
单晶加工
单晶加工
单晶加工
活动描述
检修、开机
氢气泄漏
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储生产企业危险源辨识与风险评价、风险控制调查表产生
单晶生
长区域
单晶生
长区域
单晶生
长区域
单晶加
工区域
单晶加
工区域
单晶加
工区域
单晶加
工区域
危险危
害因素
可能导致
的事故
电击伤人
设备损坏
爆炸伤人
化学品腐
蚀伤人
锯片伤人
滚筒伤人
磨具伤人
伤人及损
坏产品
风险评价
LEC法
措施控制
设置标识牌，
提高安全意识
定期检查
注意手部防护
注意手部防护
注意手部防护
注意磨具紧固
及手部防护
注意粘牢
书号：155066·2-33752
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