【其他行业标准】 真空技术 多级罗茨干式真空泵

ICS23.160
备案号：34898—2012
中华人民共和国机械行业标准
JB/T11237—2011
真空技术
多级罗茨干式真空泵
Vacuum technology--Multi-stage roots dry pumps2011-12-20发布
2012-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布前言.
2规范性引用文件
3术语和定义
4型式与基本参数
4.1．型式．
基本参数
技术要求，
测量方法.
测量装置，
测量条件
抽气速率和极限压力的测量，
消耗功率的测量
工作温度的测量
噪声的测量
入口最大允许压力的测量
电气控制测试
无油测试.
7抽样及判定方法
7.1抽样方法．
7.2判定方法
8检验规则..
9标志、包装、运输和贮存
图1测试罩及异径接头..
表1基本参数．
表2测试罩直径尺寸
检验项目，
JB/T11237—2011
JB/T11237—2011
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。本标准负责起草单位：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司。本标准参加起草单位：北京朗禾科技有限公司、浙江真空设备集团有限公司、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：张振厚、王光玉、孔祥玲、徐曦、许涛、何敏剑、李春影。本标准为首次发布。
1范围
真空技术多级罗茨于式真空泵
JB/T11237-2011
本标准规定了多级罗茨干式真空泵基本参数、技术要求、测量方法与检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于除单级、双级以外的多级罗茨干式真空泵。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191-2008包装储运图示标志GB/T3163-2007真空技术·术语
GB/T6995.4一2008电线电缆识别标志方法第4部分：电气装备电线电缆绝缘线芯识别标志GB/T6995.5—2008
3电线电缆识别标志方法第5部分：电力电缆绝缘线芯识别标志GB/T13306—1991
GB/T16935.1—2008
：低压系统内设备的绝缘配合第1部分：原理、要求和试验容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量GB/T19956.1--2005
容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量GB/T19956.2—2005
真空技术真空泵噪声测量
GB/T21271—2007
GB22360—2008
真空泵安全要求
3术语和定义
GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
抽气速率volumeflowrate
当泵装有标准测试罩并按规定条件工作时，从测试罩流过的气体流量与在测试罩上指定位置测得的平衡压力之比，简称泵的抽速，单位为升每秒或立方米每小时（L/s或m\/h）。3.2
几何抽速geometricvolumeflowrate泵按额定转速运转时，单位时间内主级抽出气体的几何容积，单位为升每秒或立方米每小时（L/s或m2/h)。
注：通常以第一级作为多级干式罗茨真空泵的主级。3.3
极限压力ultimatepressure
泵正常工作且没有引进气体的情况下，标准试验罩内逐渐接近的压力值。3.4
全压力totalpressure
通常当“压力”不能明确区分分压力和它们之和之间的区别时，用来表示气体混合物所有组分分压力之和。
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4型式与基本参数
4.1型式
泵的结构型式是多级罗茨转子串联在一对真空泵轴上做反向同步旋转运动，转子与泵腔间不接触，以极小间隙密封气体，多级串联的形式使气体逐级被压缩，可直排大气。2型号
型号表示方法：
口口口口口口
代表真空泵设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C、·顺序表示
名义抽气速率，单位为升每秒（L/s）适用工艺环境，“F”表示被抽气体为腐蚀性气体，无特指情况下省略
干式真空泵，用“G”表示
罗茨型转子多级泵，用“LC”表示真空泵级数，以阿拉伯数字表示，可省略示例：用于抽除腐蚀性气体，抽气速率为30L/s的五级罗茨干式真空泵，型号为“LCG-F100A”。4.3
基本参数
泵的基本参数应符合表1的规定。表1
抽气速率
LCG-30A
LCG-45A
LCG-70A
LCG-170A
LCG-280A
LCG-F30A
LCG-F45A
LCG-F70A
LCG-F170A
(m2/h）
30（100）
45（160）
70（250）
170（600）
280（1000)
30（100）
45（160）
70(250)
170（600）
LCG-F280A2
280（1000)
极限全压力
(无气镇）
噪声a
dB (A)
噪声是在泵安装罩壳和排气阀的条件下测量。注：以上技术参数是以五级罗茨干式真空泵为例。5
技术要求
基本参数
额定转速
推荐配用
电动机功率
进气口
公称通径
气镇量
抽气效率
10Pa时
1kPa时
泵的各项性能指标应符合表1的规定，并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。5.1
泵的工作环境温度为5℃～35℃。泵的零部件装配前必须做清洁处理。泵的外表面应油漆光洁，紧固件及其他外露加工面应做防锈处理。≥20
泵应给出平均无故障工作时间（MTBF）和平均维护周期。5.5
泵在入口压力1000Pa下连续运转500h后的性能指标应符合本标准的规定。5.7
泵工作时的入口最大允许压力应≥6000Pa。5.8
泵的动密封不允许有漏油现象。5.9应测量泵的最高工作温度。
JB/T11237-2011
5.10泵应具备一定的电气控制系统，在功率过载、水冷失效或气镇失效的情况下，可自动停泵或报警提示。
5.11泵的设计、安装、运行、维修及拆卸过程应符合GB22360一2008中的规定。6测量方法
6.1测量装置
6.1.1测试罩
如图1a）所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D，D是罩的内径。实验气体进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D，进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力和极限压力的真空计在距离连接法兰0.5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。除了进气管路外，法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁。测试罩的容积Vp至少应是泵一个压缩周期扫过容积V。的5倍。在泵入口必须连接一个异径接头，其长度不应超过0.5D（见图1b））。单位为毫米
接进气阀
接真空计
a)测试罩
泵入口直径
b)异径接头
图1测试罩及异径接头
JB/T11237—2011
对于给定规格的泵，罩尺寸在表2中给出。表2测试罩直径尺寸
6.1.2压力计
1.1～4.2
65～260
对于压力高于或等于1Pa时，其校准精度为土5%，对于更低压力，校准精度为土10%。6.1.3功率表和电流互感器
功率表应具有0.5级精度，电流互感器应具有0.2级精度。6.2测量条件
测量时应符合以下条件：
a）泵的转速及配用电机应符合产品设计规定，泵的实际转速与规定转速相差不得超过土3%；b）测量时环境温度应为15℃～25℃，测量期间温度波动不大于土1℃；c）测量气体为干燥空气，相对湿度不大于75%；d）测气镇泵时，其掺气量应符合设计要求。6.3抽气速率和极限压力的测量
按GB/T19956.1和GB/T19956.2中的规定进行测量。要求绘制抽气速率和入口压力关系曲线，即S-p曲线，并记录测试条件参数。要求绘制流量和入口压力关系曲线，即9-p曲线，并记录测试条件参数和极限压力时泵的消耗功率。
6.4消耗功率的测量
6.4.1测量方法
在不同入口压力下，用功率表测泵驱动电动机的输入功率，然后乘以电动机不同负荷下的效率，即为泵的消耗功率。泵消耗功率的测量可与抽气速率的测量同时进行。要求绘制消耗功率和入口压力关系曲线，并记录测试条件参数。6.4.2测量步骤
关闭微调阀和辅助进气阀，开泵运转，待泵温平衡后，开启微调阀和辅助进气阀，使罩内压力由低至高，逐点稳定，同时测取功率值，测量值应具有两位有效数字。对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的消耗功率。
6.5工作温度的测量
泵在极限压力下运转1h后，测量泵最后-一级泵腔侧壁中心点的最高温度，连续观察30min，若温度变化不超过1℃，此最终温度即为泵的工作温度。温度的测量使用铂电阻，准确度等级为A级。对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，继续运转1h，再测量气镇时的工作温度，工作温度最好与极限压力同时测量。6.6噪声的测量
按GB/T21271中的规定进行测量。6.7入口最大允许压力的测量
JB/T11237—2011
按GB/T19956.1中的方法，调节泵的入口压力值。能使泵连续运转1h，且不发生异常所允许的入口压力的最大值即为泵的入口最大允许压力要求记录泵在入口最大允许压力状态下的消耗功率。6.8电气控制测试
根据泵设计和使用环境的要求，对泵电气控制系统逐项进行测试。一般包括，泵的启/停、功率、温度、气体流量、冷却水、泵出气口压力等监控电路的检测泵电气控制系统的电气装备电线电缆绝缘线识别标志的方法按GB/T6995.4和GB/T6995.5中的规定选用。
泵电控系统中电气间隙、爬电距离和固体绝缘的要求按GB/T16935.1规定的试验方法进行。6.9无油测试
在泵入口安装水冷盲板，使泵在极限压力下运转4h后，检查盲板内侧是否有油蒸气冷凝后的油迹，有则判定不合格。
7抽样及判定方法
7.1抽样方法
7.1.1检查批的组成
单台泵经简单汇集形成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输批相同或不同，由同一规格型号或不同规格型号、同一质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台泵组成。但每个检查批的批量不得高于100台。
批的组成、批量大小以及识别批的方式等，应协商确定。7.1.2抽样方案
采用一次抽样方案。每批样本数为两台，不合格判定数为0。7.1.3样本的抽取
样本应从检查批中随机抽取，可在批构成之后或在批构成过程中进行。7.1.4样本的检验
抽取的样本按第6章规定的方法进行检验。7.2判定方法
每台泵（样本）必须符合本标准全部考核项目的技术要求为合格产品，凡达不到本标准规定的任何一项指标，均判定为不合格品。两台样本均为合格品，则判该批为合格批，否则判该批为不合格批。
8检验规则
8.1每台泵必须经制造厂检验部门检验合格，并附有产品质量合格证方可出厂。8.2泵的检验分为出厂检验和型式检验，检验项目见表3。8.3有下列情况之一时，泵应进行型式检验：a）新产品试制时；
b）当产品在设计、工艺或使用材料等方面有重大变更而可能影响产品性能时：c）产品长期不生产，而恢复生产时；d）正常生产的产品，每年或积累一定产量后，应周期性进行型式检验抽查。5
JB/T11237-—2011
检验项目
连续运转24h，检验泵是否运行平稳测量极限压力下泵的消耗功率
测量泵的噪声
测量极限全压力
电气控制测试
泵无油测试
测量抽气速率
测量泵入口最大允许压力
测量消耗功率
测量泵的工作温度
500h连续运转试验
注1：“△”表示必须做。
注2：“”表示不做。
9标志、包装、运输和存
表3检验项目
出厂检验
型式检验
本标准所属条款
技术要求
9.1每台泵均应在明显部位装上产品标牌，其尺寸符合GB/T13306的规定。应注明：a）泵型号及名称。
b）制造厂名称。
c）泵技术参数：
·极限压力，单位为帕（Pa)；
·抽气速率，单位为升每秒（L/s）；·配用电动机功率，单位为于瓦（kW)；·转速，单位为转每分（r/min）。d）泵的编号。
e）泵出厂日期。
9.2泵出厂前应在相应的位置标出“电动机转向”符号。检验方法
第6章
GB/T21271
GB/T19956.2
GB/T19956.1
第6章
9.3泵出厂应装箱，进、出口必须封盖。备件及技术文件必须随机附带，并应妥善放置在箱内，以免在运输中遗失或损坏。
9.4产品的包装储运图示标志应符合GB/T191的规定。包装箱的标志保证不因雨水冲刷或历时过久而模糊不清。
包装箱外应有下列清晰字样和标志：a）制造厂名称、地址、产品的名称、型号及编号；b）收货单位名称及地址；
c）装箱尺寸、重量，共×箱，及“小心轻放”、“怕雨”、“不许倒置”等字样。9.5泵出厂应附带下列文件：
a）装箱单；
b）产品合格证；
c）产品使用说明书。
9.6不装箱的产品不允许露天存放，以免发生锈蚀和损坏。6
JB/T11237-2011
打印日期：2013年2月22日F008A00中华人民共和国
机械行业标准
真空技术多级罗茨干式真空泵
JB/T11237---2011
机械工业出版社出版发行
北京市百万庄大街22号
邮政编码：100037
210mm×297mm·0.75印张·17千字2012年8月第1版第1次印刷
定价：15.00元
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