本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。 GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 GB/T8758-1988
GB/T 4196-1984 钨,钼条密度测定方法 GB/T4196-1984
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