本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。 本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。 本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。 本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。

本标准规定了高纯四氯化锗红外透过率的测定方法。 本标准适用于高纯四氯化锗红外透过率的测定，测定范围为0～100%。

本部分规定了拟薄水铝石孔容和比表面积的测定方法。 本部分适用于拟薄水铝石孔容和比表面积的测定，测定范围：孔容0.10 mL/g～1.20 mL/g，比表面积200.0 m2/g～400.0 m2/g。

本部分规定了拟薄水铝石中烧失量的测定方法。 本部分适用于拟薄水铝石中烧失量的测定，测定范围：25%～40%。

本部分规定了拟薄水铝石中胶溶指数含量的测定方法。 本部分适用于拟薄水铝石中胶溶指数含量的测定，测定范围：88%～98%。

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

本部分规定了沸石非离子液体携带能力的测定。 本部分适用于沸石非离子液体携带能力的测定。测量范围40g～70g。 YS/T1065—2015《沸石物理性能测定方法》分为以下4个部分: ———第1部分:钙交换能力的测定 EDTA 滴定法; ———第2部分:粒度的测定 离心沉降法; ———第3部分:灼烧失

本部分规定了离心沉降法测定沸石的粒度分布。 本部分适用于离心沉降法沸石粒度的测定。测定范围：0.5μm～5μm。 YS/T1065—2015《沸石物理性能测定方法》分为以下4个部分: ———第1部分:钙交换能力的测定 EDTA 滴定法; ———第2部分:粒度的测定 离心沉降法; ———第3部分:灼烧