【其他行业标准】 外延钉缺陷的检验方法

ICS77.040
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T24—2016
代替YS/T24—1992
外延钉缺陷的检验方法
Test methods for spike of epitaxial layers2016-04-05发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2016-09-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草YS/T 24—2016
本标准代替YS/T24一1992《外延钉缺陷的检验方法》。与YS/T24一1992相比，本标准主要变化如下：
增加了“规范性引用文件”和“术语和定义”；增加了“方法2无损测试”。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司。本标准主要起草人：马林宝、杨帆、孙燕、徐新华。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：YS/T24—1992。
1范围
外延钉缺陷的检验方法
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。YS/T 24—2016
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4um的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T14264半导体材料术语
3术语和定义
GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件，3.1
钉缺陷spikes
外延生长过程中形成的表面突起物，通常是由于衬底表面颗粒导致外延后的硅突起物，4方法1有损测试
4.1方法提要
有损测试是将一片聚酯塑料薄膜沿三个不同方向推过试验表面，在两个或两个以上方向碰到的表面突起物被判定为钉缺陷。
4.2材料
4.2.1真空吸片装置或镊子。
4.2.2聚酯塑料薄膜，厚度为25μm，面积为50mm×50mm。4.3测试步骤
用真空吸片装置吸住试样背面，或用镊子夹持住试样，对于仲裁检测，也可将试验外延面朝上置于清洁表面上。
4.3.2拇指和食指夹住聚酯塑料薄膜，使薄膜在拇指下延伸约25mm，并与试样表面成45°倾斜。4.3.3在主参考面对面，将聚酯塑料薄膜与试样接触，如图1所示。1
YS/T24—2016
聚酯塑料薄膜
薄膜移动方向
图1试样和聚酯塑料薄膜放置方向4.3.4推动聚酯塑料薄膜至主参考面，即图2中方向1。使聚酯塑料薄膜重复做一系列平行且互相叠加的移动。4.3.5
4.3.6记下聚酯塑料薄膜与突起物相碰的每一个位置。4.3.7对其余两个方向（图2中方向2和方向3)重复4.3.5～4.3.6。三个方向大致互成120°角。4.3.8在两个或两个以上方向上，聚酯塑料薄膜与试样表面突起物相碰的每一个位置，作为一个钉缺陷。
注：必要时，可用显微镜检查钉缺陷的存在及位置4.4精密度
本方法对单个实验室精密度为士5%，对多个实验室精密度为士10%。图2移动方向
5方法2无损测试
5.1方法提要
无损测试采用光散射方法逐行扫描硅外延片表面，测量硅外延片表面的突起物。本方法采用表面颗粒测试仪器。
5.2仪器
表面颗粒测试仪器通常由激光系统、扫描系统、检测系统、晶片运动系统以及软件系统等组成5.3
3干扰因素
5.3.1部分系列的表面颗粒测试仪器由于是直射法，受仪器工作原理限制，部分型号仪器可以测量硅片表面异物，但是不能区别形貌，测试结果包括凹坑数量。这种情况下可将硅外延片在点光源下进行目检区分，大粒径的钉缺陷能被有效识别。2
5.3.2未清洗的硅外延片测试结果会受到表面大颗粒的影响。5.4测试环境
在测试仪器允许的洁净环境内测试，温湿度按照洁净级别相应的温湿度执行5.5试样
硅外延片应具有清洁、干燥的表面，必要时，测试之前需对硅外延片进行清洗。5.6
5测试步骤
YS/T 24—2016
选取待测硅外延片，正面朝上放人专用测试片架中，然后置于测试仪器待测硅片位置。5.6.1
2启动测试仪器，设置扫描下限为4μm。5.6.2
5.6.3测试仪自动对硅片进行表面扫描。输出图形，获得数量和分布等测试结果。5.6.4车
5记录粒径为4um以上的颗粒数量，即为硅外延片表面的钉缺陷数量，5.7
精密度
本方法单个实验室测试重复性为8%，对三个实验室测试再现性为11%。5.8bzxZ.net
3试验报告
方法1和方法2的试验报告应包括下列内容：产品类型；
b）样品编号；
c）有钉缺陷试样数与被检试样数；d）本标准编号；
e）检验单位、检验者和检验日期；f
仲裁检验应包括标有钉缺陷大致位置的试样形貌图。YS/T24-2016
中华人民共和国有色金属
行业标准
外延钉缺陷的检验方法
YS/T24—2016
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2017年7月第一版
书号：155066·2-31781
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