本标准规定了用于粉状，颗粒状物料干燥的旋转闪蒸干燥机的术语与定义，型号与标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。 本标准适用于旋转闪蒸干燥机。

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。 本标准适用于普通型式的溅射离子泵。

本标准规定了磁悬浮分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。

本标准规定了用于粉体物料制粒的沸腾制粒机的术语和定义、型号与标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。 本标准适用于沸腾制粒机。

本标准规定了单级液环(水或其它液体)真空泵入口压力400 hPa点的等温压缩效率曲线及应用方法。 本标准适用于气量大于或等于1 m3/min的单级液环真空泵。

本标准规定了制冷机低温泵的结构与基本参数、技术要求、主要性能测试、质量评定以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于外接式氦制冷机低温泵。

本标准规定了往复真空泵的型式和基本参数、技术要求、抽样及判定方法、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于抽除不含颗粒的气体的往复式真空泵。

本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。 本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。

本标准规定了湿式罗茨真空泵的型式与基本参数、技术要求、抽样及判定方法、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于湿式罗茨真空泵。

本标准规定了喷雾冷却制粒机的术语和定义、型号与标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于石腊、硬脂酸、氨基脂肪酸固化物料的喷雾冷却制粒机。