本标准规定了真空阀门的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 JB/T 6446-2004 真空阀门 JB/T6446-2004

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定

本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。 GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T11164-1999

本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空兰和铜密封垫的型式、尺寸及技术要求。本标准适用于超高真空系统中公称通径为16mm～250mm用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密封垫。 GB/T 6071-2003 超高真空法兰 GB/T6071-2003

本标准规定了低、中、高真空设备所用法兰尺寸及密封结构。本标准适用于低、中、高真空设备的连接法兰。 GB/T 6070-1995 真空法兰 GB/T6070-1995

本标准规定了w 型真空泵的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于各种W 型真空泵，其他类型的真空泵亦可参照执行。 SJ/T 31412-1994 W型真空泵完好要求和检查评定方法 SJ/T31412-1994

本标准规定了公称通径R5系列从10~250真空管路配件(弯管、T形管、十字管)的装配尺寸。 GB/T 16709-1996 真空技术 管路配件 装配尺寸 GB/T16709-1996

本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。 JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件 JB/T4082-1991

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。 JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数 JB/T4081-1991

JB/T 4080-1991 高真空电磁阀 型式与基本参数 JB/T4080-1991