本标准规定了w 型真空泵的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于各种W 型真空泵,其他类型的真空泵亦可参照执行。 SJ/T 31412-1994 W型真空泵完好要求和检查评定方法 SJ/T31412-1994
本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。 JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件 JB/T4082-1991
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。 JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数 JB/T4081-1991
JB/T 4080-1991 高真空电磁阀 型式与基本参数 JB/T4080-1991
JB/T 4079-1991 高真空蝶阀 型式与基本参数 JB/T4079-1991
JB/T 4078-1991 高真空挡板阀 型式与基本参数 JB/T4078-1991
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