【国家标准(GB)】 真空技术 质谱检漏仪校准

1C8. 23.160
中华人民共利国国家标准
GB/T181932000
idt1s03530:1979
真空技术
质谱检漏仪校准
Vacuum technology --- Mass-speciromeler-lypeleakdetectorcalibration
2000-09-26发布
2001.02-01实施
国家质技术监督局发布
GR/T19193-2000
本标准等同采用1503530，1979真以技术质潜验确仪校证，在技术内容上与该国际标准等效，运是专圾到我过标准本导的持点及圾活的表理习慎，使该标准坚与国际标准接镇，文适合我国的国情，为此，对[303530：1979标准的人新书容作了综辑性替收本标难由国家机城业局提尚：
与标准土全国真空技术标准化找术委会恒口：本标业超节单位，比真室改术研究，本标懂丰奖起带入，龙方，幸影，任丽华，李玉美。GB/T18193—20DC
ISO前言
IS心（函际标准化组织>各国标准协会（O成员）也界性的联合组织。制定际标注工作尽通过TS技术索员分来进行的，每个成员部有权参加与感必想的议题所在的需员会，与1S心有关的历床组织，敢府的和非政府的也等加了这个下作。我术委另会采的的国际标准节案，被1理车会求射破为回质标准以的，版发陷各个委员会成员1SO3530国际标准为ISO/TC112其空技术委员会制定，并于1978年11片发辫每个品本标准由以下索成员通运：
爽天利亚
南其和,司
西班牙
没有成员表示反对这个文件。
静京斯将俄克
变人利
品民亚
+A/T18193—2000
ISO引
该称准规定了质诺检痛仪交能的使用序，即测定质谱检漏收元敏度，识该程库需更生用的：个校准孔和一种标注的气体混合物，不在这个部江的范再内，质谱检竭仪以下商彩“险润仅”。检酬仪用下机减礼（如针干！的棉和逆过许爽合材料而发牛的猫气的探.境北表面解吸，气化和气穴的患漏，散人他月检现仪探测，案率校准范用限在一个规足的水平，固为心于较大法漏这因表足不重要的，而对」遍率小丁1Pu·n·的泄谢这·个因索获得重要？检惕性检验的对象可双在高真空案件下或古高于大气压“。一般在两种情泌下检漏控,代将入同在第一冲情记下，检辨仪迟常在接近它的低的限压力下行工作：在案二种情况下，检漏仪常被使用在共最大或接近最大1.作压力。对应于这两个工作条，两个炎敏度术诺定为：“是小可校捐率\和最小而检浓度比\（见本标准旁2章)
这样定义的两个量卡有关季的担卡，从一个教邦大算得为一个效带不叫行，因此规定了洲定两者的方法。
该标雄用在真空技术判域中甚一系列泄漏试验程字和装骨标准之·。应用分类：气空生、验需仪校非、漏孔的校消、气体凝合特、膏新仪验收规范和再空设备的气率检验的一股和序，
述应用分类中的些项构成净兴标准的说愿E
1范田
中华人民共和国国家标准
真空技术质谱检漏仪校准
Vacuum leehnolosy-Muss->pectrumeler-lypleuk deleclor ealibrttiun
GB/T8193_200
dt 1$0 3530:1979
区际准规定了压许检误成H校非程序，它促注用」校将灵效元生处下尚点空系统叶的险需悦内此证个就在制订完整的验收试致。空扑准规宗坏系气体行用氧4.但在适当的顶措施下，可以使用其他探宽气体，如4。本际准的应用变列检渐仪示能测定小于1I）“P，··漏率漏孔限制。本标程序提出丁定或小可检需率和最小可检能度比的两个要点。定分别座用丁高再空和正方人于一个人的检滞假
2定义
本标雅采币下列定义。
2效惑余信）acgrou：residmalaignal2.-.14backgruund
没为注人按索气体证效设法治出的总的限象指示（本成发生在所咨盘中或在电设是了系统中或同时发血个两者中。于离下不间于述人探索体影产生的离以该术语可惯称为示2.2满
本活获领慢的这定，有效的参显是不现定的期间内即摄的最大操动。2..3+
术虑孜快地放。开效的率止是在规定的那问内改的媒产，2.1.本hrdimr baekgamnd
力检润仪些或检漏氧就释放出氮所造成的本病：2.2 件n
2. 2. 11管路变d详人亡管路 iniet L:ae ot ssmp:le inlet li:se探索气坏以试临件亦到检满仅丝过的色游，2.2.2人闲i
许速成样与检谢的低门：见图1它是位隔的主要前2.2.3阅enk isltiun vae
安装产挖循仪的涌了们试人厂学路之问均阅门（克医2.2.4 1 vilr
安装抛宝平人合薛价用的粗抽东和留路之间的阀见阅1)。2.2.放=划n
礼来引空气或地气件进人店空的空间以使那里质力增动大气乐的一个两门见图1）。2-2-E控：谢零控到1..-kr-ff mlml.omal国家质量技术益督局2001.0926批准2001-02-01买瓶
GB/T18193—2000
检渐议户的一种电控制，它可以改变仪表的输出指示：当补偿控制用于使输出指示返回列测度盘的零时也可称为调等控制
2.2.7质管ascrometertub
它是检痛钱的-个元作,探案气体在质诺管内被电离并被测定。2.2.8图极ilmwrl
安车谣百内用下也两气体的熟的心了说，2.3操索气体Aearchgas
在其空量试中，忙用在很检设备外表面通过询孔进人版备或在高十个大气压读试中人故检设备后通过耐孔速山训进行探侧的气件。2.4满f：leak3
2.4.1调孔leak
在真空技术中是一个扎制，儿险、谁透因章或一个封闭器壁上的其他结构在压力变浓度差作用下，使气体从能些的一测到另一例，也可以足个士间空系统人气体的装置，2.,2道道蒂孔channl leel
可以把它理想随当微长毛细答的一个减多个不连通道生成的谢孔，2.2.3薄藤满embraneleak
允诈气殖通过或考透穿还无子雌的种漏孔,对\氧，这种境可以尽玻璃、白英成其他适台的料，2. 2. 4分子误frmletmlar lale需孔的质量流率正比于说动气体分了质量平力根的倒效的一和酬孔。2.5范带滑Fvinco leak
满孔的质且流率正比于试动气体黏度的例效的一种满孔。2.4.6准孔alihrared leak
在定条件下，对干期定气这质适片的一种满孔。2.4.7你准漏孔yTEndard lk
在标准状多下,请率知的夜准谢孔，即漏孔一端湿度为(23二7)C压为_士5)kP:，而另一调下力较低致使对谢率的影响可以忽响：2.4.8恋漫irtual jex
在系统内，由于气体或蒸气的放白所引起的压为增加。2.5雨率leakea
2. 5. 1 字 leak rate
亦规烂条件下,规定气体通过滞孔的统量(单位为P：9-1)社，本积筑为醇开是“扫连“、当规了伍质气体牙子质最时：效量和历最率是等值的，2.5.2标空气设率tndadairleskrate在规定的标准状态下，降点任于25的空气满理一个引的满益。该标准状态量入口力为100Pa低P退2
2. 5. 3等标密气滑率uial-r1 slirul:-ril ir leak ri-1e对低于[0--[0\a：㎡·\标准空气滞率的分满乱,氢(分血]第经这样的端比空（分了量39.0)更火，即氢箱率宽应小为空气流率，规定杀件下，尝值标准宝气调率为√4/29一0.37氮清宰,
2.6检通仪的换作Www.bzxZ.net
:operatiun uf rheloekdereeto2.6.1-ik
当控需定用现有的气位作；损时，在图形记录器上显示的最大粘速通常艳需性对这含探索气体是现越的>：
2.5.2调择k
G/T18193—200
调整您前议的扫辅控糖（克2.6，3)，等好由净烯紫气体的输人和轴出齿号最大，2.6.3扫摘am
改变捡调仪的加速电正减其他等值工作象数）其改变替医内包措放案气休产生债的电厂。2.5.4调潜1
在拉漏技术中，调整检润议的一个或多个控制，使其对操索气依制应泄得最大。利用扫损控润谢读叫做缺冲雌化。
2.5.5周零er2
谢整补会成酬需控暂，使您检仅的第出携漂控盘的零处效然抗地标准点上。2.灵效北术语心nsitsvityterma2. 7.1英敏度ennitivity
收表输出变化引起响应的赫人变化的比，2.1.2量小可检信号uinimumdetectable signal内于引操案气体河产生的唤声和澳移俏受和，2.7.3最小a检孔，最小呼格温mininumdetectabieleak，ninitaum-detectabeleakate由需孔的标惟空游能定的，能够盾检润权明显检西的最小循孔受小心显此东源两还的探案气体的体识洗车作在离于源中评定的索气体的最小处压力所实定的，报公式：最小可检随收=
小可滑率为量小可检信和灵险之比。注：到车感体机库（拍进）动大同因素的逆最不可量率降实月择学。2.7.爱小检装mirinrdezeetabieconcenHrationtanio当合物以规定的热率该前入检需仪时，检漏收能明最检出在和资气强台物定保案体量小液准出。本际准中，最小可检痛率可而从状察检漏收对已知数空或混全物的限度放比计算变3. 5).
2a时间因数iraefacars
2.8.1间常timecostant
仅券或系势的软齿受化所需需的时间间频，该间是1-款森新的范出变化
2.8.2购迎时间rriponsotirae
或中下实然输人变偿商子数极限（稳定从季遇小的而率指示别正的或较大的漏率指示能变化所对应的时同带数，2.&3清沈时间除时间cieaanptine,clearirgtime效正的端率指示到一个小的或学带率指求的变化所对应的时数。注：龄激响应对问和治济时法和等的、3试验新件
3.1环境温座
环境盟度是（23士
3.2不境压力
环境压力是（1G5k，当压力100kPa偏蒙过头时，我进行适当的校准，送差持在。
3.3.1核况
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需要两个蒂孔：一个有式控小的满率而为一个有关教天的猫率，小混孔们」测定最小可拉通了，穴诺孔用十测定最小可检浓度比。小涡孔必织校准：它可以是迈道型或的膜型，大漏应能嵌垫双改变它的滑率，没这不是使性规光的。在下列亲款户，对满孔作了现定，3.3.2小道道限孔
当氢以做度（23十7）片力100ka为条件命入谢儿相验下的格满仅叫，牢的通穿为在录器出线图上产牛的陷转不少十最小可检信号的修（见6.1.2)：检沟议找4.3调整。应该规定漏孔温应修正值并应用这个值静止游儿在使出时和格准时的温度差。3.3.3小薄膜配孔
在上力不需于100kP时.该谢成该有共白的完整密封氯调的需率应与小适追满抑（见3.3.2）：定滚规定施孔温庭使止值，计座用这个值像止渐孔在使周时利涵儿在校准时的证度差3.3.4(调整漏孔
这种孔长猫带蒂孔它以固定，文叫将漏连案到格区漏书人处坏境率气），当抢滑这中压1开高到规定的股伴工作为（三50）时游行能整，3.43
纯度成站第99乐，
3.5氯摇合
能物是知粗比的和室气的泥将在试验过至当以（？温魔和（P)压力输人给大[可谢的满！见3.3.4井过人格需时，使它罕少*牛10倍尼可轻信号偏转（见.1.2)
可利用常压的空气量氢的法合物。个论产邮一种识，H做滋合物陀空气流从安装点验装的店外至少m处到，氮比符表示月子1的分于效表示。浓段比可以,开合物百万分之止卖示（体积百可分之含）：空气中氧的液质比收1/2((成方分之天，当配置更多的据含的时，这个微据患于考注：极体积计算最新饮据表在案气十义！少之\4，（eKm,1气繁学尚综，4拭验装置
4.1说明
4.1.1检需收
4.1.1.1本你准的换谢没品抢用质谐仪所理的种还分护慢将台气体以款格件进人质情者首先被电商：粘店分舟戏·系炎两了出或序了减、间个或换理思地代表·种气体（有一是的离了质考比相同！在检河议，谢将的方法尽使款末打引巧于收集极！迪带，其他气伴应，效最仅创述五诺），由离了束产生的电流说放大，证且它的不吸人试！性多气分压刀之录度。假设一件电离品由毛子步成一书热别授归产三的：4.1.1.2检漏校由质洁普，户典空多统该系统能位我体试料选通过注人保持点空实态的质谱些：电压谢送和离子筑放大器组兹，产多途格说够衣求放大器出，品月的无南电大：但是，为了该序的交际应币-假设摘获示个记录器图求上。可使开·些评惯害的了达：使大游出，编出多不同格水做
4.1.1.3决送也需要以式验率统！顺人气任试样斤保快其空态下，也下以外部引导气位进人质递管，需要专装业人登始，誉路小必装有两离阔（人闪）止大治六求，放生质治管中的力和验超过规定的大性力。
4.1.2图表记器
4.1.2.1记录器底适于记采检带仅输出产，底能保为记录1h以工的际间4
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记求器的时间带数必须三移小，侵其在格涡仪响应时间上不至干产兰误产。4.1.2.2池录器即雅当示计之间的相丘作同必须是很小的即三一个折示录的逆度不堂产生的信号去彩响务个清六：如果记来器与输出抗示计并联，每一个的骗人电用是其共的电源心用的00产，则这个相点作月可效边略。4.2试验
4.2.1检议注接到辅助系统上，如图1所示（辅助系统别检调仪可认为足试验装的一个款体），42.2余统含最少的校能此其他求合接本血，这详件血亿需出一个要几个“型感穿的在面组成，风此-证图1中所示的“流孔阅\最好尼全金员结构的，而使其术脏为知的重要拍吸的源，4.3试验准各
2.3.1检需收所接的以照，在下、顺率和惊制上应的个制逆厂的说叫书。2、3.2许所有试验程序之前.检滞父战控制造：的现定“如热”1.3.3在试验十，检满议应度制逆厂说定的方法间整氧的最位测2.3.4如只检漏仅的真牢系统充许调整体积流牢（拍违），挪公，在其验时选择的范率就不造当变实2.3.5业检满仪处下最录敏检调整位置和使记录的零价对应于检漏仅输出计的率位，记录器必须制教住其满刻度对成于箱出计刻度，5试验即序
5.1烟记
为了视定是小可检需孔动没最小可检浓皮比，划定控谢仪在接延其效限效压下择作，先用类移和单声现烂最小可签估号，然以准的确孔嵌为标准制定仅表的总灭敏虚、5.2最小可检湿孔
5.2.7移噪声谢定
5.2.1. 1检据仅赖出挥接到！录器上,检漏仪处最人足敏度位骨时，关划人口间（3)5.2.1.2报通阴录，调造检铺义的外偿<或等》制，使记录能成数按近满划度的5%。5.2.1.3记或箱止20mir内工向票移始出达划满刻度·减负向源移给出至零：5.2.1.4在.2.1.3的科序起点开m;一列线设，交干5.2.1.记求的载·该裁没以：mi为间陪与曲线图的时制轴（带步，产画的这些线段将做分统”，5.2.1.5净我利户5.1.1中规：
相邻”分线“之间的每个业强线段画戏近似百线：5.2.2怕价号的以是
5..？.该测定需要小校证满孔，如果校准孔有共自完的划，H满乳租测门是全回绍构（院薄膜型通儿的游膜外的，.2.2可以从是序中省略：5.2.2.2如图1左边新录，将金年了近接到检滑像.，5.2.2.3接延民最抛出满车。
5.7.2.4打并需乳隔再：
5.2.2. 5打开肥气均汀。
往：为了安全,因逆否的过点以并。5.2.2.6当签了新人F网间能安气载然，抽气购门.52.2.7谨，逆地打于人[间.德检满这中的小这全个稳是估，在1内观索没有变化，5.2.2.8新果医检没接百-接通质路等的所设5-2.2.9当瓶出9达-个我出有时，七任间品5.2.2.？的释库开始后不事丁31mi1.记输该数，妇未快端假一整」概最专互，为调息退龄度，读致必须望换或等定分刻度：5.2.2.10能快他头闭谢1高用3后记1研中读。必时缺换该数。交.2. 2.3规能。5
5.2.2.11关阅人可润
5.2.2.12打开放气商
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5.2.2.13从人口誉路中仅卸悼密下：其他注接保等原位。5.2.2.14关团放气两，
5. 2. 3灵放压测定
5.2.3.1安装小校准谢孔化替32.2.13中细掉的率于，插放谢子的置与安装宽子的性置-致。5.2.32接通门裁，箱出调，
5.2.3.3打万简孔随离阀。
5.2.3.4打+抽气阀，
5.2.3.5将效气输人润孔，射人玉为为（10士）kP，如果润孔自身合复的供应，这个步豫应当略。注：质诺学的阴长在5. 2. 3. 6之前可以断开。5.2.3.6当夜准漏孔利检饲仗之间的字气已被抽实时，关阅抽气阅门。5.2.3.75,2.3.i的序后逆打开人口阅：使检满仅中压力达到一个税定值，作1min内观款设有变化。
5.2.3.8划果初救没接通：接通函谱凸阴极，5.2.3.9这时：需要改安炎敏度谢整位置。当摘出信号己经达到慈定随时：知在1叫ir:内指示的定化与源移比较层不大的，让下分效度的该数。虾果检谢径已经处丁降低了灵敏位置上，了总灵效度的调整，读数必额转慎成等值分测度，5.2.3.10前脚步骤之后，马上动秒，同时尽快关闭流隔离闷。即记录器出级图做表明时间历期开始的标记后迅迪关闭漏孔隔离间。5.2.3.11留变量除时间（见2、、需要适练坛规禁11儿读数也减少到压，？.3、点年观穿读数的3?收时，停住移在，记下秒表该效，即对一规家的筛出降低，检验记来器典线国以确定所需要的时间。生：讲除时问效细是只效词垫的心两，如果使用他两整，识染时间对更敏度间整的清除时问必领快止，5.2.3.12关闭滑五离（见5.2.3.1u)1m:n：读取并记下输山，录效座修上如5.2.3-9.5.3最小可些液度比
5.3.1抵选
5.3.1.1证定最小可检维展比试验检捕仅书云设用扫辅录择的法，该方法通常品调整点速心和假让（2.6.3）的情说.当检记施出（分刻准）扫可上加违电上妞出时使可以得到曲线其股特征用实我标出，见图）。典线在五点工丹列核值山于氧的现，用整线衣示的说绒型曲线是由于不存在氮的情说受其他离了影叫牛底倍导的政变，有刻存在无本情况，断得到由线总足对称的，生样任何-侧心下逐萨衰减到零。如图2）十所求册是常读近于木病出和对称的纯氮用绒的直接整加，5.31.2注意电压放凸线图的未达到心过的处化，靠出首先是降：站后咨划，义降低当在开上百接观案扫寸，表时氢在在的方向改变长很容易测片的，当氢的鞋人逐断减少对，向收交得较小，自到最后到因口实线表求一曲线。在这些下，出以不反向对于一个很短的电压间隔义说，保持不变。这性的性将过用通常的直楼观暴来确定，作换声和漂移不学在情说下产生氧涨废比的这个情况商是「地小可恰浓度
5.3.1.3敏本开鼠的轨迹向图2a).总的情况内图2)表示.第条（最边的)实统回线代表量小H轻浓度比。其饮一条典线代表在无注人减的情记小，简平底的输出，第二添曲线代表引人减物出加上我本康摘止。
5.3.1.4在下列侧定中，短本底券做信号，5.3.1.5在实际管况叫，如上运既定的最小可堂浓能比的测定，不可能做出使性修止.为了算·个灵敏度数现使用其些造宜的测定，这样煤列的尿小川检浓度比根据实际经验合理的。5.3.2原移知味的没定
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5.3.2.1检漏议输出述援到论灵器上，在它的总大民数离两整位置检原对美断.人日原1券开明报（见4. 3)
5.3.2.？如图1所云和4-2.1片的避步规是，检滞仅座接到-.个辅的系统上.5.3.2.3大的谢孔（校准的或可函的）连我确抢仅上：见国1。5.3.2.4带正的签气减（的主）P亚力的氢凝合赖供给满孔，在获用常乐安气情说下，快治管略本身不应感为需源开互最开是金金属结构、5.3.2.5打开离间.
5.3.2.6开气：
5.3.2.7在乳和人降之间的率气破拍空时，订元人矿阀5.3.2.8关研:元限。
5.3.2.9若恢用个心调谣礼，函整它惊变赖询仅中压力均判如8.3.4所短定的最佳值：5.3.2.10快通医板，必互时询及度起制系我高炎载度购整垃互，其修将有刻度的记来器.1品示击米。
解整性制（我等持制堂记器读数尽可能我近满刻度的5. 3. 2. :1
5.3.2.12记录愉出2负源到季或E漂格出满刻用、5.3.2.13调热灵做变腔制到总及披度河整位置工。如果指示偏率刻度盘，补偿（或孕>控制-偿它到中间刻度：如采不能像即，谢举灵教变控制到经高灵敏度调位生刻变盘上将产生一个示。用定指到间别。
5.3.2.14证录2mim或商划愉出偏两理热这~记系叫做梁产线5.3.2.15添移和单声由线按6- --1处理。5.3.3假信号的微证
5.3.3.1许5.3.2.3量后所法的改餐状态下，关用满编实满。5.3.3.2谢检仅，生量人或度在刻阻盘上给齿读数（如果需要，到峰怕，年调扫描应）。5.3.3.3当输出信已经到-个稳定值附在」1内观察设有变化，仅器要款是扫描家格值，在般情说下，箱止睡产生如图>所示形状的归线。该典尼流线型内.如图中用显线所表，5.3.3.4款室标月B作为氮本底之益度，位于曲或地大值处：A正归在B下也，5.3.3.5A是孕，以5min间反扫播，到成军或在ain期内已不再5.3.4显激度乱定
5. 3. 4. 1关阴进气烟：
5.3.4.2打开港满离两
5.3.4.3打开气间。
注：生这点用拨可以斯于
5.3.4.当海孔人L服之闻行在的究气口抽空时.打开人L.胸5.3.4.5关抛询，
5.3.4.6当在将润仅中出东1min内投有变化，即心格求到个换定能时.系阳极没接适，度通阴，
5.3.4.7当于领移的输出借号(见6..1.1.41 r..n内总示没有变化，巴经达至一个税应值州,快需按规定扫满数趋值。在一般恂况下，出将严生如图24>斯求形状的典毁。该曲线是恶线载的，郊图2中服线。
5试独结界的表示
S. : 最小可检鼠孔果
GB/T *81932C09
6.1.1.1研究6.2.1的逆似战以摄非在1m情我载设是大率，这个微点是因每次约分刻度度带的开出诚源格，如最人家小于对小记录得满度2对分境，期工证两款内，阅定总地对交化。这个总北除以，则格您涂移，6.1.1.2扭每分钟投由受，再近微有频须此录业竭的大（对维率，61.1.3这些微大请差平均率以2称做声（分安）。：在中，何以的主不一心采曲”6.1.2城营（1)
最小可整倍号等于在」内移和产范效慎之和，它用分刻度度是：加乐其剂小1阔刻变2与随分刘度，病刻产2为的分读燃最小可检情。1.3假后学的降下
5.2.2-9证录的证数两宏5.立2.1心记添的法数。好果差长负的，认为定等于零，这个差游称做“宿号整正*,并将在6.1.4.2中应用.6.1.4灵数
6.1.4.1这当感效心经转换点当十在总足度的整位骨的分度，动改难混孔遗成的末良止信号在5.9证录数资效布32.3.12记范离空间应想到一带6.1.4.2出于校证好无的正结日额得4未您止的倍号（冠6.1.4,1和型6.7.1中限情学楼正之司持到个差，良度出下面公式计算开设劳它终为响皮制在起灵筑庭（与响应时间对在）=夜唯流托产生的偏号/校准淘孔的标准漏单（或等位标准空气渐率）出扩低拍单立是每单位通宰（见2.5和？.8)的分刻度（在总显效民调恐位武）6.1.5小检证
6.1.2和6.1.4.2.该据儿下公式计，单位是调弃位。最小可检满孔（与哺应降间对应>=款小可检信号/关额度62最小市检液度止程序
6.2.1即和单产
6.2.1.？修正何滞低灵敏度的施整，如6.1.1.]规定那从原移也线谢定添依6. 2. 7.2如在 6. 1. 1. 2和6. [. 1. 3 中一样.从原产收线划定账户：6.2.2最小可检信号
短小心检信于的计算同6.1.2.
6.2.3受倍号
果线段网22始终不年，谢定其大小低值（s分度果检识假片在降低的更度谢整这整上换成在总双故质调整分刻度，6.2.4小川检能座比
在图曲载上作标记元刘推最大值），惠A正好充下益），点封插授小位点（正好D下商），从典载周（分测度）满些标不独到落总A，C双两分周、判表示法鱼探版宋投满设爱在活美器康的说整你觉成环按换成为忘敏选件置的等刻度件5.%47最小可控换使比必须公或比：小检房北Cx-u)α—:
式牛：一一合物浓度比见3.！
5假信号州6.2.3
剂心接上违鲍定，
或各案一>小于最小两验传号MI见 6.1.2同公我爱小可检泽度止
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