【机械行业标准(JB)】 容积真空泵 性能测量方法

中华人民共和国机械行业标准 JB/T 7266-94 容积真空泵性能测量方法 1994-07-18发布 中华人民共和国机械工业部发布 1995-07-01实施 1 范围 本标准等效采用国际标准ISO 1607/1-1980《容积真空泵性能测量方法》第一部分：体积流率（抽速）的测量与第二部分：极限压力的测量。本标准规定了容积真空泵抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度的测量方法，适用于极限压力低于100 Pa，并能直接向大气空间排气的容积真空泵（以下简称泵）的性能测量。 2 术语 2.1 抽气速率（体积流率） 在理想状态下，单位时间内流经泵口的气体体积。实际应用中，抽气速率（S）定义为泵按规定条件运转，从试验罩流过的气体流量（q）与规定位置上的平衡压力（p）的比值，简称抽速，即：S = q / p (L/s)。 2.2 极限压力 泵按规定条件运转，在不引入气体的试验罩内趋向稳定的最低压力，单位为Pa。 2.3 试验罩 指装在泵口上的具有规定形状和容积的容器。经过计量的试验气体通过它充入泵内，其上装有微调阀和真空计。 2.4 消耗功率 泵按规定条件运转，泵温平衡后，对应于泵入口压力所需要的功率。 2.5 工作温度 在规定条件运转并在极限压力下，在排气阀附近测得的平衡温度，单位为℃。 3 测量装置 3.1 试验罩 罩为圆筒形（见图1a），其内径为D，高为1.5D。试验气体入口位于罩的轴线上并背向泵口，与法兰平面距离为D。真空计（或规管）连接管距法兰平面为0.5D，并垂直于罩轴线。罩的容积（V）至少应是泵的一个压缩周期扫过容积（V₁）的五倍。罩与泵口之间需要连接一个长度不超过0.5D的异径管接头（见图1b）。不同规格的泵适用的试验罩由表1给出。 3.2 真空计 根据所测压力，选用不同种类和精度的真空计，其校准精度为：压力高于或等于1Pa，在±5%以内；压力低于1Pa，在±10%以内。 3.3 流量计 根据所测流量，选用不同种类和规格的流量计。其测量精度为：流量大于1L/s，在±3%以内；流量介于1～10L/s之间，在±5%以内；流量小于10L/s，在±10%以内。 3.4 功率表和电流互感器 功率表和电流互感器应具有一级精度，并具有计量部门签发的有效证书。 3.5 温度计 测量工作温度的温度计误差不大于±1℃。 4 测量条件 测量时应符合以下条件： a. 泵实际转速与额定值之差不大于±3%； b. 泵液种类和数量应符合设计要求； c. 水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求； d. 环境温度在15～25℃之间，测量期间波动不大于±1℃； e. 测量气体为室内空气，相对湿度不大于75%； f. 测气镇泵时，其掺气量应符合设计要求。 5 测量方法 5.1 抽气速率测量 5.1.1 原理 采用“定压法”测泵的抽气速率，即在测量流量过程中，罩内压力保持不变。 5.1.2 步骤 抽气速率测量装置如图2所示。为了测量抽气速率，试验罩、真空计和流量计应装配到泵上。关闭微调阀，开泵运转，带气镇的泵充分气镇，关气镇阀，直到1小时内压力不再下降，泵达到了平衡温度。开启微调阀，向罩内放入测量气体，以建立设定的平衡压力，并同时测定气体流量。按式（1）计算该压力下的抽气速率。 5.2 极限压力测量 5.2.1 原理 将规定的试验罩装在泵口上，在平衡温度下测罩内的极限压力。 5.2.2 步骤 极限压力测量装置如图2所示。关闭微调阀，开泵运转，在气镇情况下运转至设定的压力，并测量稳定后的压力。