【其他行业标准】 真空技术 溅射离子泵

ICS 23.160 J78 备案号：34895—2012 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 4081—2011 代替 JB/T 4081—1991、JB/T 4082—1991 真空技术 溅射离子泵 Vacuum technology—Sputter-ion pumps 2011-12-20 发布 2012-04-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 —— 前言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准代替 JB/T 4081—1991《溅射离子泵型式与基本参数》和 JB/T 4082—1991《溅射离子泵技术条件》。与原标准相比，主要技术变化如下： 1. 整合了 JB/T 4081—1991 和 JB/T 4082—1991 的内容； 2. 在术语和定义中增加“体积流率”“最低工作压力”“起动压力”； 3. 调整型号及参数名称，增加名义抽速偏差要求（不得超过实际测量值±10%）； 4. 增加离子泵正常工作条件； 5. 修改三极泵对氩气抽速要求（不小于空气抽速的30%）； 6. 增加散射磁场、功率消耗偏差等要求； 7. 增加外观要求、安全要求及保护功能； 8. 增加测量方法章节； 9. 修改检验规则及型式检验相关内容； 10. 调整贮存条件等要求。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。 —— 1 范围 本标准规定了普通型式溅射离子泵的型式与基本参数、技术要求、测量方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和质量保证要求。 本标准适用于普通型式的溅射离子泵。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件，仅注日期版本适用；不注日期的引用文件，其最新版本（包括修改单）适用。 （后续标准引用略） 3 术语和定义 （略） 4 型式与参数 4.1 分类 4.2 型号表示方法 4.3 基本参数 5 要求 5.1 工作条件 5.2 技术要求 5.3 外观要求 5.4 安全要求 5.5 保护功能 6 测量方法 6.1 最低工作压力测量 6.2 体积流率的测量 6.3 起动压力的测量 6.4 散射磁场的测量 6.5 消耗功率的测量 6.6 泵口径 6.7 外观检查 6.8 安全检测 6.9 保护功能检测 7 检验规则 7.1 检验分类 7.2 出厂检验 7.3 型式检验 8 标志、包装、运输和贮存 8.1 标志 8.2 包装 8.3 运输 8.4 贮存 9 质量保证 —— （附图说明） 图1 测试罩1 图2 测试罩2 图3 连接件 图4 典型体积流率曲线示例 图5 散射磁场测试点 —— （标准说明） 本标准对溅射离子泵的结构型式、性能参数及测试方法进行了统一规定，以保证真空系统中离子泵的性能一致性与可靠性，适用于工业真空设备及相关应用领域。