【其他行业标准】 真空技术 制冷机低温泵

ICS 23.160 J78 备案号：33646—2011 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 11081—2011 真空技术 制冷机低温泵 Vacuum technology — Refrigerator cooled cryopumps 2011-08-15 发布 2011-11-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 —— 前言 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 起草单位：北京卫星环境工程研究所、安徽万瑞冷电科技有限公司、沈阳真空技术研究所。 主要起草人：邵容平、闫荣鑫、孙立臣、郭欣、史纪军、刘国青、丁怀况、李春影。 本标准为首次发布。 —— 1 范围 本标准规定了制冷机低温泵（以下简称低温泵）的术语和定义、结构与基本参数、一般要求、主要性能测试、质量评定以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于外接式氦制冷机低温泵。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。 凡是注日期的引用文件，仅注日期版本适用；不注日期的引用文件，其最新版本适用。 （包括 GB/T191—2008、GB/T3163、GB/T4842—2006、GB/T7445—1995、GB/T8979—2008、GB22360—2008 等） 3 术语和定义 3.1 抽气速率（体积流率，pumping speed / volume flow rate） 在理想状态下，单位时间从测试罩流过泵入口的气体体积。 在实际测试中，抽气速率通常定义为气体流量 Q 与测试罩内规定位置平衡压力 p 的比值，即 S = Q / p。 本标准抽气速率单位为 m³/s 或 L/s。 3.2 极限压力（ultimate pressure） 测试罩中逐渐趋近的压力值。 注：一般不建议在说明书中给出极限压力值，如给出应说明测试条件。 3.3 最低工作压力（minimum operational pressure） 起动低温泵后24h，在入口测试罩上测得的压力。 3.4 降温时间（cool down time） 在低于10 Pa起始压力下，从室温启动低温泵到二级冷头温度达到20K所需时间。 3.5 渡越容量（crossover value） 在二级冷头温度保持在20K或以下时，允许瞬间流入低温泵的最大氮气量，单位为 Pa·m³ 或 Pa·L。 3.6 抽气容量（gas capacity） 低温泵连续运转时，当抽速下降至初始测量值50%时所累计抽走的气体量。 —— 4 结构与基本参数 4.1 结构 4.2 型号规格 4.3 基本参数 —— 5 一般要求 5.1 工作环境 5.2 外观质量 5.3 性能特性 5.4 安全性 5.5 可靠性 5.6 使用说明书 —— 6 主要性能测试 6.1 测试准备 6.2 抽气速率（体积流率）测试 6.3 最大抽气能力测试 6.4 抽气容量测试 6.5 渡越容量测试 6.6 最低工作压力测试 6.7 降温时间测试 6.8 测试报告 —— 7 质量评定 —— 8 标志、包装、运输和贮存 8.1 标志 8.2 包装 8.3 运输 8.4 贮存 —— （标准说明） 本标准对制冷机低温泵的结构定义、关键性能参数及测试方法进行了统一规定，用于规范低温真空设备的设计制造与性能评估，适用于空间与工业真空系统中的低温抽气设备。