【其他行业标准】 硅压阻式微型、薄型压力传感器

ICS 17.100 N11 备案号：33679—2011 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 11206—2011 硅压阻式微型、薄型压力传感器 Silicon piezoresistive miniature and thin line pressure sensors 2011-08-15发布 2011-11-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。本标准由中国机械工业联合会提出，由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。本标准起草单位包括昆山双桥传感器测控技术有限公司、沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心。本标准主要起草人包括尤彩红、王冰、刘沁、刘波、王文襄、徐秋玲、匡石、李颖、李延夫。本标准为首次发布。请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件发布机构不承担识别这些专利的责任。 1 范围 本标准规定了硅压阻式微型、薄型压力传感器的术语和定义、产品分类、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于硅压阻式微型、薄型压力传感器（以下简称传感器）的生产、使用与验收。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括修改单）适用。 GB/T 2423.1—2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验A：低温 GB/T 2423.2—2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验B：高温 GB/T 2423.3—2006 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Cab：恒定湿热试验 GB/T 2423.5—1995 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Ea和导则：冲击 GB/T 2423.10—2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Fc：振动（正弦） GB/T 2423.15—2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 3 术语和定义 （原文未给出明确术语定义内容） 4 产品分类 4.1 分类 4.2 命名 5 基本参数 5.1 测量范围 5.2 按测量压力类型分类 5.3 外形结构 5.4 适用被测介质类型 5.5 安装方式及影响 5.6 激励 5.7 工作温度范围 5.8 补偿温度范围 5.9 贮存温度范围 6 要求 6.1 外观 6.2 外形及安装尺寸 6.3 输入阻抗 6.4 输出阻抗 6.5 绝缘电阻 6.6 绝缘强度 6.7 静态性能 6.8 过载 6.9 零点漂移 6.10 热零点漂移 6.11 热满量程输出漂移 6.12 零点长期稳定性 6.13 详细规范 6.14 动态性能 6.15 环境影响特性 6.16 疲劳寿命 7 试验方法 7.1 环境条件 7.2 校准 7.3 外观检查 7.4 外形及安装尺寸 7.5 输入阻抗 7.6 输出阻抗 7.7 绝缘电阻 7.8 绝缘强度 7.9 静态性能 7.10 过载试验 7.11 零点漂移 7.12 热零点漂移 7.13 热满量程输出漂移 7.14 零点长期稳定性 7.15 动态性能 7.16 环境影响试验 7.17 疲劳寿命 8 检验规则 8.1 检验分类 8.2 出厂检验 8.3 型式检验 9 标志、包装、运输及贮存 9.1 产品标志 9.2 包装 9.3 运输和贮存 附录A（规范性附录）传感器性能指标的计算方法 A.1 实际工作特性 A.2 参比工作直线 A.3 满量程输出值YS A.4 非线性 A.5 迟滞 A.6 重复性 A.7 准确度 A.8 零点漂移dz A.9 零点长期稳定性rz A.10 热零点漂移α A.11 热满量程输出漂移β A.12 振动对传感器零点影响Zo A.13 外磁场对传感器输出的影响Cc 表1 传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性 表2 热零点漂移和热满量程输出漂移 表3 检验项目 表A.1 校准循环次数与包含因子