GB/T 8760-2006 砷化镓单晶位错密度的测量方法}
本标准适用于位错密度为0--100000个/CM 的砷化镓单晶的位错密度的测量。检验面为[111]面和[100]面。 GB/T 8760-2006 砷化镓单晶位错密度的测量方法 GB/T8760-2006
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法}
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。 GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 GB/T8758-2006
GB/T 8757-2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法}
本标准适用于掺杂砷化镓单晶中载流子浓度的测量。 GB/T 8757-2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法 GB/T8757-2006
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