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GB/T4060-2007 GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准编号:GB/T4060-2007 整理时间:2007-12-18 16:00:00 浏览次数:27
资料名称: GB/T4060-2007 GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
标准类别: 国家标准(GB)
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态: 现行◎
作废日期:
发布日期: 2007-12-18◎
实施日期: 2008-02-01◎
首发日期: 1983-12-20◎
复审日期:
出版日期: 2008-02-01◎
标准编号: GB/T 4060-2007
标准名称: 硅多晶真空区熔基硼检验方法
下载文件: .rar .pdf .doc
标准简介: 本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的试验。 GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 GB/T4060-2007 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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替代情况: 替代GB/T 4060-1983(参考)
采标情况: (参考)
发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会(参考)
提出单位: 中国有色金属工业协会(参考)
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(参考)
主管部门: 中国有色金属工业协会(参考)
起草单位: 峨眉半导体材料厂(参考)
起 草 人: 罗莉萍、梁洪、覃锐兵、王炎、王向东(参考)
出 版 社:

中国标准出版社(参考)

页  数: 8页(参考)
书  号: (参考)
计划单号: 20031797-T-610(参考)
下载次数: 12次
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