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【国家标准(GB)】 硅抛光片表面颗粒测试方法
本网站 发布时间:
2005-09-19 15:00:00
- GB/T19921-2005
- 现行
标准号:
GB/T 19921-2005
标准名称:
硅抛光片表面颗粒测试方法
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
2005-09-19 -
实施日期:
2006-04-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
标准ICS号:
冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合中标分类号:
冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
采标情况:
SEMI M25-1995 NEQ SEMI M35-0299 NEQ SEMI M50-1101 NEQ ASTM F1620-1996 NEQ ASTM F1621-1996 NEQ
出版社:
中国标准出版社书号:
155066.1-26924页数:
16开, 页数:10, 字数:16千字标准价格:
10.0 元出版日期:
2005-12-16计划单号:
20000544-T-610

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标准简介:
标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片,也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷,但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能,并与检测时的初始设置有关。 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T19921-2005
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