本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。 GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢 GB/T16942-1997

本标准是对GB/T 5832.1-1986的修订。本部分规定了采用电解法测定气体湿度的术语、定义以及方法原理、仪器要求、试验方法及结果处理。本部分适用于氮、氦、氖、氩、氪、氙、二氧化碳及其他不与五氧化二磷发生除吸湿以外的各种反应气体湿度的测定。 GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1

本标准规定了氪气的技术要求、检验方法、检验规则，包装、标志、运输及贮存。本标准适用于深冷法从空气中提取的气态氪。主要用于电真空及电光源等工业。 GB/T 5829-1995 氪气 GB/T5829-1995

本标准规定了氙气的技术要求，检验方法，检验规则，包装、标志、运输及贮存。本标准适用于深冷法从空气中提取的气态氙。主要用于电光源工业，也用于医疗、电真空、激光等领域。 GB/T 5828-1995 氙气 GB/T5828-1995

本标准规定了高纯氦产品的产品分类、技术要求、检验规则以及标志、产品的包装和贮存、运输等。本标准适用于以深冷法自然天气、空气或工厂驰放气中提取的瓶装高纯度气太氨。主要用于标准混合气的制备、低温超导、科学研究、色谱分析载气等 GB/T 4844.3-1995 高纯氦 GB/T4844.3-1995

GB/T 4842-1995 氩气 GB/T4842-1995

本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 GB/T14601-1993

本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 GB/T14600-1993

本标准规定了高纯氧的技术要求、检验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存、安全要求。本标准适适于深冷法分离空气而制取的以及用纯化法制取的高纯度气态和液态氧。该产品主要用于标准混合气的制备、科学研究、集成电路和半导体器件的生产，也适用于对氧气纯度要求较高的其他领域。 GB/T 14599-1993 高

本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) GB/T15909-1995