本标准规定了气体中微量氧的测定方法、对仪器的要求、测定条件、步骤及结果处理。本标准适用于氮、氩等气体中微量氧的测定。测定范围为(0.3~10)×10-6(V/V)。加上安全措施后，本标准也适用于氢气中微量氧的测定。 GB/T 14852-1993 气体中微量氧的测定 黄磷发光法 GB/T14852-

本标准规定了气体分析中广泛采用的名词术语。本标准适用于制订、修订与编写技术文件和书刊，以及国内外学术交流和业务活动，并可供教学时参考。 GB/T 14850-1993 气体分析词汇 GB/T14850-1993

本标准规定了氧气中微量氩、氮和氪含量的测定方法。本标准适用于纯氧、高纯氧以及电子工业用气体氧等气态和液态氧中微量氩、氮和氪含量的测定。 GB/T 14605-1993 氧气中微量氩、氮和氪的测定 气相色谱法 GB/T14605-1993

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。 GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧 GB/T14604

本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼 GB/T14603-1993

本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。 GB/T 14

本标准规定了工业氮产品的技术要求、检验方法以及包装、标志等。本标准适用于由空气分离制取的气态氮或液态氮，其化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体，主要用作保护气。 GB/T 3864-1996 工业氮 GB/T3864-1996

本标准规定了工业用氧的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、贮存、运输及安全要求。本标准适用于深冷法空气分离制取的气态和液态氧，主要用于气体火焰加工和其他工业目的。 GB/T 3863-1995 工业用氧 GB/T3863-1995

本标准规定了工业氢的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮存和运输及安全要求。本标准适用于水电解法、食盐电解法制取之压缩与未压缩工业氢，主要用于石油和油脂加氢、人造宝石和石英玻璃制造、金属切割与冶炼。 GB/T 3634-1995 工业氢 GB/T3634-1995

HG/T 2686-1995 惰性气体中微量氢、氧、甲烷、一氧化碳的测定 氧化锆检测器气相色谱法 HG/T2686-1995