HG/T 3789-2005 稳定性同位素 氖气 HG/T3789-2005

本标准规定了焊接用混合气体氩一二氧化碳产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。本标准适用于由氢和二氧化碳配制而成的混合气体，主要用作焊接保护。 HG/T 3728-2004 焊接用混合气体 氩-二氧化碳 HG/T3728-2004

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 GB/T 17874-1999 电子工业用气体

本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。 GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩 GB/T16945-1997

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。 GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮 GB/T16944-1997

标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦 GB/T16943-1997

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。 GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢 GB/T16942-1997

本标准是对GB/T 5832.1-1986的修订。本部分规定了采用电解法测定气体湿度的术语、定义以及方法原理、仪器要求、试验方法及结果处理。本部分适用于氮、氦、氖、氩、氪、氙、二氧化碳及其他不与五氧化二磷发生除吸湿以外的各种反应气体湿度的测定。 GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1

本标准规定了氪气的技术要求、检验方法、检验规则，包装、标志、运输及贮存。本标准适用于深冷法从空气中提取的气态氪。主要用于电真空及电光源等工业。 GB/T 5829-1995 氪气 GB/T5829-1995

本标准规定了氙气的技术要求，检验方法，检验规则，包装、标志、运输及贮存。本标准适用于深冷法从空气中提取的气态氙。主要用于电光源工业，也用于医疗、电真空、激光等领域。 GB/T 5828-1995 氙气 GB/T5828-1995