【国家标准(GB)】 电子工业用气体 氮

GH/r169441997
本标准是根据SFMIC3.2892瓶装VI.SI级氮标涨8(1995年版）制定的·在技术要水上与之等向·检验方法与之等效。
准将SEMIC3.28一92转化为不国家标准时.结合我国的实际情况，将标降的适用范围扩人全液态氮和算道输送氮，删去了SEM1（3.28—92中仪作为参.号的物理常数和注释等内容，试验方法中增厂抽性和氮气纯疫两条各项杂质含量的测定、分别采用我网相应的违用试验方法国家标雅，同时对检测限利标样要水按SFMT标避规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，伙标准的技术内穿更加完整
本标准中中华人民共利国化学工业部提本标准山化学1业部西南化工班究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化「研究院、化京并莱克斯实气体有限公司、本标准主要起常人：何道善。
1范围
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体、氮
Gases for eleelrnic industry-NilrogenGB/T16944-: 1997
本标雅划定了电子「用液态和气态氮的技术要求、捡验方法以及包装,标志等,适用于从分离密（或氨还原法制得的氮，在超人规模集成电路制造中用作净化，爱盖、保护，加咔，也用于化学气机淀积时的载气等，
氮气化学叫质不活淡，不叫燃，是-积案息非气体，分「:N.
相对分了质虽：28.0134（按1991年国际期对原了质量）。2 引用标准
下死你举所包命的茶文+通过在本标泄中引用而构成为本标滋的条义。本标准出版时-所示版本均为有效。所有标避部会被修订，使用入标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T3864--1993T业氟
GB7I 5832. 1 86
气休中微量水分的测理电解法
GB/T5832.2--85休中微盘水分的测定选点法体中微量氧的定电化学法
GB/T 6285-86
体中微垦氢的测定
GB/T 8981-88
柜色谐法
G3/T 5984. 1 1997
GH/T 8981.3—1997
3要求
气体中氧化碳、一氧化嵌机烷的测定气科色谱法气体中总烃的测定火焰离子化法电子工业用波态，气态然的技术与应符合表的要求。表工技术招标
微气组度
一征化我含色，1C-1
氢化做含本10-
载含站.10
总经（以甲旁计)分基，10
水分.1，wwW.bzxz.Net
国家技术监督局1997-08-13批准指
供需效方商定
1998-05-01实施
4试验方法
G1/T 16944—1997
所装蒸气按表2规定随机扯样检验，最人批量100瓶。当检验结果行迁何一项指标不符合本标邪就定时.则自同批产品中重新划倍抽择检验。节奶有低任项指标不符合态标壮规定时.则该批产品不合格
产品低瓶
推样数量，瓶
表2祥表
[G-~25
51--10n
管道输送的氮，在2b内个少采样检测一次。当检验结果有任何-项搭标不符合本标理说定时，则该4b内产品不合格,
波态氮应从每个储运突器中采取液态样品进行检验。当检验结果有仁何一项指标不符合本标准规定时则该产品不合格。
4. 2签纯疫
氨气纯度按式(1)计许求得：
±— 100
轰纯度，10-(F/V)
含量.10-\(V/V):
我含量.10（V/V）；
一$++）×10
-一氧化碳含基,10-(V/V):
-二氧化碳个量,105(V/V);
—总炝(以甲烧计)含量,10-V/V);9.
水含些,10(V/V)
4.3氧合量的测定
按GB/1 6285的规定进行测定。
仪得检测限：0.1×10-(V/W）
标样氮中含氧1×10--~5×10-（V/V）4.4氢含量的测定
按GB/T8981的规定进行测定
仪语检测限:0. 1×10-(V/V)。
标伴：鼠中含氯1×10 +5×1(1-(V/V)。4.5水含基的测楚
按GB3/T5832.1我GB/T5832.2的规定灿行测定。两种方法具有同等效力。仅露检测限：0.2×10(V/V)。仪器应经相成检楚规程检定合格。4.6-氧化碳、一氧化磁含的测定按G/T8984.1—1997的规定选行测定。器检测限：0-1X106(V/V)。
标样：氮中含-氧化碳、二氧化碳午为1×10-~5×10*（V/V)，4.7总烃(以甲烷)含最的测定
接GH/18984.31997的规定恶行测定仪嘉险测限;).1×10 (V/W)~
GB/T16944—1997
标样：氮中含甲烷1×10*~5×[0*（V/V)。5包装、标志、安全
5.1包装、标志，安全按3B/T3864—1996第5章规定执行，在包装容器上以黄色的\地了用气一氮“拦，5.2
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