【国家标准(GB)】 电子工业用气体 氩

GB/T16945—1997
本标准是根据SEMIC3.46一93《99.9992%质量的散装液氩标准》（95年版）制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。在将SEMIC3.46--93转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装氩气和管道输送的氩气，删去SEMIC3.46一93中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽样和氟气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMIC3.46一93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMIC3.46一93的规定进行适当的调整。以上变动与SEMIC3.46一93无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院、上海BOC气体工业有限公司、武钢氧气厂、洛阳单晶硅广。
本标准主要起草人：颜伯举、王少楠。619
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体
Gases for electronic industry--Argon本标准规定了电子工业用氟的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩，GB/T 16945--1997.
电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
分子式:Ar
相对分子质量：39.948（按1991年国际相对原子质量）2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。氟气
GB/T 4842—1995
电解法
GB/T 5832. 1--86
气体中微量水分的测定
GB/T 5832. 2—86
气体中微量水分的测定
露点法
GB/T6285--86气体中微量氧的测定电化学法GB/T 8984. 1—1997
GB/T 8984.3—1997
GB 141931993
JB/TQ 503--86
JB/T 6897—93
JB/T 6898—93
气相色谱法
气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气体中总烃的测定气相色谱法
液化气体气瓶充装规定
低温液体槽车
低温液体容器
低温液体储运设备使用安全规则电子工业用氟技术要求应符合表1的规定。表1
氮纯度，10-2
氢含量,10-6
氮含量，10-6
氧含量，10*6
一氧化碳和二氧化碳含量，10-6总烃(以甲烷计)含量，10-6
水分含量10-6
国家技术监督局1997-08-13批准620
技术要求
供需双方商定
1998-05-01实施
4试验方法
4.1抽样
GB/T 16945-1997
4.1.1瓶装氩气按表2规定随机抽样检查，并规定批的最大瓶数为100瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检查。若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，则判该批产品不合格。
表2抽样表
产品批量，瓶
抽样瓶数，瓶
51~100
管道输送的氩，在4h内至少采样检验一次。当检验结果有任何项指标不符合本标准规定时，则该4h内产品不合格。
液态氟用贮槽或槽车装运时，应从每个贮运容器中采样检验。当检验结果有任何项指标不符合本标准规定时，则判为不合格产品。4.1.2瓶装气态的采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移。进样前采用升降压法置换，吹洗瓶阀、针形阀及管道三次。液态氩必须从液相取样并使之完全气化后方能进样。4.2纯度
氟气纯度按式(1)计算求得：
=100（+++++）×10-4
式中：Φ-
氩的纯度，10-2(V/V）；
氢含量，10-6(V/V)；
氮含量，106（V/V）；
氧含量，10-6(V/V)；
氧化碳+二氧化碳含量，10-(V/V)；——总烃(以甲烷计)含量，10-6(V/V)；--—水分含量,10-6(V/V)。
4.3氢和氮含量的测定
4.3.1方法：采用配备氨离子化检测器的气相色谱仪测定氟中氢和氮。4.3.2检测限：氢:0.1×10-6(V/V),氮:0.5×10-6(V/V)。4.3.3仪器参数
·（1)
4.3.3.1色谱柱：将色谱分析用粒度为0.25~~0.40mm的5A分子筛装入内径4mm，长约3m的不锈钢管内，于300℃通氩气活化3h。或采用等效色谱柱。4.3.3.2载气：约30ml./min氢气，氮气中杂质含量比待测组分含量约低-个数量级。4.3.3.3样品体积：1.0至3.0ml。4.3.3.4温度：检测器及柱加热箱均为室温。4.3.3.5标样：含1~5×10-6(V/V)氢的，含5～25×10-6(V/V)氮的氩。4.3.4操作步骤
4.3.4.1用气体进样阀进标样。记录保留时间和峰面积。4.3.4.2用同样方法进待测样品。记录保留时间和峰面积。4.3.4.3重复上述两条，取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，单个值与平均值的相对偏差不得大于10%。
4.3.4.4比较标样峰和试样峰的平均面积，用式(2)分别计算氢和氮的含量，其结果不得超过本标准第621
3章的规定。
式中：虹—
GB/T 16945--1997
样品气中待测组分i的含量，10-6(V/V)；一标准气中组分i的含量,10-6(V/V)；中
一样品气组分i的峰面积，mm；
A。标样气组分i的峰面积，mm2；一分别代表待测组分氢或氮。
当半峰宽不变时可用峰高定量。4.4氧含量的测定
按GB/T6285执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。标样：氟中含氧1×10~6～5×10-6(V/V）。一氧化碳和二氧化碳含量的测定4.5
按GB/T 8984.1执行。
仪器检测限：0.1×10~6(V/V)。标样：氩中含一氧化碳、二氧化碳1×10-s～2×10-6(V/V）。4.6总烃（以甲烷计)含量的测定按GB/T8984.3执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)下载标准就来标准下载网
标样：中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。4.7水分含量的测定
水分的测定按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，两种方法具有同等效力。仪器捡测限：0.2×10-6(V/V），经相应检定规程检定合格。5包装、标志、安全
5.1包装、标志、安全按GB/T4842中纯的第六章执行。·（2)
5.2充灌、储运液态的容器应符合GB14193、JB/TQ503、JB/T6897以及JB/T6898的相关规定。5.3在包装容器上应标以“电子用气一氟”字样。5.4出厂的气瓶瓶阀出口应有包装。622
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。