本标准规定了高纯氦产品的产品分类、技术要求、检验规则以及标志、产品的包装和贮存、运输等。本标准适用于以深冷法自然天气、空气或工厂驰放气中提取的瓶装高纯度气太氨。主要用于标准混合气的制备、低温超导、科学研究、色谱分析载气等 GB/T 4844.3-1995 高纯氦 GB/T4844.3-1995

GB/T 4842-1995 氩气 GB/T4842-1995

本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 GB/T14601-1993

本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 GB/T14600-1993

本标准规定了高纯氧的技术要求、检验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存、安全要求。本标准适适于深冷法分离空气而制取的以及用纯化法制取的高纯度气态和液态氧。该产品主要用于标准混合气的制备、科学研究、集成电路和半导体器件的生产，也适用于对氧气纯度要求较高的其他领域。 GB/T 14599-1993 高

本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) GB/T15909-1995

本标准规定了气体中微量氧的测定方法、对仪器的要求、测定条件、步骤及结果处理。本标准适用于氮、氩等气体中微量氧的测定。测定范围为(0.3~10)×10-6(V/V)。加上安全措施后，本标准也适用于氢气中微量氧的测定。 GB/T 14852-1993 气体中微量氧的测定 黄磷发光法 GB/T14852-

本标准规定了气体分析中广泛采用的名词术语。本标准适用于制订、修订与编写技术文件和书刊，以及国内外学术交流和业务活动，并可供教学时参考。 GB/T 14850-1993 气体分析词汇 GB/T14850-1993

本标准规定了氧气中微量氩、氮和氪含量的测定方法。本标准适用于纯氧、高纯氧以及电子工业用气体氧等气态和液态氧中微量氩、氮和氪含量的测定。 GB/T 14605-1993 氧气中微量氩、氮和氪的测定 气相色谱法 GB/T14605-1993

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。 GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧 GB/T14604