| 资料名称： | GB/T14600-1993 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 |
| 标准类别： | 国家标准(GB) |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | 现行◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1993-08-26◎ | ||
| 实施日期： | 1994-07-01◎ | ||
| 首发日期： | 1993-08-26◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 1994-07-01◎ |
| 标准编号： | GB/T 14600-1993 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 氧化亚氮 | |
| 下载文件： | .rar .pdf .doc | |
| 标准简介： | 本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 GB/T14600-1993 标准下载解压密码：www.bzxz.net | |
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| 替代情况： | （参考） | |
| 采标情况： | （参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（参考） | |
| 提出单位： | 中华人民共和国化学工业部（参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（参考） | |
| 起草单位： | 化工部西南化工研究院（参考） | |
| 起 草 人： | 段淑芳（参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（参考） |
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| 页 数： | 6页（参考） | |
| 书 号： | （参考） | |
| 计划单号： | （参考） | |
| 下载次数： | 9次 | |