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GB/T14600-1993 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮

标准编号:GB/T14600-1993 整理时间:1993-08-26 15:00:00 浏览次数:11
资料名称: GB/T14600-1993 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮
标准类别: 国家标准(GB)
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态: 现行◎
作废日期:
发布日期: 1993-08-26◎
实施日期: 1994-07-01◎
首发日期: 1993-08-26◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期: 1994-07-01◎
标准编号: GB/T 14600-1993
标准名称: 电子工业用气体 氧化亚氮
下载文件: .rar .pdf .doc
标准简介: 本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 GB/T14600-1993 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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替代情况: (参考)
采标情况: (参考)
发布部门: 国家技术监督局(参考)
提出单位: 中华人民共和国化学工业部(参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(参考)
起草单位: 化工部西南化工研究院(参考)
起 草 人: 段淑芳(参考)
出 版 社:

中国标准出版社(参考)

页  数: 6页(参考)
书  号: (参考)
计划单号: (参考)
下载次数: 9次
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