本标准规定了纯氖产品的要求、试验方法以及包装、标志、贮存和运输等。本标准适用于空分法制取的氖，它主要用于电光源、红外遥感及科学研究等。 GB/T 17873-1999 纯氖 GB/T17873-1999

本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 GB

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。 GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 GB/T

本标准规定了工业液体二氧化碳的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、贮存、运输要求。本标准适用于由石灰窑气、发酵气、烃类转化气制取的瓶装液体二氧化碳。 GB/T 6052-1993 工业液体二氧化碳 GB/T6052-1993

GB/T 7445-1995 纯氢、高纯氢和超纯氢 GB/T7445-1995

本标准规定了采用电化学法测定气体中微量氧的方法原理以及对仪器的要求、仪器校准、测定及结果处理。本标准适用于不与电化学反应器— 化学电池发生化学反应且不干扰测定的气体。 GB/T 6285-2003 气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T6285-2003

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 GB/T 17874-1999 电子工业用气体

本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。 GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩 GB/T16945-1997

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。 GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮 GB/T16944-1997

标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦 GB/T16943-1997