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【国家标准(GB)】 电子工业用气体三氟化氮
本网站 发布时间:
2007-12-14 16:00:00
- GB/T21287-2007
- 现行
标准号:
GB/T 21287-2007
标准名称:
电子工业用气体三氟化氮
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
2007-12-14 -
实施日期:
2008-07-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
标准ICS号:
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体中标分类号:
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

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标准简介:
标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 GB/T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮 GB/T21287-2007
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