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【国家标准(GB)】 电子工业用气体 六氟化硫
本网站 发布时间:
2002-10-15 15:00:00
- GB/T18867-2002
- 现行
标准号:
GB/T 18867-2002
标准名称:
电子工业用气体 六氟化硫
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
2002-10-15 -
实施日期:
2003-04-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
标准ICS号:
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体中标分类号:
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

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标准简介:
标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。 GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 GB/T18867-2002
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