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【国家标准(GB)】 电子工业用气体 三氯化硼
本网站 发布时间:
1999-09-01 15:00:00
- GB/T17874-1999
- 现行
标准号:
GB/T 17874-1999
标准名称:
电子工业用气体 三氯化硼
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
1999-09-01 -
实施日期:
2000-06-01 出版语种:
简体中文下载格式:
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KB
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标准简介:
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼,主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-1999 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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