【国家标准(GB)】 电子工业用气体 高纯氯

GR/T:8994—2003
本标准应于国原还体设备与材料组FM11332：95纯度为99.06%的报称准3类文版），木标常与SEM13.32：1995的一致性程度为非等效，主要术些弃如下：质最指标中增加湿度的要求：
对金属杂质的要求为用户邓供应面之间面定：检验法中版据我国的实际水平了相应的改动。木标准附录A是资和外附
本标准中原化学工业部提出、
木标准出全国气体标准化技术委员会归1本标业起草羊位1状羽化工研究设计院。交标作丰受起草人：扎样落、余中下：1范围
电子工业用气体高纯氟
(GB/T 18994—2003
本标准规定了中了工业币气年高范氯产品的范术要求、试验方法，检验规训以改包装，标志，运及忙行安全要求。
本标适用于以1业滚氧为系浆，采用物理吸附等过毛生产的高纯产品，该产品卡要月十人热模供感电路.光导纤维，产温地导，铝加工尝尚新技术领感分了式ck
相对分子质量：70，935接49年区示对原了质量）101, k下佛点:—3.. 05℃
101.3k下的熔点：101.0.
Jol.kPa及2uc:下气体的密度，3.seukg/m2规范性强用文件
下列文件中的策教追过六标准的引用而成为本标准的条款，凡注日划的叫用文控，其隧！可有的将收单（不包指步误的内容1或参订版均不适用于本标准·粘而，故励根据本标准达成协设的齐方研究是再可使用这些文件的展新版本，凡是不注日期的引用文件，其最新版中适用于车标准。GB1SG危险货购包套标上
GB50S9钢质大气瓶（G比50991994.n691SO47C5）GHT5274气会折液准而混合气件的制备你量法（GB/T5274·18E5，以VISI)6145气体中微显水分的测定电法
SB/T5832.
气瓶颜色远克
纯，高纯氢利纯室
GB/T7445
H:\ XDS?
3要求
尚纯要的质些指标应对合表1的要求。表
的位积效
,的达积分效
N的体识分数
化（C的体积分数
二化（心)的体供败
经（C：-.心的生积分数
求(H.的体识分数
注=. C--C 系 CH,.C上r,C,h.,C,H.质罩指标
99. 556×1:-
73N19
2，高钝靠中会属赖校的要求发检应H供方可目[户商足。I
GB/T18994—2003
4检验方法
4.1取样
取择爱如图1，
十：-图卡
2.一接检划器：
洲节阳：
拉取样系轻
高效颜气产品第瓶。
图1取样独监
所有取单改分析管线采用内做光不频罚管，收样前，充用与气相向的高纯气体完全吹洗钢瓶阅及所有音线中的空气和水分，查本底莉合费求石，打开高纯执的瓶阀，开启流量调节阀充分监换收样系统以取得代表，节流止至一定值，样品放空气用(1，3>的稀氨水溶液吸收。每次退样测后，光关团高范渠销瓶制·线后用吹选气吹险瓶阀及所有管线内为残余氧气欧空气主带处水游添吸收。
高驰氨的度（按式证算：
=1c01，++4?10
.—府纯氢的体积分数.！0“；bZxz.net
一靠的体视分效.10“！
额的偿积分数，10
一率化懒的体积分数，10“！
一二率化操的体积分数，“，
轻（~C)的体积分数，10“
的体积，-。
4.3氢、氮含罩的测定
4.3.1收器
采用配有热导检谢能成龙他等效能测器的气相色诺这，铺斯配有划收洗气路。色增流利示总函套则附录4
4.3.2测定条件
检测解，热导检测器（其任笠效验测器）.控测限，驾的体积分数：1X10“：氮的本积分数:5×1
GB/T18994—2003
载气，氛气，符合GB/=7445的规定，经净化质，其染质含单化得测生分低约·个数量级，裁气缸量约35ml.:mia.
吹统气；同获气。
色谱：杜I预分离柱mXr的不铸钢烂，内装涂右2治D同定油的确藻十托体0.5m~.2。在1.2×4m的不爆钢杜，内装1XX分子锦（3.2mm~c.1%m），色搭柱温度：室盘，进拉悼码（3~5）mL.4.3.3测定步要
4.3.3.收器肩动
按仪器说所书启动仅器，调整各换作参数至过定值，持收器工作您元4.3.3.2测定
忌按.1的有法取样，
转动取样四引人测样品，被测样品经检1分高，杂质组分进人租Ⅱ进一步分离记，进人检测器记求样品气中被测组分的深留时间和峰面职（成峰高）转动划刮闲.纯三组分氯以系统吹出，用力网己本少保证系统药定面设胃的
4. 3.3.3定标
标准泥合气投GB/T5274配制：以高铠需为底气，其互（(）的本积分数2~1）10含算(N的体积牙数（2～4)×10)\。函4.3.3.2的操作，证录标准气中被测组分的保留时间和峰面积（变味高），4.3.4结果处理
4.3.4.1高纯飘中氧（）氢（N以体积分数（%)示的道按或计算：*一—×*
支中：
更一一样品气被视组分的体积分数，！；你准气中被很组分的体分源，13，A一样品气中被德分峰丽我，单位平方量米（mm）或降mm)；A：：标推气中夜测组分峰而积，单空大了力毫米mw）或哗商mm)，4.3.4.2以三次平行定的算术平尚值为测定结果，平测定的相对篇差不大于11%。4.一费化碳（CO)、二氧化碳(CO,)烃（C,~C)含单的测定4.4.1仪器
采.刀带有中烷转化器的氢火焰商子化检测鲜的气相色谱议，辅劲比有切制气路：色流程尔意图参如附录A，
4..2测定条件
限：01×1℃（件程分数
气及转化气高纠氮，应符合R/下931的规定·流量按交器说书：气：产乳氢，度符台G3/744>的概是，流量安仪弱说陷15：助燃气：至气，流量按仪器说明书，诺栏，:向4.2.$，持×m的小锈钢样，内要1orayakK0.2u--0.16m；二考可用龙他等效色谱并：柱福：；逆拦林：约3L：
牛烷转化器：350：~180
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4.2.3测定步骤
2.4.3.「肩动
按议说期书启动仪器，调整各操作参数至选究值·待仪器稳定，4.4.3.2测定
按4.1的行法取推。用六翘期向它谱议进样，一氧化俊心)、二氧化破（心O）源经免造机.T将杂压与数分开用切制收出主祖分，吹止气经希氮水收收后放空，能进人柱Ⅱ分离奈质，通对转化器进人检别器，记录保留时间和择面期（或姓高；，4.4.3.3定标
标准泥含气按/5274配制，以高纯为底气，含01~5）×-体积分数）010-2）：1（累分数）I，及（1--）×0（体积分数）.承专步爆4.8.2记录标准气中疫谢分性保留时种峰而积或峰高）
4.4.4结果处理
高纯款中以)、C熔(心*)的含量按式(2》计算。以=次平行测定的资术乎均值为测定结利，制定的扫对偏差不大于1次。4.5水分测定
控B/932.1的靓定
5检验规则
5.1高纯激的责量由牛产厂的质温监督部门进行检验，保证出厂产品点量符合本标准要求5.2尚统的质最应慢本标准检验方法率项逐版检险，检验结果有一项不符会本标准要求时，则该新灯本合格品
5.3用产在权按本标胖进行验收，5，4当供需双方x产品质发生异设时，可由效力其同验收或担请冲费，6包装,标识、运输没贮存
6.1良统氯的氧装、标识，运输及贮行应荐介气瓶安全监案零的规定，6.2、包装高驰气瓶.应存台B099的规定，新来网要束特殊处理，其版配内密封填料用及三筑艺婚，谢保闹门通畅，严格密时不供光案。氯气沈装需数烂1.20--].25.6.3高气款业疗效在阴原、通风库房内，远离火种、热源，止阳光耳射，与池美及右机气体，强还原剂等分仓存放。
6.4&标识应符合GⅡ1SC现定，气瓶款色标志位符合GHY144的规定。6.5高纯山厂时，应用有产价合格证.产品会格证内案包，a生产厂名弥数全产！地址；
1）产品名聚，
）产口期：
）气瓶瓶号；
充装虚（kg)，(MPa)：
）本长准书称编号等：
产品有效期
7安全要求
7.！激是一冲近隔蚀性，漁率化性片暑每的换质，除少数的境性气体外.厂乎能所有元素长成化合GB/T 18994—2003
菌，对人及生物有严年的志害作：弃工作环境的空气中录向负许含量1×1（体现分数）。因此·在兰产和便用对应确保系统的气案性，安企可并性。7.2作业场所应确保通又支好应备有正非呼吸群或带空气骨毁的面部呼吸折，7.3不汇许物氯从一个气瓶陷总样到男人气瓶中，不能惠将气瓶增卡，7.4设备、仪器方通高纯忽之前，要用下爆所情性气体吹泌、管势经过检漏。7.5减定凌面的减压器、门及管线虚选用耐离浊内不锈钢制准，排放高纯氧时，必期用带氯水游液进行吸收，井确保吸收有效环可是GB/T18994—2003
谢录A
（资料性附受）
高纯效杂质分折流程示衰图
高纯累杂质分护流冲示总图见图A，1。8
极气1
鉴定路！
故室：
一没样致洗：
孩气”.
1高纯点产品杂质分析流程示意围图A.1
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