【GB国家标准】 电子工业用四氯化硅

中华人民共和国国家标准 ICS 71.100.20 G86 GB/T 38867—2020 电子工业用四氯化硅 Silicon tetrachloride for electronic industry 2020-07-21 发布 2021-02-01 实施 前言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC 203) 提出并归口。 本标准起draft单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、赵帅德、唐霞梅。 1 范围 本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。 本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 - GB 190 危险货物包装标志 - GB/T 602 化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 - GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 - GB/T 4842 钢质无缝气瓶 - GB/T 5099 红外光谱分析方法通则 - GB/T 6040 液体化工产品采样通则 - GB/T 6680 气瓶颜色标志 - GB/T 11446.1—2013 电子级水 - GB 15258 化学品安全标签编写规定 - GB/T 16804 气瓶警示标签 - GB/T 28726 气体分析 氨离子化气相色谱法 - GB/T 32566 不锈钢焊接气瓶 - GB/T 34972 电感耦合等离子体质谱法 - TSGR0006 电子工业用气体中金属含量的测定 - 危险化学品安全管理条例 - 特种设备安全监察条例 3 技术要求 四氯化硅的技术要求应符合表 1 的规定。光纤用四氯化硅还应增加相对透过率的要求，相对透过率的要求应符合表 2 的规定。 表 1 技术要求 - 四氯化硅 (SiCl4) 纯度 (体积分数): ≥99.9% - 三氯氢硅 (SiHCl3) 含量 (体积分数/10^-6): ≤1.00 - 二氯硅烷 (SiH2Cl2) 含量 (体积分数/10^-6): ≤1.00 - 甲基二氯硅烷 (Me2SiCl2) 含量 (体积分数/10^-6): ≤1.00 - 金属元素及其他元素含量 (μg/kg): (硼+铝) (B+Al) ≤1.00 (磷+砷) (P+As) ≤1.00 镓 (Ga) ≤1.00 锑 (Sb) ≤1.00 铟 (In) ≤1.00 钙 (Ca) ≤1.00 铬 (Cr) ≤1.00 铁 (Fe) ≤1.00 钾 (K) ≤1.00 钠 (Na) ≤1.00 镍 (Ni) ≤1.00 钼 (Mo) ≤1.00 锰 (Mn) ≤1.00 铜 (Cu) ≤1.00 镉 (Cd) ≤1.00 钴 (Co) ≤1.00 锌 (Zn) ≤1.00 钒 (V) ≤1.00 表 2 相对透过率技术要求 (光纤用) 红外吸收峰位置 (cm^-1) | 对应的物质或官能团 | 相对透过率 3666±4 | SiCl4·OH | ≥99.9% 3100~3020 | 芳香-CH | ≥99.9% 2970~2925 | 脂肪族-CH | ≥99.9% 2860~2830 | HCl | ≥99.9% 2338±4 | CO2 | ≥99.9% 2295±4 | Si(NCO) | ≥99.9% 2257±4 | SiHCl3 | ≥99.9% 2023±4 | Si(CH3) | ≥99.9% 1540±4 | (未注明) | ≥99.9%