【电子行业标准(SJ)】 玻璃光学件减反射膜规范

中华人民共和国电子行业军用标准FL5971
SJ20448—94
玻璃光学元件减反射膜规范
Specification for anti-reflectioncoatingsof glass optical elements1994-09-30发布
1994-12-01实施
中华人民共和国电子工业部批准中华人民共和国电子行业军用标准玻璃光学元件减反射膜规范
Specitication for anti-reflectioncoatings of glass optical elements1范围
1.1主题内容
SJ20448--94
本规范规定了在玻璃光学元件上镀制的氟化镁减反射膜的最低光学要求和耐久性要求。1.2适用范围
本规范适用于玻璃光学元件上镀制的氟化镁减反射膜。2引用文件
GB2423.17—81
GJB1525--92
3要求
3.1材料
电工电子产品基本环境试验规程激光光学元件总规范
镀膜材料应采用光谱纯的氟化镁。3.2镀膜面积
试验Ka：盐筹试验方法
光学元件应在其整个有效通光孔径范围内镀膜。除另有规定外，当光学元件图纸或订货文件未规定有效通光孔径时，允许不镀膜的范围应符合表1的要求。表1
光学元件直径或对角线最大尺寸（mm）≤50
不镀膜范围的最大宽度（mm）
大于50mm部分，每10mm，增加0.15mm在规定了有效通光孔径情况下，有效通光孔径以外部分的镀膜范围应由供需双方协商确定。
3.3镀膜质量
镀膜质量应均匀一致，并符合下列要求：3.3.1物理要求
膜层应无脱膜、起皮、裂纹或气泡等损伤现象。中华人民共和国电子工业部1994-09-30发布1994-12-01实施
3.3.2外观要求
SJ20448---94
位于焦平面的镀膜元件表面不允许有超出元件图纸允许的色斑、油溃，条痕或斑纹等缺陷。除非元件图纸或订货文件中另有规定，位于焦平面以外的镀膜元件表面上的色斑、油溃、条痕或斑纹等缺陷符合下列要求时是合格的。a.3.4.1条和3.4.3条中的透射率和/或反射率要求；b.3.5.5条中的附着力要求，
3.5.4.2条中的对努氏（Knoop）硬度大于450kg/mm的基片的重度磨擦要求，或者C.
3.5.4.1条中对于努氏硬度小于450kg/mm的基片的中度磨擦要求。注：对于本规范而言，当光学元件难以确定是否位于焦平面时，通常按其位于焦平面内的情况进行处理。3.3.3溅滴和针孔
膜层上的溅滴和针孔应被视作麻点，并且其尺寸和数量不应超过元件图纸或订货文件上所规定的要求。
3.3.4表面疵病（擦痕和麻点）
膜层上的擦痕和麻点不应超过元件图纸或订货文件中所规定的要求（不含基片上的擦痕和麻点）。
3.4光学性能
3.4.1透射率
光学元件在镀膜相当于四分之一波长光学厚度（QWOT）的波长处，对于各种折射率的基片透射率增量等于或大于图1中的数值。n
一面镀膜
两面镀膜
非接受区
接受区
非接受区
接受区
图1器
镀膜与未镀膜样品透射率差
3.4.2膜层厚度
接受区
SJ2044894
非接受区
图2最大反射率（%）
除非元件图纸或订货文件另有规定，膜层的中心波长应在0.45～0.60um之间。3.4.3最低点的反射率
每一个镀膜表面的光谱反射率曲线上最低点的镜面反射率的数值应不超过图2中依据基底折射率所给出的数值。
3.5耐久性
3.5.1盐溶性
室温下膜层在浓度为5%的盐水溶液中没泡24h后，膜层应符合3.3.1条的要求和3.5.4条中相应的耐磨性要求
3.5.2混度
膜层在相对湿度为95～100%、温度为50士3℃的环境中放置24h后，膜层应符合3.3.1条要求和3.5.4条中相应的耐磨性要求。3.5.3耐盐雾
膜层在盐雾中连续暴露24h后，膜层应符合3.3.1条的要求和3.5.4条中相应的耐磨性要求。
3.5.4耐磨性
3.5.4.1中度磨擦
当用干燥、清洁的干酪布磨擦膜层表面后，膜层表面应无可见的损伤，如擦痕或脱落。本要求适用于努氏硬度小于450kg/mm2的基底。3.5.4.2重度磨擦
SJ20448—94
当用橡皮浮石磨擦头磨擦膜层表面后，膜层表面应无可见的损伤，如擦痕或脱落。本要求适用于努氏硬度大于450kg/mm2的基底。3.5.4.3附着力
将玻璃胶纸带牢固地粘压在膜层表面上，在与膜层表面垂直的方向上迅速撕下胶纸带，膜层表面应无脱落现象。
4质量保证规定
4.1检验责任
除合同或订货单中另有规定外，承制方应负责完成本规范规定的所有检验。必要时订货方或上级机构有权对规范所述任一检验项目进行检查。4.1.1合格责任
所有产品必须满足本规范第3章和第6章的所有要求。本规范中规定的检验方法应成为承制方整个检验体系或质量大纲的一个组成部分。若合同中包括本规范未规定的检验要求，承制方还应保证所提交验收的产品符合合同的要求，质量一致性抽样不允许提交明知有缺陷的产品，也不能要求订货方接收有缺陷的产品。4.2检验分类
本规范规定的检验分为：
a.鉴定检验；
b.质量一致性检验。
4.3检验条件
除另有规定外，鉴定检验和质量一致性检验应在16～32℃之间的温度环境下进行。4.4鉴定检验
鉴定检验在国家认可的试验室进行。检验项日、检验要求及检验方法按表2的规定进行。4.4.1鉴定检验用样品
鉴定检验的样品应是代表承制厂正常生产的，并应从现行生产中随机抽取的镀膜元件，同时还需制备专门的镀膜试片。
膜面积
物理要求免费标准bzxz.net
外观要求
溅滴和针孔
表面斑病
膜层厚度
最低点的反射率
盐溶性
要求的章条号
检验或试验方法的章条号
检验项目
耐盐雾
中度磨擦
重度磨擦
附著力
4.4.1.1镀膜试片
SJ20448-94
要求的章条号
检验或试验方法的章条号
镀膜试片指与镀膜元件处于完全相同条件下镀制的镀膜试片。用来进行光学性能和耐久性试验的试片，应具有下列要求；a.
厚度，
应易于用来进行光学性能和耐久性的测试及检验；应具有和镀膜元件相同的光洁度应具有通过计算方法模拟镀膜元件的轴向厚度或用来进行透射率测量的镀膜元件的努氏硬度应当大于45kg/mm，并且应是低色斑的材料应为与被镀膜元件一同置于真空室内镀膜，以其代表同室同批镀制的光学元件的特注：当试片的折射率和吸收系数与元件的折射率和吸收系数不同时，试片镀膜前后的透射率差应与图1一致，试片的四分之一波长光学厚度（QWOT)膜层的最低点的反射率应等于或小于图2中给定的值。4.4.1.2数量及分组
鉴定检验样品的数量及检验项目的分组按表3。表3
镀膜元件
镀膜试片第一组
镀膜试片第2组
镀膜试片第3组
4.4.2合格判据
要条的章条号
3. 2、3. 3. 1、3. 3.2、3. 3. 3、3.3. 43.4.1、3.4.2、3.4.3、3.5.1、3.5.4.2
3.4.1、3.4.2、3.4.3、3.5.2、3.5.4.2
3.4.1、3.4.2、3.4.3、3.5.3、3.5.4.2
检验或试验方法的章条号
4.6.2、4.6.3.1、4.6.3.2、4.6.3.3、4.6.3.4
4.6.4.1、4.6.4.2、4.6.4.3、4.6.5、4.6.8.2
4.5.4.1、4.6.4.2、4.6.4.3、4.6.6、4.6.8.2
4.6.4.1、4.6.4.2、4.6.4.3、4.6.7、4.6.8.2
如试验中所有试片均符合本规范的要求，则认为该批镀膜元件通过鉴定检验。如果发现某项试验有个试片不符合本规范的要求，则应加倍取样重新进行该分组试验，如仍不合格，则该批镀膜元件鉴定检验为不通过。只有通过了鉴定检验才能进行产品生产。4.5质量一致性检验
质量一致性检验的分组检验项目、检验要求及检验方法按表4的规定进行。检
镀膜质量
光学性能
4.5.1检验批
镀膜面积
物理要求
外观要求
溅滴和针孔
表面疵病
透射率
膜层厚度
最低点的反射率
SJ20448-94
要求的章条号
检验或试验方法章条号
除另有规定外，个检验批应同由同一蒸镀罩蒸镀的元件或试片组成。4.5.2抽样
对于表4中A组项目应进行全检，并剔除不合格品。对于表4中的B组项目，应从通过A组检验的批中，每一批至少随机抽取3个镀膜元件（或同时制的镀膜试片）进行检验。4.5.3不合格
若抽样检验中有一项指标不合格，则该批产品为不合格。4.6检验方法和程序
4.6.1清洗
任一提交检验的镀膜元件或试片，在任何检验或试验之前和之后都应仔细、彻底地充分清洗，除去膜层上的污垢、指印和油溃等，清洗液一般用丙醇、乙醇、异丙醇或它们的混合液。清洗之后用镜头纸或软而干净的棉白布将被检样品小心地擦干。清洗液的温度不应超过27℃。4.6.2镀膜面积
镀膜元件的镀膜面积应当采用标准测量装置（见6.3.2条）或用供需双方认可的测量仪器进行检验。镀膜面积应符合3.2条的要求。4.6.3镀膜质量
4.6.3.1物理要求
镀膜元件的膜层应通过反射光进行目视检验，不应出现脱膜、起皮、裂纹或气泡等损伤现象。检验应采用两支15W白色冷萤光灯作光源，与镀膜表面的目视距离不应超过45.7cm，背景应为黑色，检验方法如图3所示。镀膜质量应符合3.3条中的规定。6
(最大）
SJ20448—94
两只15W冷白色荧光灯
(最大）
被检元件
注：1.检验区内的照明应仅是来自检验用的光源。2.可将被检镀膜元件倾斜适当的角度，以便观测膜层表面。4.6.3.2外观要求
黑色无光择背景
用4.6.3.1条中规定的方法检验镀膜表面是否有污染、色斑、条痕或斑纹等缺陷。膜层应符合3.3.2条要求。
4.6.3.3溅滴和针孔
用4.6.3.4条规定的方法检验膜层上的溅滴和针孔，膜层应符合3.3.3条要求。4.6.3.4表面病（擦痕和麻点）
除必要时用放大镜检查之外，镀膜元件上膜层应采用4.6.3.1条中规定的方法进行检查。膜层表面擦痕与麻点尺寸及数量应符合3.3.4条要求。4.6.4光学性能
4.6.4.1透射率
a.试片和平面元件
用分光光度计检验镀膜试片和平面元件的透射率，并检验相同的不镀膜的试片和平面元件的透射率，镀膜后透射率增量应符合3.4.1条要求。b.曲面元件
具有曲面的镀膜元件应采用供需双方认可的能对镀膜的和不镀的曲面元件作透射率比较测量的光度计装置，镀膜后的透射率增量应符合3.4.1条要求。4.6.4.2膜层厚度
用分光光度计测量单面镀膜试片的镜面反射率曲线，曲线最低点处的波长值即为QWOT，QWOT应符合3.4.2条要求。4.6.4.3最低点的反射率
本检验和膜层厚度检验同时进行，光谱曲线上最低点处的反射率应符合3.4.3条要求。4.6.5盐溶性
SJ20448—94
将镀膜试片浸泡于氯化钠水溶液中24h，该溶液是3.8L水中含170g氟化钠，温度为16~32℃，然后从溶液中取出试片，小心地在清洁的流动水中冲洗或浸泡，清除盐沉积物，流水的温度不得高于38℃，接着用有机溶剂清洗试片，干燥后按4.6.3.1条规定的方法进行检验，而后进行4.6.8.2条检验，膜层应符合3.5.1条和3.5.，4.2条要求。4.6.6湿度
将镀膜试片放入环境可控试验箱中，使之在温度为50士3℃和相对湿度为95～100%的条件下至少存放24h，取出进行清洗，干燥后按4.6.3.1条中规定的方法进行检验，然后进行4.6.8.2条检验，膜层应符合3.5.2条和3.5.4.2条要求。4.6.7耐盐雾
按GB2413.17中规定的方法进行膜层耐盐雾试验，膜层应符合3.5.3条和3.5.4.2条要求。
4.6.8耐磨性
4.6.8.1中度磨擦
按GJB1525中4.5.7.7a款进行。
4.6.8.2重度磨擦
按GJB1525中4.5.7.7b款进行。
4.6.9附着力
将一张12.7mm宽的玻璃胶纸带牢固地粘压在膜层表面上，然后在垂直于膜层表面的方向上迅速撕下胶纸带，按4.6.3.1条中规定的方法检验膜层表面，膜层应符合3.5.5条要求。5交货准备
本规范规定的镀膜光学元件的包装、装箱和标记按GJB1525第5章中有关规定进行。6说明事项
6.1预定用途
本规范所涉及的氟化镁镀膜适用于能增加光透射（或减少反射）的光学元件表面，图1和图2分别规定的透射率增量与最大反射率的要求，适用于可见光谱区（380～760nm）的镀膜，在紫外和红外光谱区应用的氟化镁镀膜的光学要求应另行规定。本规范中规定的耐久性要求与军用要求的质量水平一致。氟化镁镀膜在特殊应用中要考虑额外的耐久性要求时，应规定镀膜光学元件(膜层和基片)能够满足这些要求。本规范允许镀膜的光学元件上有一定量的外观缺陷，例如色斑，但这些缺陷只能是纯外观的不影响镀膜光学元件的光学性能和耐久性性能，光学设计者应注意到这一点，对于光学非焦平面的不允许这些外观缺陷的要求应在文件上去掉。6.2订货文件内容
合同或订货单中应载明下列内容：a.
本规范的名称和编号；
b.产品名称；
膜层厚度要求（见3.4.2条）；
完成检验要求的职责（见4.1条）；e.
制造厂名称及代号；
f.制造日期；
g．检验员印章。
6.3定义
SJ20448—94
6.3.1四分之一波长光学厚度，QWOTquarter-waveoptical thicknessQWOT定义为：
式中：n—膜层的折射率；
——膜层的物理厚度;
入——膜层的中心波长。
QwOT具有长度量纲，通常用um或nm表示。因此，如果某一膜层的中心波长为550nm，那么550nm波长的四分之一即是膜层的光学厚度。6.3.2标准测量装置
standerdmeasuringequipment一种通用的测试装置，它一般放置在承制方的试验室内，以供检验员对产品尺寸进行检验。这类仪器还包括各种仪表、光学比较仪等等。附加说明：
本规范由电子工业部标准化研究所归口。本规范由电子工业部标准化研究所负责起草。本规范主要起草人刘承钧、果宝智、刘胜永。计划项目代号：B05005。
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