【电子行业标准(SJ)】 内圆切片机通用技术条件

中华人民共和国电子工业行业标准SJT10310--92
内圆切片机通用技术条件
1992-06-15批准
1992-12-01实施
中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国电子工业行业标准内圆切片机通用技术亲件
Generic speeitirulinn of wafer slicar1主题内容与适用范围
SJ/T 133:0—92
1.1本标准规定了内以努片扩（以下节均片机>的术语、技求要求试验方法，按将想则，包装端运导，
7.2本标准量川三文或，卧式内网识计机。其仙类限的切片机可参照使用，2引单标准
他装站远南示标器
出口机战、电工、投器仪表产品色装通用技非条构GB2661
GB 2662
GB3768
GB6368
GB661S
CB6626
3术语
马上成痣装光中的小绒欧色
广工成衰控中护栏示控让的配位资声过声功率级片测定
运验包装快发货标理
础片厚实利总厚度变化的试古法山变的接理式测让方法
硅片然其高的非培式试法
利月环形内到金国石力，将业位单品制资等资驰业材州当必高监酬计内设备。3.2刀盘
医质在抛上月米安装为片并使其紧的件，3.3工件退络系统
将工件接预定进给量拍送刻切烈位立的装控3.4归制过输系统
控制工性或刀片接设定落度间配或山的装留，3.5品体调整机效
按切测所需品向温品本而皮的机构3.6品定向装网
中华人民共和国机械电子工业部1我-0-15托准1992-12-01实所
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老学或X射战等技术或整测件方回心装所3.7T件进给势度
工件进给系统运动的实际适给址与设定进求的最大禁值，3.日片厚议定范困
三件进骑系统肩动工们时一次进验别前大行，3.9品向调节范国
品调整机构能文、Y轴筑转时服达测的最大测监东度，3.10有效度
衡量片机使维持规定功能解的一个验指标。有效度一能工作得高华程数的两×10%能工作时间
4技术要求
t.1一轻要求
4.1切片机整有指示润研、案作、冷坏、安余整际降落标量：，计应可合行关标报段定，4.1.2主物提转向必察方征实薪示。4.1.3切片机-股只二件自动给和自动均功能41.4划片机一般应医件刀片张宽金前装置。4.1.5闪片机一股序配品体定间装所，4.1.6切片机设案片数切光活应有显示功能4.2使时条件
均片应能准下列使用条件下正案工作：4.2.1环境条件：
温度，5±：wwW.bzxz.Net
树对显接，不大于7C%1
远离抵动源，
斑良好，
供吼条性.
320±10%
220V±10%1
4.3主轴
4.3.1切片生摘挑动不大干0.5途网跳动不人0.05m：4.3.2切片机刀盘满心网跳动不人十0.13m径向国动不大于0.03m4.3.3切片机&筛而与导软渗动平函的平行度导轨长度为：的mm的范摄出不大于0.05mm
4.3.4采用弥支承的丰轴，当长力变化超过规家的数值效机方中断应在投等发实或保护浩施。
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4.3.5主轴（将刀盘)应作动平决非核正具估度为G.4。4.3.6，式轴出封老润良好，不得有旅水，过现家4.3.7主轴转动应灵活平稳、无料或现象，438报承注续运特升不大
4.3.9液传邮支承的土继：件刀盘连缓运转时油液湿升不了6。引准导轨
4.4.1在长度为1cnmm的范国内，号统运动的直提遇不人c.335mr。4.4.2微动机面使不得低H心64.价实款：为HB250~2704.4.3谢动寻轨与将动而·限动导轨与派动体均应按性良好，温协必渠，无叫游及爬行现，
44.4采月瘦件节压（体能，气次静压)支承的导划空载时.运动部件可周的评升英没者小人0C1 mm.
4.4.5采用微体静正支乐的导执立密款良好，不得出源毒源础现象户应有投替装望和保护措廉
4.4.6来月被坏帮压支求的导到应浮起良好，其浮起得动最心驱动力与正丘小之比不火半库擦系数
4.5工过系统
4.5.1工件违给系统在切剂过整中定位序率反可靠，不得自现无换作迹给和误动作，4.5.2H厚设定准国心.co1~9.00nm。4.5.3工炸进翰退券一馆应小0.cc5zm当进给盘为0.5m时)。46契剧进龄系缺
4.6.1当切进给速度改定后，其实际速度与设定速度误募专于10%。4.6.2均进龄速度应在5~99mm/mla内可佣。并有显系4.6.3均垫返回激度应大于200mm/m。4.6.4切制进的速度应有良好的熟定性，其误差小于5%，4.了品体谢机构
4.71晶体调整机效据装空间生备座长任以单快转，转介大小：7，邦有刻理指示，读数分辩率不大于5。
4.7.2晶体调整机构应锁紧可节。4.8冷
4.8.1刮冷式应充分、良好，玲却被流母尽可调，并有冷却中渐后的报声装，4.8.2冷却系速各阅1关用旧不得有筹流现象。4.8.3防护单应出封奥好二观案，4.日4切片机一般表2用水作为冷却症。4.5润册系统
4.S.1对于导轨，主轴卡轮等对变动前位应润剂良好：各润滑位应在产品说书中时越定汇说调，
4.9.2润油栏一般应有带示泄位内担标。小.10电气整制系统
4.10.1印制线路柜与相座折市应接地可换，不得不偿位，卡死等象，S7/1091192
4.102可型号的切片机相网序单款总能机的三换，并保证市换后电气性能和逻批功能为正确
4.10.3导线，电继及违超器应装卡牢国，无按统综景，光报导电许等现象，孕载应行业接余量，护套使用台理。
4.10.4尽线两端应标逆式线号，线号应与其相应的求路图或接线图1的线号一获4.10.5导线的额色应衍合GB281的规宽。410.6控出和护采灯的能色座对合GD2582的现定。4.11抑片质要求
4.11.1打硅片表而粗描盘应优下等切硅片质盘应符合表！的规定，其中C级片应决了的4.11.2
450±0. 4
$125±0.5
点50±3.5
4.12咪声
切片机空裁运转时操声应小干（A)。4.13退动
总耳淀变化
切片机运转时其垢轻在×Y2三个本向应小0.2 ma，4.14可性
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切片机有效度作为可靠性标，布符合木标准提定的环境条快及问户遵守只依产品说明卡规定探作规程策件下，切片机的有效度不低于汀%，4.15外迎要求
4.15.1切片机外表雨不允许有凸.渐，毛刘粗挂不平扣其它损等思象。4.15.2外表喷操献包应均幻.色调一致，平照光滑，不犯有脱，色转，流挂.起池、划症改阅喷等现靠，育色本得相架，
4.15.3电链及化学涂覆的季部性表面应光饼大班点，锈弹，起泡，脱尝及明显期痕等峡陷，4.15.年各种操作面极的标牌应消晰对久，共中的刻线.数字、文字和阅形符号等，标志应正响均付并有余色·标泽安装应位置正功、平整弯围。4.16安全要求
4.16.1短热的动力电路与保护中路导线之叫的绝续电匠不料小于2MQ，4.16-2电深输入瑞与机壳应既承受15V交统电压所时1n，丽无市穿与弧现象。4.t6.3外需的旋转等件（如垫轮、主轴、刀盘、皮带及皮带轮》应剂架范装缸。4.15.4切片机照机必研有接地帮钉和明显的换地标志。4.16.5切片机必须有案急停止动，4.16.6切片机的显明应采用36V以下安金电压。4.17运要
包装拍及被包装的内圆切片机代承受了三级踏路面（土路或静名路）行本速2C-4G，行车100km（或汽车换拟整试验台上进行运输试验3h>的价试验后，包装箱不提坏不变形，切片机经正常装调后工作B1意能保持产品标随和说明非中的各灿性能指标。4.18成套性要求
4.18.1制造！据供切片机时、皮包钙坐机附件、品损件、各件和轴机技术文件，以及足合同规定的其他装术要求。附件、新件和隔机益术文件应在具体产品说叫书中则确现定和说明：4.18.2制造厂供给均片机时，必效随机供给绝像指导文卡，5试验方法
51一般检查
按设产文件产品选明书举有关技术文件，与实物对照控者，持本恢4，，条付划定，
5-2外观检告
用月测法对划片以迷行外观质量查查。5.3安全检查
5.3.1用50V兆欧表测试核的动与保护降射之间的池率电。53.2在电源输入错与机壳间交洗1cV款询>电mim内尽资与证。53.3用目测法检变外露转零件的保拉表比。5.3.4用目测法检查有无楼地憬.丧地标志层否呼显，535操作检查切片机系急停止功能。5.3.6用比压表按查以片机期明正。5.4岁轴检查
5.4.1用电磁比较仪检测切片机1出剂血网跳动和经向持跌动5
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5.1.2用电感比较仅检测切片刀面图动和轻向解数5.4.3用电感比按仅检测刀盘端也与导轴运动平面的乎行密.5.4.4按下列方法趋查静压主报营置及保护指。3.
起的主别快其正常逐转心m证后断电检查保装到车起构长否为效b
调节液床静片主轴滋流阅，恒其证压低十设计些求时，检平报解装经及保护搭脏尼否有效。
有效。
调节气你压主轴压润，使其气压下数计要求时检变退装空必保护错施否5.4.5用动平衡试验机检变主轨(供万盘)动平使度。5.4.6用日法检查主轴密村性。
5.4.7用日到法检查生物转动情况，5.4.8主辅运转2后，用单导件点温计检查主轴油乘安乘点的温座并汁弹湿汇5.4.9浓体静压主轴运转2h后，用温虚让检查边液费并计其组无，5.5导轨效在
5.5.十用干分表控测导轨遵动的直线度.5.5.2自动和手动运行导轨，用已测法检查导转西接触利运效情况，5.5.3液体静压导教静压逆正，用T分表测盘抛用用，我计算其最大差值，5.5.4.开机用月测法签查液体静压导轨密封。5.5.5，在热定压力内.导执运动部性览升驱动部件，同测力计检查深起滑动激小驱动力并算与正压力的比值，
5.6工件进络系统检查
5.6.1试验50次所目测法和千分表龄查工准谨给定位可靠性5.6.2实际作用甘测法检查片厚设定范围，5.6.3在全星内分-段按0.元n1r进给进给用分谢率不低于0.001mm的光据支电子比较这.分别例盘25mm检直上件进给退差。5.7切割进给系统捡查
5.7.1用秒表检测实际违度与设定难度的差值，5.7.2实际操作检查切剂进给逐度可谢性。5.7.3用秘表核测返回难度
5.7.4在环境温度25士5心固内分低中，商三逆给遮使，用砂表拉测切刮进给违度想定性，
5.8易体调整机构检查
快并月日测送检查品牛调机构，5.9切制冷却检查
5.9.1开机用目测法愉否恰单情况，人为中断冷液三次检查圾整装互。5.9.2开机用同测法检查冷却系统密封性，5.10润滑系统检变
按使用说明书，用日测法检查各润舒部位润将情况，有无指示油位的拍标。5.11也气控制系统检在
5.11.1用日测偿捡声印逆路板与插座的接也价况S.I/T 1C310-.92
5.12江途必台国整孕的片机，互印游登本印测假乱间五生。5.11.3出日测送控吉导线电装及连接器装卡变5.11.4疫接线图必电路图用日测拉连导线两范线号一致往，5.11.5用回创法树查导线.按钥和指示灯熟色。5.12切片质负检查
5.12.1用比较法或光切法检查切割延片表百扭租需.取托长0.8mm，评长感1rm，5.12-2划机所范切天片径，按c.3.0.35c.40.0.45、0.5.0.65m六出历，包种制5片（连片）。用李出度检测仪，原度、总厚检划交：按GB518、GB6619、GB6620的方检查切片质盘。
5.13噪声检查
切片机空载运转获心B3769规定的方送在带机噪声。5.14抵动控查
开机运转、将测抵计些于主机上，检查整凯娠动情5.15可靠性检查
链续迅G，换拟切片记能工件时间与可发生微所需净修时淘更摄除意下实计单有效度。
文10%
白：A
有效意，验
能工生性间,
修多间，
5-16垒性检存
根罚片划使说明书，有关供货合同，查查产品求变性、5-17运价或验
划片机装挖后，按下述规定进行运物沈验（如条忙允许，亦可在汽提拟运输让验台上选行运输试验3h)，
设各暨于汽车中部并师以间定：1，汽率货收不超让汽平频定所的1/3沈准3经路面出路岁碎路行车曲：行车题度29--10km/h。
试验结来后，报在包装箱和内闭片乱的外戏注能指标序符作标准4.15.4.条的规定：
中拾验观
6.1构验分类：
，是型验：
b。 交以险验
例行热验.
6.2定型检验
6.2-1切片机在设计定型和生产定型时应证过范型造验。定型造验剂H饮表2版准
试玲项目
工件迅路系流
萄通系统
品位调整机构
均刻冷统
们滑系流
电气世划系统
切片通
运拍试检
SJ/T -0310-G2
改变心求目
4. 15 条
4..元条
试行大法团
5. 日杂
5. 11 系
5. 14 条
5. 15 条
5. 17 条
性，校示在该交趋验中应运行的检险项尺。62.3定型抢验的样品数质为2
轻密教的
剑行版浆
6.2.4检验中出现放降，读买项日不古培对，应停上检验，待查出发生格障的所闲，排除故障并提出效障分析报后，评新进行该项检放。并介成已的检快中再次出现故障，或禁项目不合格时，应博止检验，待查明放随原团，除故确，损出战降分折抵告后，正商进行族验，6.3空收按验
63.1交收检验山生产！质量强部门货盘计行6.3.2批段生产或连法生产的片机，存台部坐通过交改控验，方可出厂，6.3.3交收检整的项月按表2现店，6.3.4热中出坏证一故时，应停止将，待本出放滑原因，出故随后，重新进行检验。重新检验若再资出现放陷：则该印片机判为下合挤。6.4例行按验
6.4.1正式生产的彻片机系少但两气（成照位4产10G台)成进行供存检验，当付料、工艺有效大改变，可能影确产品性偿时：也须逊行例行检验，5.4.2例行控验皮生产厂质量龄验邵门货责进行6.4.3例行检验的项目按表2期是6.4例行检验的样品应在交收检验合格的产中随机抽表，其效量京不少于2台，8-
S./71031092
6.45报中止攻放障.或某项日示合格时.应行查明改障原区，排除故席后，续或重斯过行该项控验，若在以后格验中件次出残些障范基项不格时，应停止垃，待查叫放障原闪，非弥故麻后，重新进行测行检验，重新进行检壁义出现某一项不合格对，训判例行检腔求合将。7标志、包费、运愉，贮存
7. 1 标志
7.1.！切片机的指示、修制，保作等部分有心要的表示名格、位置或状态方向），按地等标志。了.12切片机应有将牌,并应固定在叫显的部位1:,牌至少应标出下列内容a
制造厂多称：
b.产品名称
产品型导或标记，
制运日期减日期代号：
出！编中，
7.2症装
7.2.1朽片机的包装应对台G[193H3.1系\箱装”..2案范谢包装\及3.5.3条“的震包装“的效定
72.2可片机的包表箱上应按GB15；观亲，至少应标上“小心轻放\“向上\，“冶派”“电心点”“电此起吊五冲包装堵污图示标志。7.2.3快片机的包装箱上应按心B6388的现意，至少标上“品名现格“、“量\“体积”、“以发货地点和单位”“逐你号码\运输包装收发货标志。1.3输
现片机在运输过程内度避免大+2多的冲折加准用。7-4存
舒小机必须杂的南陷步及试风良好的室内，不讲路大存政，它存期间每半年仙查，次，一年后全面控查一次，消除锈避和普斑然后重新封究保存。时加说明，
本标准由执械电子工业部电子标准化研究所提出：本标准由机效电子工业部第四十五矿托所起草。本标准主要起草人赵场、举晋浙，辣仁灯，向继红。9
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