【电子行业标准(SJ)】 直流四探针电阻率测试仪通用技术条件

中华人民共和国电子行业标准
S.I/T 10314 -92
直流四探针申阻率测试仪
通用技术条件
Ceneric specification of resistivity nieasuringinstrument with four-point probe1992-06-15发布
1992-12-01 实施
中华人民共和国机械电子工业部发布2
1.距内奔与适用范曲
引用标准
技术要求
测试市法
格验规则
也装,运输和贮存
对求A电阻率、撑层电阳，悠正系效计前公式次
中华人民共和国电子行业标准
真流四探针电阻率测试仪通用技术条件Generlespeclficallon of resiativitymcasuringinstrumentwiths foar-poiut pmlir1主预内客与适用范围
SJT1031492
本常证就定一直流四率望电塑实测试交《以下简球四探铲测试仪)的主要技术性能、试方法.检制规川、包款、运蜡、贮存要求守。本标准适用十子和的金等行业牛产与科研中测量半导体，金离薄层等的也阻率，薄层心限和心阻的自筑深测试仪，式心以四探什法为基础的六探，安直就四挥计电丑率障层电测试使可服使用，
本标雅不包括回探针探头标准，25用标准
包装储运南示标心
电工名洞未语，基本名词术评
GB6615
GB11073
SI 1F89
SJ2439
础片心组本的直排四深针测后方法片径向电阻率变化的测战方法
自子测量夜器可靠性试验方案
硅单晶片
SI/10315匹探针操头通用技少涤件JJGSU8
3术语
四探计电再测试促换定规
下违木冠外，本标准所亲用的电上名词术诺，医探针操头各调术玛分别按GB290C.电工名叫术语、基本名词术语和S]/门163范四探针探头通用技术条件的标准规定、3.1电座率0
材料内平行于电流方向的中势度空出流南之比，义称体电附率，单位为欧姆，重米(n+cm).
生别直线形排列与正方形请列的叫探针测试仪，电阻率的基本计算公式及公式的使用条件等见附录几，
3. 2薄层电 R,
中华人民共和国机械电子工业部1992-06-16批准1992-12-01实施
SJ/T 10314-92
材料内半行于电流方向的电等梯应以电流密史与材料享息的乘权，当序退趋近十零时其伯为薄层电：形式工火薄层中阻率险以村料厚度，单位为欧姆/方块（0)。使用直线形别列和上方形持列的坚探计试仪，薄层电尺，的基本计算公式及公式的使用条件等现阅录A，
3.3移正系款
当探针间距、被测品的几形状与于等满尽不「基态公式所要求的恶想条件时两要布求本会式中附加一些系教进行候生，这比系数所为惨止系数。各够正至效的定义，计算公式，使用态件等见附录A。3.4卓洗四速！电率测试取
H来试材料电阻、障层电阳和电迅的探针漫试装.由四探探头、点流恒流电和测量仪表等组膜。用规定的压力将探头上川根探针与微识栏品表面形放欧姆接牌，在其一限探针二通2心就，在寻两探计上测量其电位老+利用通入的它流和盘的电位差等数满·以及相应公式经过证算处现得判准测的数。4技术要求
4.1外观结抑要求
4.1.1四探针测试仪的外现结构应符合下列原则方局合理，美观大方、药构紧读、显示消渐、增作使、易丁维修。
4.1.？以拯针测试仪的表面平格光滑，无划按，压恢、企形、频蚀现象，涂克不得脱落。4.1.3学部独的安装虚牢固无松动：有药格动措逆，开关，最组的遇芯度力使，接作应灵循。4.1.叫探针测试假而板上的文学专和标志清楚无读，得合消关标催规定。4.1.5位移机构的动作应稳，探操作方便，免产小，4.1.6探义头规要求应符合ST/T1U315标准的规定，4.2变用环境要求
气（8--106a
退度（23=5)
相对短度，不大35券1
日有室调专州将消：
室内强电磁场卡扰，无光直接脑射，设显的最动和装熟。4.3源要来
电玉（220±10%)V
频率：(59=1添>Hz
波形；正弦波、
4.4卖全要家
4.4.1电源输入响与机充间的绝电阻大于6M。4.4.2电源进线虚有保险器，
4.4.3小源频入编与机充间应能承受1300V（有效直变流电时1分钟，未穿与现象
4.5主要技术忧能
四探针测式仪按主要技性舶分为1，1载，在！银仪器中按自读件程度分为A，B两档，2
4.5. 1整机综合依术老快
4.5.1.1测量节国（见表1)）
四针测试仪等假
电旺率n·cam
层电租0/
4.5.1.2准磁度见表2)
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10-10#
Je--105
互新针测出收等级
, Ul-50D · cot
≥-3. 201~ D. 010 - I:
50010000at
4.5.1.3至复性（见表3)
国探针测减仪等级
22. 21~5021 - #m
>2. 201~. 010 - U
>091xf-
概退电路试检准确度见表4)
掘计洲试仪等级
标准编意
根对误签
:5% [3a)
注.1）为模报电选中标准电证换量值的平均偿，4.5.1.5均无放障工作时附(MTBF）对1，「级仪器都是1006
4.5.2测量电路（见表5）
回频针测试收等设
电压疮码度
非性度
输人阻充
掌点源动
70-1~.2× JG
n-2~2×164
10-F2×1c4
2562a)
±9字h
S.I/:1C314—02bZxz.net
注：连多量的四来们受，档为验人就可与我不定，中所给性是电出量径当的缩入随究，
2拍求整度情记下的移
4.5.3恒流原非5表）
恒流源对于测式电路为泽置，可自动或手变变换电流方向，6
四按岸州京位事版
故被系数
免定度
恒沉源负载电必满足下列要来：o. (m--2r
.tc .5a
于：15%
当荣电流拍通过可调负线电阻时，较中阻上心氧有不，于V的中出可说或。4.5.4是示，记录双表（见本7）表？
四拖针副试仅等级
4. 5. 5探艾
变表类列
足小器
校数字书
t:ar显心
完资数衣
心姚宣
不规定
按S19315标准选用深头的精我等级低则针测试仪等级费，4.5.6探支架
4.5.6.1探头支熟成使干探头的装证，操头尚忘在支和主应有后，工市免动，探支果的瓶心泻与样品台上表面的垂直度应人大于心.m风。4.5.6.2择支架的传动装使：传或应平垫，深老应任于65dB，升择表骨导向推量要高，传动轻松，无报心帝录。
1.5.6.3支架应能保证每根探针接报例详品志面时的作月小衔合探头的现定，并能保持该值或探针两开样品表面。
4.5.7样品价（架）
微测样品不回，两要配带不同的样品台（塑）4.5.了.1测量样状单品的样品架,应有低被划祥卧较的有线性刻底mm带分度>的V型性和便一择立放的台。
4.5.7.2意旦快，片炸品台+台面的平而度应不天一G.22ma；台面能355\论转，有心于或等干5的分度编台面二应存直径为88.5)75.106、1251m等带主参考面的同心刘度线，度线应格含S2439破单品样片标准的规定.4.5.7.3作为中载测量的级四探针洲成仪，样品除满足工逆要求外，述应合GB615《娃申阻率的直排四操计测试方法标准中3.，1的规定。4.5.8整位装置
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择品台或探义支集的移位功能，至少应符台GBI1?3硅片密问电阻率变化的测试方法中规定的四种选点方案，
4. 5.B.1移位装蛋的要求(见装8)表a
四探型长位穿线
定畅度
按制大式
4.5.2探针通业流女式（见表9）四
1.4拖针
独换方式
4.5.9它要求（见表10)
州探评测试依等圾
自疫止动范
片字后入装景
测迎骨
光开程装围
数钢处理
4.5.10运输环境和包装的要求
温度： — ~ -603:
报度：90（40）
了动或自动
正，反二句
不恢症
深就定
有正、反二为
手动或自动
正、反二向
不规定
不规定
自动产人工
包滋箱及教包装时测试收在承受了瓶动4H、加迪度3持续时间的试后，包装确不损坏，不变形，谢试仅光好升能待合相应等级的模术要求。5测试方法
5.1谢试环境
5.2凝试健的求
量所使用的各种谨试仪群，其推确度长抵微小误差划带速则一解尽优十13率少为5
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【2梦洲数的确确！要求，使用步试受器必纳款有法计量机构的定价，并只不效期内内验定证书，
5.3外视统构检在
5.3.1日测被测试仪器观结构.表丽等应件查4.1.1~.4.1.6的规定改43.7、1.5.8的规定，
5.3.2手动检空前测或没器的各转动部位及定部位应合1.1.3.4，1.5等的热定，5.1电源活应能力测试
用交流稳压电源将电源电压分别升至7.42V和下降型！9V，各通电分钟恢测试器世能正常丁作。
5.5安全哈告
5.5.1根据线图检在有关保检器，保盘器内装人的保位丝应行合图纸要改，6.5.2500V的择表，测量串源输入端与克间第级出，大C0M25.5.3按4.1要求述电源描入端与凯完制女流15((V（有效但)电压，1分缺应无古穿,
5.6性伙测试方法
5.6.1证确度的校准
5.6.1采用国家使术监督部门收改受校单位认定两微变电率标准样或变准片（如R[M-IL—1,NJMIC—1,NIM-:—R部),其准确度应优于被检定仅器患畸度的1/s--2，对格排部行实游控实称为检实，其测试斤转接：5回探针任整测试假输是栏标准中17.1内规定进行，测试计复结来的确确度应行合1.5.1.2的规定。5.6.1.2用将整热仪器分成电气部分用率头部分分别进行检定：3.月气部分采压模电路法保见（66_5的3.6.2上5.2和存503的15标准%款，其测试计再出的结采应行合1.1.1的现定。b。换头部分测试方法详见1/3U31四球针择证用技术条件3标准规定，5.6.2再更性测试
根拍范格费的测范国，选弹应的标难，或长准！作步被测可象，势照避检仪数操作要求对样片中点.2mm以内进行！达测量。按公求（1算出被检仪器的更复性:×1n%
式中:F
议被检度器每次通减时的显示正站。其件应符合4.5.1.3的没定，
5.6.3创中
5.6.3.1电压准确皮的测量
图1采用车皮标能电源，产点与被他收器的破测量程满度相间的标准q
低，价人龄微测仪器，托微测仪器中品示受器读效值与标准电作值比较，其法券应符个4.=.2：的规定、
战测设器
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培度学准出正源
图3来用恒疏源一款自迅箱，产生胡座的标准心压，摘人统想测仅然，把被测仪器中显示发求读数低与标准电所值比较，其课差应符会5.2的规定互海额
被测这器
5.6.3.2非然性度测岛
标准电关
别量出略如图1和图公所示，取基本量锂量：次（n数字表整整化数）取其中最大伯差（与标相比）与滋盘册满值相比的自分数为流父器的测量四路的非线性度值，该伯立伦合4.5.2内规定。
5.6.33渐人阻扩的测量
3，输人附抗的测盈电略如期3所示，其中直痴小压源应有监视仪表，以使监现其输出电压消。
图户：代
“外势电阳长阻值与接概化器输人阻执回一数资经SS一.一开关其绝缘阻至>大于被的位器输人阻扰-个数量级h.谢母步通
按图3接好线路，预热，调罩+将中压温的年压谢书到被调仪器敏拉量祥满度值的乱效在，分新读取并关3，品改在不同位置时被侧因探针测试仪的显示值：S:于1.S,置于3.液度显示值s
S:十2.S：置于3.读取显示值
S蓝二1.S,盘干4.液启显示使Vu
S.置于2,S,置于1,底显示值5
根公式(2>计第输入出阻R，其值应符合4.5.2的划定。Us.-U
中,单位为
单位为a
直蔬小
5.6.3.4零点警移的谢显
计测式夜
SJT 1031492
在恒温条件下，意测试仪输入益微路，利热1h：在发能签高灵邮更情上，调节好位路显示的本点，观案R内产生的手点漂移应符分4.5.2的规定，当最高灵做使小V时，妮尝时间见宗，
5.6.4恒流源
5. 6. 4. 1准确度的测盘
自测尿线跨和位器
测宝线断如图所示：
R.\标准电H
中位益计或整字电压表的输入电阻应出高出四个数缺级，标准电阻，电依差计或警宁电正表组合后测量准确应符合5.2的要炎，b测量方券
将获测恒流源务档满虑值分乳输人划标电阻心上，用心位幸文或数学心压表测出R三的电压降V按公式（3)计算出实际中准伯1伯提差床符台4.5.3的规定。K
资测安器有可游
5.6.4.2恒流源负载的测量
测量线路和仅
谢量线路如5所示：
图，—标信市
电器必滑线电
电位差计或数字电压表一—测量标准电医上的电玉降。仪器和标准电阻精确度要求同5.f.4.1的比定，测量方法
电业或数学电压
按阅，连接线路特开关S置丁“！\位置并将尺，调至零，使恒就源分别拍出各拍满刻度计算出点波实测值、放
电流值，日心位率计感警宇电压率读出电压值V，准根=Ry
变飞，当电流变化达准碗度指标所定的圾报值时，将武了\2\位置，读出此时R，十R上的电活:应满-V>20V
能测仅邮
黄传源
注，品，根量不电流低选，尽可能心以的涨流测量：山流正系列。α
5.6.4.3恒流源线派系效的测早
a通基战降和器
量线路如时6所示：
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教教中阻·阻为该用流当教人我许费较电型交代成示器月来测量较R上的泛正有效成。直动自压表出来测量线电医的节流电非b.纹波系数Si算：
技公成（计算的对规定，
充电范放
区西源
5. 6. 4. 4取患度的测量
小湾器
谢量路划国，也恒湿系件下，热后，恒流源最高最低档选定其满度的%流按3示4.1所述法，企2h内低图半小时读取其电统数值，这当数但与谢定值的站人请然应符个4.5.3的定出降要求.5.6. 5显元,记录衣
外购议表函待合4.：1的要求，产长技术说明划变。5.6.6均头性能指标的瘦运
款ST13动规的谢试方法达宿，并应荷合机度的比能抗示5.6.7义支架的检坚
5. 6.7. 1均F动及料检存择头支规,元许合4. 5. 5. 1,1. 5. 6. 2 和1. 5 . 3的现定56.72许装格的最谢仪器盘：作1.以样品台上去面为注，正「分衣检探义支架心数的坐消度，应符合1而1的规处、5. 6.7. 3用噪产计检查度动装其的保产,序并合4. 5. 3.2的规产，5.6.8样品台（检裂
5.6.日.1用日测、于效，F尺尬验样品音器>应符.6，7.1、1.5.7.2,1.5.7.3时效定56.2停装格的样品（架十上川，对面的同位检五面度，患价台1. 5. 7. 多前既定、
5.6.9应格措度的按验
伴动的样品成得动的探头支架上方使卡成，额心用教以微说读出步理科其是位拮度应内合4.5，8.1的现是5.6.10其它要求的够验，
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用日测法检在被测仅器，符合4.5，3的规定，5.6、打运环境和包装的格验
5.6.11.1疫湿性升试验
将处工非工推状产的恢孕副试仪，注同活量工弹刻用塑料装时装好：欣入低温着（室内以小-20记/h的温度变化难率，牌邀率一4价待温降般定后保待4.然信便箱（究内流逐断恢变至室益，取出被测收器.再保持4后，开机测试应能符合4.5.1的距定5.6.11.2高担账存试照
将处干非工作状态的缺抢测试仪，放人高品箱（穿>内.以小于20的温变化理求，升温至十心心，待温度稳定后，保持4五，然厅将温度降至空温，取出被枪测仅器：再恢复45后开规测试，度能符合4，，1的规定。5. 6. 11. 3 湿度肪在试险
将处于非工作状态的裁拉测试仪，款入避熟箱（室）内，激臣升伞40后，开始如湿，使括对源度让到95以R保持2h，热后将慢度降到5RII将温臣降分室温版出被检权器，再保持6，形划测试应符合4.1.2和4.5.1的热定5. 6.11. 4包表运维试验
四探针测试仅及附件在光整包装按态下，按包装拍上的标记固丁试监台上，按4.：.1G的要收排行试疫，试龄结见后，检吉包费和四操针洲试收的外烈站构，应符合4.1.2.4.1.3.4.5.的规走。
5.6.12可带性试险
安\1899率子测读仪器可靠性试验片案“进行6抢验规则
四探针测试按的均游分交收检壁相划行抢验6.1交改检验
6.11收检整中生严厂贡量按验部门进行f. 1. 2
产品出厂，约台产品都应遍让多收检整，台能的产品密有守督证，6. 1. 3变收检验的以日<见表 [1>表11
外欢随均要求
4概虹应能力
安全定
模拟电鸡花
托乃检定法
重复性
4. 5. 1. 2
5. f6. :. 2
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