【电子行业标准(SJ)】 电子束曝光机通用技术条件

中华人民共和国电子工业行业标准S.1/T10312—92
电子束曝光机通用技术条件
1992-06-15发布
1992-12-01实施
中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国电子工业行业标准电子束暖光机通用技术条件
General apecificatinn nt electrnn beam expnaresyslem1主要内容与适用范压
SJ/T 1031292
本标准规定了心了束掌光机（以下简称光缸的术谱、技术要求、试验方法、检验规以等本标推适用奥成电路、微波器性，光电静件.册表面波器件等微细图形制作的中子中膜洗机.
2引用标准
电子工业专用设备汕漆涂质技术急件SJ/Z1793
SI1276
GB6358
3术语
会属额层和化学处理层质量检验技术要求产品标牌
出机微，电工、器仪表产品色装通用技术系件包装储运图示际志
运输包装收发货标志
3.1光分率
指在本标准规定的环燃条件茂工考条件下，中子对基片瞬光而账后，炭得的细小医形满晰度，通带月晒光，显影后所获得的最细图形线究表示。3.2图形过综相造度
电千束对片曝光，量影后所获得的南形边缘粗格缺举的和对伯，通法与螺光凯的遗细图形强宽比较，一般图形边缘粗快庭，不大于受陷到恶线宽值扩13头。3.3断形精度
中子来在片上，对给定的图形作分步母想哦光，所获得图形之间的相对谅差伯，通常用均方根值表示。
3.4形拼耕换精度
当给定的图形尺寸，起过电子束的指转场部分，田上件台移动，位够之将图彩拼接账光这种携按处的误差，称为图形耕按精度。通带州均方根值丧示，对元册扫描电子束睡光机而言，是招两杀荐之间的衔握误差、对失量扫描电子束赚光矶言，是指们转场之问的衔接误差。3.5刻精度
中华人民共和国机械电子工业韶t992-06-15批准1952-12-01实施
SJ/T10312—52
一种成电断性·差拖模，波此正确送自时，其中一员接模上的全部功能图形，与比守一层情棋工的相应医形的相对位登均差，3.6自套刻拆度
车同“块撞横版.，束对始定图形，作两改分步函复爆元·其两次账光医恶的相对位查调差。
3.7立接作图的套到精应
在一换！上，电事作无推博的直接光刻，等英丧电降许层的摘英图旅分别直按准片上呼光。其各图是柜应图的相讨位宜谢举：3.9同剂牵版情度
在指定的一台电子束喝光机上所制作的一部第成电路的套境模象，相互正确送合时，其行困层相应图形的相对位册确差，3.9效据
有效度是操光机任使比期，继持规定功能带的一手可罪性指标。辞光机的有效度一股即打效工作时所与能您时阅，有效工作时何之和的比伯的百分数表示。
中产品分类
4.1按中子案斑形状分为，
可变矩形电子束燥拍机：
b、影电广东暇光机：
4.2按喂光方式分为：
a，关范贞瞻光机
b.光扫申子出睡光机；
2光切、天量混合河拉电子束暖光机。4.3科号
由具体产品标准现是。
5技术要求
5.1工作坏造策件要求
低度：见表1：
每光仁房间
绿光机其它厌间
6.析对湿度：10%--55%
空气洁净度，在腰光机主机离司内1000继，许送能口限近层部净比，当制准微米级图形时尽部净化1级，制作业微来级图形时尚帮等化心级：d递感强度个大千10-
光机主抗的安装基础要求，存1H上的动应不大干V，在1以下的据动应不太于2
5S.1/T 10312—92
增光机主列发装上训的形状，尺应油且件产品标作制定，-：源市压，4UV上10%，32CV±1%，市源率50H+1送；降水的避水度3，进水压力m×10轰气距度应大于或等于9肾，
5.2一管要求
5.2.1碳光虹电了抢投财料刊格命，加速电正，控制让算机的型号、主要性能和配盘（内方质，磁盘容及型号、感带型号），计算机能按变的数据格式、手编格式（由制造！家投供）和CA刀生产格式，应在具体产品标准和产品说明书中明确规定和说明，5.2.2油康论的本部件的涂层应台SJ/Z173的要求。电镀皮化学亲假的零部件衣面座光滑细丝匠要求应衬合S】1276的境定5.3土要性能项求
5.3.1电于束流人小
投期阅材料的同山具产品标满龄的态效。5.3.2中于来斑形款.尺本和边分求由丹作产品标准销当参效，
5.3.3了束流带度
H具体产品标准给出多数，
5.3.4扫描审
日具外产品标推给出量高问描频收，5.3.5电子末请刻扫描场尺小
后本产品规准给出举大扫销场尺寸蒙数。5.3.6加工件尺寸节.国
喔光机应配备的可琨光最大回片和掩模版极渠：具规格对应关系妇表2规定。裘2
抵摸乐技架
5.3.7工件自彩效逆度
53×53
山县产品标作始出参
5.3.81计台降试固
75×73
1C9::uG
录机的工件台移动范臣，业满定时爆光最大函片和拖模版间现格要求，其对应关系如表R规案.
工作台移动冠调
5.3.9曙治分率
由其体产2标准给出参数
5.3.10图形度
SJ/T70312—92
-般在眠光机最细图形宽的头驱为5.3.11图形讲接粘变
具体产品标准给出参数。
5.3.12自能划精度
由品能产品标证销出室数。
5.3.13直挖作图的案刻精皮
由具体产品标准给出孝数。
5.314同机套版定
由具长产础标准给出参数。
5.3.15生产效率
由具体产已标准始出孝数。
5.3.16暖光机二作箕空度
出具体产品标难常出参数。
5.4安全要求
5.4，腺光机成消期显的接地标步有不大于见的接油法5.4.2在哦光机的三相电源人线口与机充之向，应谢压10V的交流比压1min不致击穿和不产生数电。共漏电谢不人子1.omA5.4.3曝光机的电子抢灯电源、高压电源与真空系统，应设有糜锁保护数量。5.5性求
在符舍术标准规定的环境条件及用户遵守产品说明书规定的操作规程条件下，串光机的有效度不低于U%。
5.6成获性要求
制适出厂的光机，应包括主矶、附件，易拟件和随技术立件设合同规定的其它要求，附件，弱摄件和随挑控术文生的种类，想格和燃量应在具体产品标难及产品说明书中明碎规定扣说明。
6试验有法
6. 1--收要求抢查
61.1查阅设计资料、产品说明书和计算机能接受的数据格式等有关技术文件，井与具体厚光对照。
6.1.2用日视法，安本标准5.22条要求，对睡光机逆行外观质量检查，6.2主要性能要求险
62.1于束流大小检查
从心子束系统内的“法证第简\上引出束班，用“做电镇计测量其数值，62.2良广束斑形状尺小和逆终分率检当用小口法（如图1示）测试，电子束扫过力口时用SEM够其它扫错是示登，出“法拉第简”上的京流波派（列图2示，取一次做分，其时间划对应束获尺计、取次微，其时问：【收峰值的1%-9%则对应边缘分辨率。技公式1)计算束旺尺，没公式（2)计筛边象分难、
式B束尺m
一引口宽度
SJ/T 10312—52
儿口试龄
注拉第育
注拉策普上副出的电流彼严图
次循分i/r使形
二内徽分披形
图2案流波形
，一—东流跨形一次做分的脉宽村可，7\——刀「1宽度对应的中洗波形时间9;R=
式中R
边缘分辨率，n:
万口究度m：
5.1/F1031792
束流液二次激分的脉究间：
刀口宽度别度的中筑波形时间：方班光丫两个描，在谢好象芯之后，只要非或个尚即可。
6.2.3也广市流密度的检有
币本标准6.2.2所末流与6.2.2所德事克心寸，接公式（3计弹E-
式中,——末道出度A/em*,
F.--束筑.A;
点—班尺寸，cn.
E.2.4扫描频率的控
用计算机送数把，在偏扫南轻的输出增，高超示战器测试扫浦输出波业，6.2.5电子束描我扫消场尺寸的孕查(3)
正掩模版工制组编特打猫羊元图形，用带导改镜的双玉标长度测压反，测出单方图形X.Y两个方向的长典数值，
6.2.6加上件尺中池用检查
用点尺德且潜卡围片或将模版尺小的规格，应与表2符合，6.2.7工件台转动速度的检查
在计算机控试下，工牛台×或Y京移动微光平涉仪进行度通，度公式计剂件台移动递，
式中，V..工件移动成.m/。
L上件台移动商，mm；
在工件合移动两内，计算机采样的时间，品，6.2.日二件合格动范用的整查
用工件台的移动距离读数尺,直接逆效，并与表3衍合。或者在计前拒控制下，1件台诺X、Y方问移动谢光T涉仅进行长度测量-并批公式（5)分号计算出X、Y方尚的移动比离.并与表3符合。
式中T件台的X或Y)方间移动距离，mn“需光十涉复的洲盘当量效值，mn-上件台在X（或Y)方向移动毕离内洲盘脉冲总数。6.2.9慢光介游款检克
图3所示，准拖模版三按1mm×mm括场哦光10m，m，1km，.m的分%率图形（0.应在5mmX.Smrm的扫描场内）.每组线条的宽实、间机等，显影后H显SJ/T 10312—92
微说观察，满延线条与间距清晰时最细图形线，为该机的睡热分带款，下条线
每%长0.5mmmm
每多规长 .1m
图分率检产
6.2.10形精必检查
币喉光扩在拖模版上制一组图4所示的矩形，每个知形的长，宽为眠光机最细图驱线宽尺寸的活带车台X、Y向分.工处理后用\光电波比长义”测凹X，XX.Y..Y...Yw冬值.分别计算X.Y的均方根位，应花台5.3..0条的要求。4
6.2.11形的讲接度检查
SJ/T 1031292
图图形精度控查
在偏转域的边缘《光册扫描的条将边练），作标尺线（如图5示，电子束在换版上X，丫为间作[个场（如四1示），显影信用鼎做镜读游标只线的误卷值，计再其均方拟适
主游标
付游标
图5分率为1uu的游标检查
同次光：的刻避标
S./T151292
图5龚们拼按精度检
6？.12自刻精检否
四个单元场拍向的拆提
四小单元方的的拼接
工片台沿文Y方间作分步录复运款产切归指作行进请光）电工束能次在他描嵌上扣描光主游标刻线如5【主群标工牛台移后，斯作第二次分女运动光乱扫站作第二次行进账光），依次喉光付浮标效线（如51付游标），复账光1<心单元场，阅饮强光的套刻避标如图示工艺处理后，用显镜、忙许标的误差伯，分别计氧文、丫存标送的均方尔假可
6.2.13直按海图的奔刻精变检查中于束对圆片准起始定位后，工件台沿文或1方向作分步登运动（充圳划挡作行逃学光，电子束依次片上扫按噪光主微标刻线，工件治逅同后取出买片，作（艺处亚后.将区片再次送入于性室，电广速快禁一次起所定位，并依决在册片三托描喷光付能标，再等量SJ/T0312-·92
光10个单元场降次的光的签游常州区5，平小圆片作艺然理之后，显茂锁十付游标对准法英，并分别计×，?解标识差的的方根道，即为直接们物的两大变刻度，6.2.14司机宽版描度格连
在逐光保上，学套掩慎版（少于3业），用“推图限比获仪”源说，读出意设整，并算均方根值，即为该机据模版签版度，6.2.15生产效
等表4婴求内奔实际制作。
版ERT
市心范钦
光损效院
6.2.5睡光机7作其空度检连
怀光而
用超高点空计规场试，收中工作其空支。6.3安全求险者
最联线究
（片A》
63.1月月现控换地标志民否明，并习地包阻测试议，缴地地电装置的血值。63.2自动出环装划试性能一相电将人线门与机克之在V的安流电下m内不效击亲，不产生放刚实，并以自动市实装所上读出帮消就大小63.3将真空送降三忆作再空度时，电于充的灯丝电源、商巨源应立即保价。乐流表上石出：克筑应降到多
6.4可品爱求检
连装机外，安险自套刻插感查达，余用机证记录行效工作间间与因发牛技降新简的咚含件可更易损行及止常调坚，正常投正除外）非公式（6计草有效底.
或宁.4一一有效度，%：
有效工作
-降克时河.
6.5产品成变性鉴求孕存
按本标5.6系室束.检变产品成性。？检验规
7.1的分类
爆光机验出制业位责量监驾前门巡行，只有当致警台格，非签发全理，产品道人岸或出厂。按验分为：
2变收恰改：
h.定型检验
c，例行检验.
了.2交收检
了.2.1率光拟定收签验应存进行。SJT10312—92
了.2.2光机在同方安装调试之后，整交收检验资日及方法进行变，要数供恶双方商的试验方法进行，
7.2.3交收检验所且包括：
，一般要求：
电于束筑大小：
心了策班形状次守利逆缴分率：电子克充：
扫率：
电子束偏转扫据均尺寸：
加工件尺范服：
工作台移动运度；
工作台移动范压：
光分，
图形拱热帮度；
要刻精度！
呼光机上作更空度1
安全要求；
成变性要求，
7.3定型检验
凡展下刻情况之…者应作定型检验新产品试制定研或产品转厂生产付：正式生产后，如材均，结放，工艺有较大改变，可虚影响产品性能：骨量的机控出定型能验的要求。定型检验项巨包括，
交微挖骏企部项已：
图形精度；
直接作图的套刻拓度：
同机套版持度：
生产效率；
可快要求，
7.3.3定型检整推机的数比，根产品型号.在产品技代策件中规实。7.4例行趋验bzxZ.net
74.1正式气产内光机，案计生产数区产户心上，成勿三年后商违行领行检7.4.2解行检验的须日向括
交收趋验的全项：
同规客派精境：
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