【电子行业标准(SJ)】 低压化学气相淀积设备通用技术条件

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T 10311--92
低压化学气相淀积设备
通用技术条件
Genericspecificalipn of low
Prcssure Chemieal yapor Deposition System1992-06-05发布
1992-17-01实施
中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准
低压化学气相淀积设备
通用技术紊件
Generie Speeiriealion of lawPressure Chemicnl vapor Depositlon System1主即内容和适用范围
1.1主愿内容
SJ/T 1031192
本标难现定了低正化学气相淀积（LPCVD)设备打技术术语及薄膜厚度（以F简称膜序）均勾性的计算公式，产品分类、待术要求、试验方法、检跑规别及包装、运缠、驼存等方面的要，
1.2适用范用
本标滤适用示间式热壁型低正化学气相淀积没备（以下菌称LPCVD设备)的设让、制道及下芝益，其它形式的1.PCVD设备的研判亦应垂照变用。2引用标准
半孕件器件生声用广敏侧试力法电子工业专用设备总技术求
电子测试收器电气、机按范沟菊本受求位装储运图示标志
CB6355
运愉色装收发货标志
3术语及公式
3.1旋承温
旋积各种微电了固体薄漠附所需要的工艺溢度。3.2累统投限再空度
在定的时内PCVD设备系统处卡奔闭块杰下油气所佳达到的最低压强值，3.3旋我压强
在稳积薄膜的工艺让我中，满足工艺要求能二作湛强，3.4气性
表征系染密封生能优劣的程度。3.5厚均句性
表在积厚度不回句程度的量人误差分布称减均匀性·遇带用片内均约。片函中华人民共知国机榜电子工业部1992·06-15发布1952-12-01实施
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均均均利批间守均性共同说明膜享均均长分有的相说：计第通用公式为；
中：保差分比
同组测试数据中的最人位
同组测试整带中的录小位
国组测让数光的算术中均点
3.6温宫梯度
×100%
无些在温区长虑范两内两个量外端微试点的显度考使。4产品分类
按反应管您可分为单管这密管，LPCVD识备可压于完次一种或多种微电固体获脱的剧奇T艺
非卧式反应结构制式LICVL设各同样按单室要多宗分类。5技术要表
5.1外观及-股要求
5.1.1设备的外观及外形
1.PCV改备的外规结构应为合下列原则，a。布所合性美观人方钻构系涤（木式栏）常示消晰：1供作方使，另工组修：
心，设各机柜内外表而比金零牛外表丽的保（键）良不应有呼的引抵、划伤、电裂、起塑、毯、计孔腔整科燃性等缺陷：表面平快色泽均匀：名辟粘按半固：宁速和内容应籍楚无送：紧固件迁接车固.无松敌现象，开关，旋组等的低整应方便.摄作录活可率。般要求
PCVI这备应符合不接术杀件费求，并按越定序忙谁的医纳和关技术文件制造，并具有良好的一求实用性和步全性。5.2主技求指示及性能
5.2.1晶片规桥53、75,10cmm等
5.7.2装量59！/每批
温度范围300~1C05℃
温区长慎及精度s士1（46~m)
计在盗区他用闪：盘座梯度3--30心可调5.2.5温度照定培士1心/24h
5.2.6系统摄限真空度
除气体管路以外的部分觉于.4a/1(lmin内b.
聚个系统（从口到气体微瓶减压器出口处）于1.spa/omin内2
5.2.7淀积压强可控可调
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5.2.8下艺气体采月质盘疏量控制举（以下简称M2C)控断1（树±2%FS响应时间ix）
5.2.9工艺过程控制式口动或手动5.2.10运动机械动炸平稳，唤声心。5.3安全学求
由于LPCVD工艺中使用品燃、通和有毒危险性气依，为了保运比备使用安金和人身安全·持提出以下要求
5.3.11.PCVL设备的整个工艺系统，良室排气装胃加热护、净化.1作台，气体管路等，以政配防石英区应管、冷却水酷，必要的连接机构、全连锁及气源版柜等关链萨件，部必须安全可带的工作。整机要求和装塞求应符合46第3杀和策4条的要求。5.3.2在气路部分，气源瓶柜，其空排气邮分等列护上方要设有非风口，以便与用户店内的排风设能相速接。
5.3.3设备应有良好的废气、度做帮效指施，（参见附录A>对燃，易操、有责等危险品应有问应的安金情施：比室温下或者极相百发生化学区应的气体源短.1允许放在同一个气瓶据内。
5.3.4在设的气留性和极限系空变达不到第5.2.6条中的所规定的技术要求时，绝不充允评使用危险气件。
5.3.5气路昏道及留路部件要使用耐纯不铭钢保料。5.3.5设备各柜外光及象电机外洲都警可验授地，接地电迅小！40.电源违线通头或接线端子对地绝级出阻不心于M，
5.3.7电源引人端与机充间应能承要1500V（501I2)交流电医式验，时[min穿和池腺。
设备性电网电压380V/225V士10%变化，预率为50Iz杀准下应能正带T作。5.5T艺指标（砸保值）
照和类
palysi
,(HTO)
药±4%
注S股的！艺标在达标山收明均划定。新率
1.5c12.95
淀抚这市
A irr.ir.
65~:00
（片/批》
定质速我怕供册
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淘表中均与性效捆妥仅包括境在大的作何一件娃源时的诺率：5.6使用环境要求
气压：66～106kpa;
度， 5~4n,
相对湿度，不大十85%：
具有空调前消沾间：
室内无强性磁十抗，无逆光直接照射，改有明显的拆动。5.7运输环境和包装的些求
温度，—40~+55 ;
相对：
LPCVD设各的包装及模似装的运整S142运创试嗨b项降拟定进行·试验后包装箱不拉坏，不必形、设备完好并符合相应等级的接术婴求5.B可亦性要求
L比VI)资备能宝可幕的工作（热见附录H)6试验方法
6.1外观和结伤构查
6.1.1时到届工具对展图纸垒验外形尺寸，口视检验外观，用手检验转动机构均应符合5.1条器求。
6.2未要报术标在能测试为
6. 2. 1谢血试验
在湿度范过内样30U心和1100℃两个蕴度值之间的任一温度值进行温区长度设精度单点我定性的试验。试验方供按51265第4条和第5条让行.应将合5.2.3和5.2.4条规定。6.2.2气渐性试
对整个LPCV1设备应进”工作巨强试验，对管舒系统应送行气出性或验。6.2.2.1系统圾双真空度试验
传用免过疫作并符合错度要求的真空测图仪器，别试系统的真空实应符合6.？录的规定6.2.2.2流识压强试验
查6.2.2.2系试验合格的基础上，设定个K需直<取40--270Pa之间等在-筑），系统能进行压强的调节相微定的控制，应符合5.2.7杀规定，6.2.2.3气密长试强
a可质错仪控带法
气路密性的气依管道、！接头质量池量控制器的年连转处，用高质诺仪检测其气店性度端气现象（据气率不于×\lm)。正后检润法
CVD收备中，把以气源怕成压器出！反应性气体入口之间的气站部件式外连接第傲为一整伴，开启气路部分新网门M通人正压2.9010\u3g/m)商纯，气，并岳闭进，出，关闭全部阀门及MFC，经注341后.打开气路部件中的各阅门并接通MFC源，使MC登制阅处于升通状态，观察出力表指针位，表压下降值不超过，56×10SJ/T 10311 --92
(n.2kg//m*）对于有事气体管路，表后下降值不幅过1.9×10pa（u.020kgl/tm），c负[F检谢决
LPCVD段备的气体连接管道，从气源瓶成压器出口处断开，并正诺义把肾道接口册闭。双临个【.PCV>系统进行抽再空！气。当运究报限真空度后，再雄续拍1Crrial.使按人系统的出力表指针处十出的量大值位，关闭气路部分所育门改MC，然后停止非真空静恋保持再次欢密后北表指：在开气路部性中的各闪门利接通F电源情况下表系升使不过1.5G×10\pa(G.2gf/r*)，对有带气体管路，表压上升值不超过1.96×1p:(0. 020kgf/cm*>.
6.2.3气任流单试监
MFC内满量程要满足各.T艺气你的实际需要，若MFC是采用高纯N，气进行定标（以M制造」说以书为依据使时要根新制造，厂提供的接算系数进行换算，工艺气体流盘的整制拍度和响应叶同等合5..案现定。6.3安金盛型
6.3.1安全接地装世和安会送锁装端的扮查，月日测法控查、及力用表检查；应符合5.3.1和5.3.6条前要求。
G.3.2展气散改签克，月测没备的安气、庞排改情况应符合品.%.7和5.3.3条的要求。6.3.3危险气怀的构许，说备使压危照气保能，应认真变肾路气密性和极限点空虚应符台5.3.4的规定，
6.3.4绝缘电阴检查.用500V，1挑表连接在设蛋的源捕头与机壳润频（电源关盘于接通位震，但源拍头不接人出两）面加测试电压1mi运，读取续再的教值，不小于avn.
6.3.5按5.3.7费求在电源引人消与划旁空流1500V(有效直）电K,1min内应元未弃与飞。
6.4心源退应能力试验
用座0.5级，量码1.5伟于电消电压的电压表临测，电源电压按220V/330V士10%内变比进行试翌，每次试验时间不少于3in，设各应饰台5.1条要求。6.5.1艺指标试验
6.5.1模拟一艺试验
装配阅试止常的LV段，用高纯，代片并降工艺气体，开安不同的淀积膜工啦要求达泽合适的流想温度、淀积压强、淀积时山、气体流虚等工艺参总进行模拟艺试验，（对干旁案统，费求每臂均达行该心识验）6.5.2工
莫拟工艺试致台格的「.三V设备，签确认资与求降，漏排风可常有效，气减压器正班无保而三儿泄端现之后换利工艺气体过行服阅以工艺试验（使用消洗烘十的消净品开，工节试收的结果应符价5.务的规定.：二艺试合的基上声生行工内的试移工该项工所中中单位道行），6.5.3工艺数据的制试
PCD收备的工艺指标土要月学均均性来考核，而表证再膜质的指标式刷试析结果比涉及到设奇，材样，上艺条片多正四本.因此，本标准只规意有关膜厚跨勾性的测试内容和力，
6.5.3.1片内效均生
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东同一试验片力选五个测试点，中心点和边综6mm的周上成90°分准的四点。用设器阅试这五个点处的率膜厚度.将所得数修按3：举中抢定的公式逆行计其，其站采使是摘景！内与勾作的误养白分比
6.5.3.2片性
洲量同一作试确，中各片中心点的收厚度作为代表每：片膜序的整直，将所得到的一组效据按第3.5条中给定的公式让行山算.其流果复是衡回片间均划性的误差互分比，6.5.3.3披间动性
抽取逆续试略的三批试验片，百先测量其批试预，各中心点模可度值，并计弹出滋批品片中心膜厚的平均佩做为代装每批试验片的概试教谊，将所得数值按3.5条中给定的公式进行计算.其结柴臣是衡量批间均与性误差分比，（膜测试方法改仪参考见附求C)。6.5.4工艺验收检龄
电单位计行工验收检变，接求标准策5系户工义指标表中对方商定票脱种类参照6.5.1.6.5.2条的试验方比齿行正式工艺试验，融试以算出工艺续单，应衍合5.5条的定.
6.6使用环境扮验
按5.5条现定
6.了读拍环境式包装的登验
6.7、1低而贮存试游
效试部牛处十非工作状态，用塑科薄膜内包装，士其中装入千没剂将其放入低温缩（室）内，小工.：的温宽变化速率，超能禁一下.待温落稳定育、偿持4邀后便带（查）温度诊商恢忘率室满20℃，收出款部件，耳保持4小后，中新装于设内，开机检声应符合5.2系的规楚。
6.7.2商盗些存试险
将静态获试部件放入高温箱（室)内，以小于止低温度变化速率升温至十55℃，等链度黎定后保持41，然后将祖思降至室担20<.出返试部伴，再恢复业后，重新装子设备内，开机检变符合5.条的凝，
6.7.3凝度存读验
避态被试部件人座热（室》内.温升举40:，开始温，使对湿度达再5G%，保持此，然后将温盛整爱实湿，相微度为40关.取出设试部件，正经能后重新装平设有内，书机检查应符合5.1.1和5.3兼的规实-E.7.4包装运猴谢验
设备放其附件在完势包装状态下，胺气表笔上的起记固定于汽车中部，在疑路油上以29～okm/h的速度车1cukm
让验结求后，险查包袋接利设备的外别销构，应许合.1.1，心，5.的规是，G.可端唑试验
丧附录B规定进行，
了捡界规则
[,FC:V设紊的验验处至收空验动阅行龄验。71交收孕验
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7：1变收按性由制法量按部门负责进行7.1.2LPCVL>设备出厂前，每台均应通过交收检验，合格产品应有正明书，7.1.3交收控验项目和顺呼按表？表定，技术要求
少规及-腔要求
土要蓝术治标及性能
品压他四，提区长潼及用医
系经起则瓦空压
爱视压播
气体比量控制拍压
安全要茶
电源要求
工艺指标
5.2.3.5.2.4
5. 2. 8 条
试略方法
6. 2. 2. 1 条
6.2. 2. 2年
7.1.4孕验中凸现任一放境比，应使止检验，查出改障原固，排除效摩后，重新进行交收检验。车新俭验茗下放北必节障，则核产品破判为不合格，限我许再实返修，再次交验，7.2别行检验
LPV设各批景台以上牛产时，对其内的关续部件逆行行检验了2.1例行整生产厂质最越查门负责进行，7.2.2有下：情况之应进行到行份龄a.
新品守师；
连续批量出产的产品，单少年行·饮例行检验改进设计主要工或换元器件和材料：产品创优，评化，
例行检型的产品应任交收检验合格的产品中隐机推取，其数量应文少于3台-例题验的项见表3。
艾格河尸
全部交收检将项目
运输环境和包试
限访产行下载标准就来标准下载网
水福芯存
湿忙件
包装检游
可载生检验
技术欧求
c.1.- 3.5
试验方
3. ]--0. 5
控验中止现格座，或菜员不台搭+盛奇做障原压，排院格障，圾凹做税分折报告，鞋球SJ/T 10311- 92
遇再新进行该项拉验：若函款出攻超降时，应变别龄陪质岁·排除故障：接出故演分折报告后，市新进行例行格验。在重新进行报照时义出规放障，则判该产品例行检验不合格。7.2.6举过行试验的产品不能作正品山厂，8标志，包装，运输和存
81标志
81.LP心VD设备上应有晰，率固的\列标志产品商标、产品名称、型号，制造广，产品编号及制造月期，
日.1.2效备气踏部件的外连管道摆1处及气源瓶拒内的气体管道连接处出应用铬牌标明气林名称或化学分子式，
日.1.3包箱销面上应有下列标志：产站型号、名称及标记：
背快到站：
收货单位！
2货地点：
发货单位：
指或仆数！
h.净重量：
d箱体尺寸：长x宽×高(mm),
8.1.4包装运输业标志
按1S1的规定在蒙箱叫显均位注厨不褪色的“弟宠没“，“小心轻放”“质滤”“向士“印“易降”等标志。8.2包装方法
8.2.1L1CVD设备采用分类分包装，被包装郭件用朝料袋包封后，再装人为级冲村料的包装粘内固定半靠，放入干巢剂，包装销内应有防雨油毡，对丁气持外丧学道接口和排气接口应分别密闭好。
8.2.2完整的包装箱内应时有，产品合格证.使用说明书、装箱满单，备附件等有关随机文样段对件。
B.2.3将包装指牢因时闭,并用推北带紧质正常。8.3运能
8.3.1也装好的产鼎应能道应以任何运拍工只的法始·间生运拍过十应防止雨弯直接微.
3.3.2包装好的产品在整运中应游免既游8.3.3位装好的产品应能适过规定的他装试验，以保证产量全运输读理中的安全，84
A.4.1LPCVD设备的所市包装筑序共中存政，必新于防尘、防两，防潮及通风良好前室。
只4.2产估存微期超注年青.在发栏便用单位前，教实十箱格查，确认光锈斑，游迹及其它摄生时，方可更影封箱发货
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附最A
关于低压化学气相淀积(LPCVD)设备排廖处理的补充说明（参考件）
由于1.PCVD下艺较为尽杂，区应副产物减份较多,所划各种型号的LPCVD投备必须有民好的排度施，
A1并度口要保证通，排穿通这内直多不小于50m，并其设有与工芒线厂房（或工艺试离室拆风磨道口相注接的接口，
A2必要时还零附带专门的气处理装留与1.P心VI)设备配套使用A3当设备的提废措施与净化厂房内的律度设施不协调时，设备制遗单位要和设备使用单位协商解决。
附录B
关于低压化学气相淀积(LPCVD)设备“通用技术亲件\中可推性素概的说明（获者件）
T.PCV门设备的工作机理及对机械、自动挖制、热力学，流体力学、其空恢理，化学，半导体物理及计算机等米种学科和先进技术的终合应用，由了艺性和安全性圾为要，随者自理化程度的不所据高，对设备的快尽可常性据出了更尚的要求，为此，车通用术条件中提出了可靠性的条款，
从事T.CVD设各研充利刷造的单位必项进行可常生设计。D2对于批册（言以上)生产的各种型.PCV核备进行可率性统计，并在产品标推中给出以下指示：
MTBF（平均无故障工作时间）（单位小时）6：MTTR(平均维峰时间）
c，Uptimrs(开机*）
（单位为小时）
3由于各种同产LPCVD设备的克杂程度及自动化水，功能及性能方面行在若举异，所总本通用技术承件对上逆儿项可享性指标不做统，的定盘见定。待今后右关LPCVL设备（或共他秀型的心V没各）的可靠性标准案例（或管理规他等)制定后LPCVS设备研制单位应遵照执行。附景
关于淀积牌膜厚度测量的规定
（参亏件）
在考多低压化学气扣淀积LPCVD)膜压度均匀性分准的指标时·必缆要头及到模厚度测量的方法和报带，本“证用技术承件\作下定：9
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1对氮化连（和氧化硅账厚草的测量在础村席上该果化理这氧比两膜.厚度书190~1200A使月园慢报光副量或带有数据处现系统的测厚收器进行测鼠。c2对于密晶硅aiySi>膜厚度的谢量：在延村眠二促积：层系化硅、后在氧化硅上淀多品碑，厚为100012004，他台阶仅或带有数据外理系赖的源愿仪举进行测图C3对于PSG，BPSG、W膜的厚贷测型力然由设备伤用皇位恨锯各自的工艺情说自定。测试内容和方法以改膜均句性比算公试见本标准的第6.5.3案和第3.5条，C
附加说明：
本标推自机根电子工业部吨于标准比厂新突所提出：本标准由国营建中机幕厂负责超草，本标在主要起草人：三学忠、刘映光n :
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