【电子行业标准(SJ)】 四探针探头通用技术条件

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T1031592
四探针探头通用技术条件
Generic specifiration af Frur-puint prob1992-06-15发布
1992-12-01实施
中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准
四探针探实通用技术条件
GenrrieSperifJealinn nfFaupnintprahe1主题内容及返用范围
S.1/T10315—92免费标准bzxz.net
本标游规定了四探针探头（以菌操头》的代游，提术誉求，测试方法、检验规以，标志，包装运翰，此件要求等
本标注适日丁电子和冶金等行业所内用的区探深针法测试半导达情，片，博展以及金属博层的也车和电的探头，
本标准与51/1314直流四探针电阻率测议通技本关件标准配套使用。2引用标准
/工1131+直流四探电率测试：通用势术系件GB:91
3术语及公式
包装储逐图示标志
电子测量器性试方究
以下证及公式的采用本标准的定义，3.1四按针探头
面瞬的企两钱材，一举圳1成一排度和州率半径作为实内四针形探针，使区个针米端处在月“面内，按一定推别形式组装在一起，并有四根导线与其各当相连，可在其上施加中流或源单中宝的组合件。深针排，一般为等削距的直线排列减上方形护列，3.2换针间范5
以计中心线的即商，共确定法系测品环车社样品上的压限技公式（证解孕出。陷示出自线形非列的案计间距确定方法，互方派非刻的探针的所可参照此方法确定中华人安共和国机械电子工业部92·0-批准1992-17-01实旅
圆心座标：
择针间距，
第一针
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第二铃
第一针
直线形排刻的四探针头压廖（组?刷盘位置制A+B
), -(C+)
第四针
S+=0 -0. -(C+H)-(+r)
3.2.1探针间的均值
问一探义，相同两柜部探针十次压痕测量弹出操针间距值的平沟值直线形持列的四探针头，其探针间所的平均值为：S
站中：
量组数，j=1.2.3.
3.2.2平均探计间克
对于等而臣的探头各探针间限的平均值的算求均直。对于直线形排列的探头、单均探针间距为：3 - 3, 4 3, + $,
3.3针尖压痕尺寸
操针与样品换触形成的压底在X轴方向,上最大尺寸2-.
3.4探针系数心
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d, =[R-A
d, .IR-EI
d,- -G
由于探针间距和其排列为式的不同而引人的系数称为探针率整心4
3.4.1当探针针尖处于同·-半面，针轴载也处十同一平面（以下简称直线形排列时，其间C=20(
s.+s.s,+s.\ $.
3.4.2当探计轴线处于正方形的四个顶角(以下剂称工厅形排列),其相邻两操针间距为等距离S时.
C =2nS/(2 - /2)
注，①公太适用+
大4拌品是午品厚度：。
@，心的单位为em
3.5探价间距修正系效F，
对于等的距操头，实际择针间臣不等而引入的修正系数。3.5.1对于直裁形列的探针
c-5 +5
当各操针闻距相竞较小时.上述公式可商比为：F - + 1. 082(1
注，公式[71,[8)适用于步小于者等下：的件品( 为品厚皮],(5)
35.2对丁正不形批列的探针，于在两次两疗位测中算出均值，可以消除探针间所差距，收不必进行修正，
3.G探灶游移率，
卡组探针问距测量值的标准偏差，与相适的掠针创的均值5，之比值，对十直线形排列的探针头有E、E、，三个游移率，×10u%
式: =1.2.3
为测量组致
(探针问距良序）
3.7探针叫相对假差
(10）
某个探针间斯十组测量值的均估5与与探针三距多的相对误差，对于线形能列的国探针头有，三个相对伤差、
式中 =1,
4盐术求
（探间距顺）
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探头技技小坐能为1、1然·披命分为A、汇、D装。.1外结构及一股要求
4.1.1搅头的治构速符旁下列原则：结对紧谈合理，探计间能措肺，导司持度高，针其上下滑动尽活沈卡阳和范居现象，保让中而上的失在司求半绒上。维更探头方更，4.1.2探头外表丽平陷，光证无年痕.缺性现象，4.1.3探头外表面应有标牌，等号和散据清充无景。4.1.4探针材料应案用高球碳化鸡，我码合金等高度磨恒出的金高标料其组织不得右境松现象。
4.1.5探头的引出线来川芯尽醛戏，4.1.5探头交验前，应进菩+次老化使用，预先别涤不合捞品。4.1.7探义用到规定内存命（次教）心，应使新进行按资。4.1.8用户待欣使益求，应在我求小议书中注叫，4.2外境费求
4.2.1按用坏慎：
大气压(85
温度：23：：
扫对湿：人-65RH；
具有空调的专用洁宽；
室内元功中案录下抚，无强产百圾顺射.没有读鼎换动和波买。4.2.7仲载外晚：
:23T2T :
其它录件积合1.”！条，
.2.3贮存讼精的投物环府
度：-4~+60℃;
相对限度,SG%RTT(10T:
4.2.4探头包装箱在达摘过帖中小得拥环扫变呢，4.3十要性能指标
4.3.1保针
4.3.1.1探针力范克(u.2-~4)N/P（牛悦/针）4.3.1.2单针探针力被比之的期差不起过+10%，模针月与标值相差不应比过=2%4.3.1.3根据使开要求，口探计探头有怎型和可调型恒力型探计力山十产厂调是后，不险证收；可叫型损计方充许产在志国国师节4.3.2针绝缴月用包括针与外一[534.3.3探外间率：.
探收同距系（mm）
探针同距公型（mtn）
深针同距相对偏些（长）
深针游移（K)
4.3.4针形状
4.3.4.1针尖锥体变角45°~150
4.3.4.2针央慎半径见表3。
4. 3. 5针尖压痕
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0.2x,1.,1.27.1.50
4.3.5.1处于同一×轴线土终各探针针炎压案对虚点在Y轴方向上量人案值应心于或等于150μm.
图所示的直线形排列的四探针针类压痕在丫抽力向的最大扫差为了g159um
4.3.5.2针尖压痕尺寸在各片向上小干针尖曲率直径的60头，并不得出现明显的将移种拖尾。
探头寿会和可草性见表2。
择头来单分类
交资费）
中也无故厚时
<小时）
生，以小平50
4.4不同被测样品的探针参致见表3。熟量对
硅单出排、块
硅单品升
外回，嵌、高子注入压3m环
外，、商子性入层
测试方法
5.1测试环境
鸿度2312℃
相对得感，不火于65%RH
其它案件：符含4.2.1条。
103~200
6. 2~ 0. 4
0. 3~ 0. B
5.7测试仪器要求
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所用测仪器必须经有关法定计量机均校验合格，其有有效期内的检定证书，5.3：外观统的放股要变控查
5.3.1日测探头外规结构外表面等应符台4..1~4.1.5的规定。5.3.2将探头行硅抛光样片表而或其宝请特的表而费触.1.款，应存合4.1.1的规定.5.4性能酬试
5.4.1针力的测试
用测力收测出每农针的力或四业针的合小，其值应合4.3.1的规定.5.2.2针州绝练电压的测试
在换针之间及探作与充司.用15V的护表，或其它相应仪表测试绝练电阻，其值应符台4. 3.2 的规定，
5.4.3探针比和游移审的测试
5.4.3.1.在抛光过的硅表面（样片).上或其它能满晰显示针尖压狼的表而平整的格料上用正带的压力，使划探针与之接胆、形取组厉痕，存垂直干操针尖的连统方向上，平楼样片或探能毒漆针触样片表面，效压触士改，形成十组压痕！为使压痕排列满楚，在两组或三组氏痕之适，将样片或探针加倍移动，将硅样片在丙酮中超严清供，再用币停流十烘。5.4.3.2车放人450倍的工具鼎微镜（读数显微谱，减数精度士1rm)下观亲压痕，如前图所六，把每组压浪从A到H的X范的I玺该数和Y轴二的Y,Y迷数记求在附表中。5.4.3.3观案压痕：点均约，无势秘拖比现象。5.4.3.4未括强盘效据汁片
3.5，35根据公立2)、（3！均应得告4.3.3的版。m.
h含，根据公式11整对合4.3，3的划是，c.4表据公式(10)二均应将合4.3.3防规定。d.Y.—Y.符合4.s.S,1的规定，
e。：恨据公式（)均应行合4.3.5.2的规定。F楼据公式（S>
g：C根据公或(）（6)式中5..9,取3.S.3..S取3.5.0针形约
在工具显微镜下将染针尖与收人样级比校，观察火性度和曲率坐径，其值应符4.3.4和产品投末案件降规定，
5.4.5操头命试效
将探头安教在模拟试验装些上世行.5.4.5.1说拟试验装署必具有
3。与四探仪扩域部分类似的自动升群机构h.自动汁数器
自动手动稳点机构
5. 4. 5. 2步骤
将探头装仁模拟逾试装置上，模似实际测或状况进行价试验，母接脏1D次活需要换点继续进行，鲜接1方次后，需对探头违行一次验，至规定的寿行（次数）。探头经游命试验后,其生能指标底符合本标准要求，54.6可靠性验
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控“S]18的电子测照仪器可靠性试验方案“行，5.5环境试啦
5.5.1低温购产试
把操头效入低温指（室>内，小下20℃：的温度变比变率降盘学一℃待游度您定后，保持h.然后使销（室）内温度渐恢举室邀批大表面水分后，在空温下保持4五后整验探头测试结果应符合技术要求规亲。5.5.2高温存试照
把深头放人商温籍（室）内，以小于20的微度变化速率升至+50，特漏度总定后，保持北，滤后特满这降至空湿，窄该温度下保持4h后，抢壁探头+测试结果应符合技术婆求规定，
5.5.3虚热贮存试验
把操头放入限热符实内，湿降升至！后开效得，使相对湿度达到S6%RH，持1.然后将湿度降至51光RH，将温度降至室盘，保持61.后，检验探头，测试结果应衍台数术要求援定：
5.5.4包装运箱试峰
探头他装后，按包畏箱的标逆固定于试验台上，举动数率！1z，如递度3g，持续时间2h+试验药束后，控变包装箱应完好无摄，探头测试结要应合技术要求规定。E检验规则
探头的拉验分受收验验和例行检整，6.1交收验验
6.1.1交收检险由生产厂质单检验部门负责进行6.1.2探头出厂前，应逐个产品通过交改控验，合格的产品座有合格运明书，证明书内应写明型专、级制间中、针尖曲率半径、操计小材料.探针系整、深料间距修正系款出」端编号，生产厂家。6.1.3交收趋验的项目及顺序<见表4>4
的规坊响投一轻要求
创间也锋电医
保计骨间
深计引公签
探针间更担对偏整
针类派状
技本安求务文编号
.. 3.3
武大法务文增号
生来大守
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线表4
技术变求系文编导
试验方法系文纳号
6.1.4检验中出现任一项不合格时，应停拍检鉴，或返店单新典行交收控要，重折检验中原不合格项蒂产次出现不合格，该产品微判为不合格，但充许再：次诉够，再孜交验，
5.2例行检验
例行检验由生产质盘检签部门负充进行有下列谢况之者应进行例行检验新品研制，
连续被冠生产的产品，至少每年链行一次行试政进设计或主要工艺，戒恶换尘要外竭得资材料时产品创优，评比
行检验的产品应在交收检龄合格的产品中随机抽取，其数量应不心于2个。捌行检验的项口(见表5)。
全部交收均检动具
低题院卉
高通此
短热忙件
可罪性试受
经过储行试效的产品不作严品出厂标志.包装、运输.贮存
技术要求
4.1.4. 3. 1+4. 3. +
7.1标志
了.1.1每个产品应有标牌，固定在探头外表面明显的方位，7.1.2标牌应有下列内容
深纤系数
探针间修系数F元
牛产厂家，
出！编寻，
了.2包装
哲验方法
5. 3.5. 4. 1--5. 4. 4
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也装前，需对探头逆行净化清理，针史部位应装上保护率。7.2.1
探头包装箱应有内外也整，冈包类应采用缓冲材料做成，7.2.2
位装销内部在产品合格运限书和装箱单7.2.3
包装必须牢匠可常，包装拍外表面应标有要注忘事项的学样或要求，并符合GB1017.2.4
的热定，
包装箱在运增过应小心轻放，避烈碰摘我缺击。7.4亡存
产品应贴存车环境度5-，相对湿臣不太于%的清估、通风好的库册内接针压痕斑测记录及计算附表
探浜编号
是您洲数推
H微镜测量数据
计单值记录表格
附加说明：
SJ/r 10315—52
本标难白机械电子工业电子标狂化研究所提出，本标连由国营率中机器）、中国计量料学研究院免责起平，本标准主尊起学人：张穿男，查各半，半达刘学偷，效期收玉持
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