【其他行业标准】 高纯钴铸锭

YS/T 1150—2016 高纯钴铸锭 ICS 77.150.70 H62 中华人民共和国有色金属行业标准 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草，由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 起草单位包括有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司。 主要起草人包括张涛、姚力军、李勇军、王学泽、何金江、朱佳、罗俊锋、袁海军、贺昕、陈勇军、曾浩、赵玉林、刘丹、熊晓东、万小勇等。 1 范围 本标准规定了高纯钴铸锭的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书以及订货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体钴靶材制造所需的高纯钴铸锭，其他行业所需产品也可参照使用。 2 规范性引用文件 GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 YS/T 1011 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定（辉光放电质谱法） 3 要求 3.1 产品分类 高纯钴铸锭按化学成分分为Co-4N5和Co-5N两个牌号。 3.2 化学成分要求 3.2.1 高纯钴铸锭化学成分见表1。Co含量（质量分数）不小于99.995%（Co-4N5）或99.999%（Co-5N），其余为杂质元素。 杂质元素包括Ag、Li、Al、Mg、Ca、Cr、Cu、Mn、Mo、Na、Ni、Si、Fe、Sn、K、V、Zn、Zr、W、Th、U等，各元素含量均有严格上限控制（单位×10⁻⁴%），其中杂质总和亦有限制要求。 用户如对特定杂质元素有特殊要求，可由供需双方协商确定。 钴含量为100%减去表中杂质实测值总和的余量。 3.2.2 气体元素含量 高纯钴铸锭中气体元素含量要求如下： Co-5N：H、N、O、S等气体元素含量均有上限控制，其中氧含量上限较高。 Co-4N5：气体元素含量限值相对更宽松。 3.3 外形尺寸 高纯钴铸锭一般为圆柱形，其外形尺寸及允许偏差由供需双方协商确定。 3.4 外观质量 高纯钴铸锭表面应洁净，不得有裂纹、毛刺、夹杂、孔洞及其他污染缺陷。