【有色金属行业标准(YS)】 硅片边缘轮郭检验方法

本网站 发布时间: 1992-03-09 16:00:00
  • YS/T26-1992
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    YS/T 26-1992

  • 标准名称:

    硅片边缘轮郭检验方法

  • 标准类别:

    有色金属行业标准(YS)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1992-03-09
  • 实施日期:

    1993-01-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    电气工程>>29.045半导体材料
  • 中标分类号:

    冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

关联标准

  • 采标情况:

    ASTM F928-85 MOD

出版信息

  • 页数:

    3页
  • 标准价格:

    8.0 元
  • 出版日期:

    1993-01-01

其他信息

  • 起草人:

    王从赞、夏光勤
  • 起草单位:

    洛阳单晶硅厂
  • 提出单位:

    中国有色金属工业总公司标准计量研究所
  • 发布部门:

    中国有色金属工业总公司
标准简介标准简介/下载

点击下载

标准简介:

本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓. YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法 YS/T26-1992 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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