【机械行业标准(JB)】 激光干涉仪

1CS 17.C40.30
备案与：190562006
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 5610—2006
ft.JB/ 3101591
激光干涉仪
LaserinterferometcrbzxZ.net
2006-10-14发布
2007-04-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布，
规范性引用文件
术谱和定义
要求，
检验条件
5.2外观及相互作用.
激光于仪预热时间
单次开机激光韧字稳定时间
激光干涉仅准确度
5.7谢尴速度
5.8激光波长准确度
5.9抗电醛干扰
6检验规则，
6.1型式检验，
6.2交收检验
7标志、包装和错存
7.1标志，
7.2包装.
J/T5610—2006
本标准代替JB汀5610—1991《双频激光T涉仪\。本标准B5610—1991相比，主要变化如下：标准的名称改为“激光干涉仪”，并重薪定义了“激光干涉仪”农语；标准的范图改为“适用丁儿何蛋测量；JU/T5610—200
删去了第3章中的3.2条“分解”；第4章表1中的“分辨率”改称“分辨力”，分辨力改为o.16um
将术诺“响应遇度”改称为“最大副量述”，并重新定义了“最大测或遭度”术语，最大量速度收为5Dmm/s1
第4幸表1中的量程改为学1mi
一第4章表！中的滋光波长准确度收为1×10\：激光干涉仪工作前的预热时间改为“不超过2min\撤光器的寿命“成不低于2年”致为“应不低于20X\；增拍了单次开机激光频率稳定的变化量应不大于m明确了检险愿则，将检验分芳了型式检验、交收检验两种就电磁干扰试验采历了GB/T17626.2—1998电磁兼容试验称测量技术静电放电抗抗度试验\和GB/T17626.3--J998电避兼容试验和利技术射刻电密场摄射扰扰滤试验中规定的方法。
本标连由中国机越1业合会提出。本标难中全国量具量收标准化术委员会（SAC/TC132）妇口。本标催出成都工具研究所负实起草，中国测试技术研究院参加起草。本标准主要起苗人：邓宇、舒阳、许刚、贯小荣、薛梅、余本标准所代替标性的历次版本发布情税：JNT56101991.
t范围
激光于涉仪
本标谁规定了邀光于涉仪的淋本象数、技求要求利试验方法等，本标准适用于几何量测量的激光十涉仪。2规范性引用文件
JB/T5610—2006
下列文件中的教通过本标准的引用而成为本标准的条款，凡是注日拟的引用文件，其随后所有的修改单（不包括故误的内容）惑餐订版均不用于本标准，热而，敢励根据本标准达成协议的各方研究是否使用这些文件的最薪版本，凡是不注甘期的引用文件，其新版本适用于本标准。拍191包装储运图示标志（e9IS0780：1997）GB/F638运输包装收发货标态
BT17163—1997几量谢盘器其术谱基本术诺（nABS5233：1986.）GFT17626.2—1998电磁兼容试验和游量技术静电放电抗扰度试验（idc1EC61000-4-2：1995
GB/T17626.3—1998电磁兼容试验和测量技术频电磁题辐射抗抗度试（idFC61000-4-3: 1995)
3术和定义
GBT17163—199了中确立的以及下列术请和是.义适用平本标推：3.1
激光于步仪laserinterfernmeter利用慈频氧氢激光器，以微光德长为4准，按迈克尔斑悦理产牛于涉年统讲行几何骨测暨的测量仪器。察光钞仪由微光头、于涉镜、反射镜和显水器等组成，3.2
fmeasurementspeed
品大测盘选度
保证微光于微仪正觉工作的测盘受射器股大移动速度。$.3
光波长准确度acuraeyntlarrielength避光波长与始定被长的相对变化量。4要求
4.1著本数：
于涉仪的基本参数见表！
分辨力
量程m
人压s
欧光筑长准确磨【）
JE/T5610—2006
4.2外观及相互作用：
4.2.1激光干涉仪光学件表而不应有、雾及影响使用的气滤，麻点、划痕等迹病，各工作表面不成有锈性，残伤利鐘层脱落等缺陷。各种标志，数字消晰，正确。4.2.2各紧固部件盘牢固可靠，光松动现象，各途动部件应灵活平稳，无卡滞。4.2.3电箱、计算机的清等、置数、减示利打印等功能应正带，4.3激光下涉仪工作前的预热时间应不超过20mi：4.4激光干沙仪单次开机激光频率稳定时可应不少于距。4.5激光干涉仪硅确度由以下公式计算出= ++ + /(0.05) + (//2)* + (0.929r)* +(0.00274p)* + (0.00042f)* L式中：
3一光于涉仪推确度，单位为um
——滋光下涉仪的分辨力，单位为山：4.21—激光波长准确度，10-
测量中空气温度不辅定度，单位为它+一测量中大气压力不确定度，单位为Paf—洲量中湿度不确定度、单位为Pa;测长度，单位为m。
4.客邀光器寿命应不低于20000h，4.了激光下涉仪应具有一定的电曲兼容能力，受电避于扰时，微光干涉仪盛能正带工作，5检验
下述的检验为法不是唯一的，如有其他不大于本标准规定的测盘不确定宦的方法，也可采用，5.1检条件
5.1.1检验场地应无影响检验精度的尘、振动、气流扰动和较强磁场。5.1.2激光干泌仪检验时的环境癌度为（201）、其业化成不大于0.5小。S.1.3激光干涉仪、检验设备及仪器应在问等湿度系件下等激4h。5.1.4进行准确度检测时，其环境条件还应满足退度不确定度应不大于0.2，大气压力不确定度应不人于60Pa，度不确定度应不大于100Pa5.2外观及相互作用
日力规察及手感检验
5.3激光干涉仪预势时间
用让时器记录下物仪电箱电升启象激光十涉仪开始正带工作的时问。5.4单次开机激光频率稳定时问
将长度光掌组件固定，待激光下涉仪预热宽毕，阿刻戏察显示器的计数变化，并用计时器记示汀数变化不大于1m的持续间
5.5激光于涉仗准确度
5.5.1进行比对检测，激光下仪检测系统的不确定度应小于被检激光干敏仪的准确度（按照4.5的公式算）；取连缴三次比对偏差的长均值为一组测结果，重克组一1组，各组测且结果的均值二2心作为激光下涉仅准确度。
5.52比对检测至少应在盘程范围内一个不同长度进行，最大比对长度成不小于1：荐比对长度为250mm.500mm.1000mm.
5.6盘程
JE/T56102006
在单十驶境（十涉镜应尽可能靠近激光头）单程冠大处胃一导轨，将反射靠随导轨以激光于涉仪的测量理度移动，显示器计数应正常。5.7测量通
以激光干涉仪的测量速度：按照5.5规定的方法进行确度比对检测，检测结果应符合4.5的要求。5.8激光波长准确度
使用标推的633mm激光干涉仪碘聪定氧氯激光与被检激光干涉仪进行拍频检测：激光干涉仪的激光波长准溯度应符合表1的要求。
5.9抗电磁干扰
5.9.1静电放电抗干扰度
按照AB/T17626.2—1998中1级要求检测。5.9.2射频电磁场抗干扰度
按瓶GB/T17626.3—1998中1级要求检测日检验规则
检验分为度式检验、交收检验。6.1型式检验
在下情况之一时，应按期本标准的全部要求进行型式检踪，其中，抗电磁十统项目按照5.9的规定避行：
县）新研制的产品：
6）成批坐产的产品每三年至少检验一次，心）当设计、工艺、材料等古面有重大变要时；d）停止生产满-年以上再次生产时：e）国家质母监每检验机构提出进行型式检检的要求时，6.2安收检验
产品在牛产完成，交与用户时，购应进行交收验。交收检验应接4.2~4.5的要求进行检验，了标志，包装和赌存
7.1标志
7.1.1.激光干涉仪上至少应标志a）制造厂厂名或注册商标：
）产品名称：
C3产晶型导或标记
d）前避日期或生产批号。
7.1.2激光于涉仪的包装标志应包括7.1.1的内容和收发货标志、包装储运图示标志。包装标志应符合GB/T191和GB/T6388标准的有关规定。72包装
72.1激光干涉议的忽装应有良好的防需、防锈、防腐利鼓潮措施。72.2激光干涉仪的包装箱中应包括产品仓格证、说明书、装箱单等断机文件及干涉仪附件：7.3储存
激光十涉仪应储存在温度为-40℃~十55七，拒对湿度不人十65%，无廖他性气体，且清洁、通风的环势中.
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