本文件规定了按给定工件特性（或工件批量特性）的公差或测量设备计量特性的最大允许误差，包括测得值接近规范限时要考虑的测量不确定度，验证工件或测量设备的特性合格或不合格的判定规则。 本文件适用于GPS通用标准（见ISO 14638）中界定的规范，包括：　　 --工件规范及其批量规范（通常以上规范限、下规

本文件界定了几何量测量器具的一般术语、测量器具术语、测量器具特性术语、测量标准（基准）术语及其定义。 本文件适用于几何量测量器具行业领域及其相关领域。

本文件规定了验证用于测量尺寸的坐标测量机性能的验收检测方法，以确定其是否达到由制造商所 规定的性能。 本文件还规定了用户定期验证坐标测量机性能的复检检测方法。 本文件只适用于按离散点探测模式进行操作的任一形式的配置影像探测系统的笛卡尔坐标系坐标 测量机。 本文件未明确适用于： ——未明确适用于非笛卡

本文件规定了建立和标注批量规范的规则。批量规范用于规定批量特征的条件。从一组批量工件的每个工件中均可获取某个特征的值，由这一组获取的特征值来建立批量特征。批量规范（应用于批量工件的集合整体而非其各独立个体）能看作是单个规范（应用于各独立个体中的每个工件）的一个补充要求。批量规范表达了批量工件的统计假

本标准规定了机械指示表最重要的设计和计量特性。

本文件规定了高度卡尺（带有机械或数字显示）最重要的设计和计量特性。

本文件提出的《测量不确定度表示指南》（以下简称GUM）概念实施指南，适用于工业界对GPS领域内的测量标准和测量设备的校准以及工件GPS特性的测量。其目的是提供完成不确定度报告所需的全部信息，并为测得结果及其不确定度的比较（顾客与供方之间的关系）提供依据。 本文件的目的是支撑ISO 14253-1。本

本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。 本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100

本文件规定了内径指示表的型式与基本参数、要求、检验条件、检验方法和标志与包装。 本文件适用于分度值或分辨力为0.01mm、0.001mm，测量范围为6mm～1000mm的指针和数显读数的内径指示表的设计、制造与检验。

本文件规定了奇数沟千分尺的型式与基本参数、通则、检验方法、标志与包装。 本文件适用于分度值为0.001 mm、0.002 mm、0.01 mm，测量上限不大于100 mm的奇数沟千分尺的设计、制造与检验。