【电子行业标准(SJ)】 KSM－MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
KSMMJB3型掩模对准曝爆光机
完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范压
SJ/T 31120 -- 94
本标准题您了KSM---MJB3型掩模对推曝光机的完好要求和检查，评定方法：本标能造H于德国产KSMMJB3型曦光机：也适于德产KSM、MA56和美产CA800型掩模对裤曝光机
2引用标准
GB11481-89俺模对准骤光机薄用技术条件3术语
3.1光分辨率
在集成电路租其它半导体器件制造中，曝光分辫率是指在定环境条件和工艺条件下，基片曝光，显形后，状得的细小图形的清晰度，通常用曝光后所获得的最细图形线宽表示，3.2对推精度
在禁片与掩模对准完成后，对准标记中心线之间允许的最大误差称为对推精度，以掩模板和基片下标记中心线的最终相对位置的偏差量作为判据。4完好要求
4.1主要技术指标
4.1.1有效曝光面积内光强均匀性达到或优于土6%。4.1.？低光强装放的光强波动假不尺于士5%。4.1.3对推精度优爆光分辨率，或优于土0.5pIm4.1.4曝光分辨率优于1.5um,或满足使用要求，4.1.5扫部件移动时垂直方间跳动量不大于10μm。4.2操作系统
4.2.1各操作手柄、开关、按钮、启动灵钙、定位可靠。4.2.2、爆光系统动作灵活可靠，与显微镜升降，快门房闭，动作协调，准确到位，4.2.3微动台X、Y、2移动，转角达到使用要求，移动利转动时全程于感平滑。4.2.4承片台载片牢靠，吸片、送片没有误动作，满足.1.艺要求。中华人民共和国电子工业部19940415批准1994-06-01实施
4.3润滑系统
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4.3.1机械泵润滑良好，油路通畅，油面在规定刻线！4.3.2曝光系统运动导轨润良好。4.4气E系统
4.4.1有压缩空气控制的机构.减压阀等调整灵活可靠，压力范画满足工作要求，4.4.2真空吸片、真空吸版，真空复印时，负压应满足工作要求。4.5电气系统
4.5.1汞灯电路启动迅速，电磁阀控制的快门无漏光和卡死现象。4.5.2高压泵灯输出功率稳定，电流或光强在定范围可调。4.5.3各电器部分无漏电现象，满足工作要求。4.6光学系统
4.6.1显微镜的分辨率优于对准标记要求的分辨率；双目分离视场显微镜的两物及两目镜的中心距在“定范内能连续可调。4.6.2有效光光束直径应大于等于基片尺寸加X、Y方向调节范围。4.7附件：
4.7.1附件齐全，保管良好，无锈蚀与损伤。4.8附属装置：
4.8-1机械泵空压机，保管良好，光锈蚀与损伤。49安全保护
4.9.1整机接地良好，装置齐全，有效。4.10维护保养
4.10.1汞灯照度降低后及时更换新灯以满足照度要求。4.10.2定期清洁设备，更换机械泵油。4.10.3环境条件保持在温度20~25℃，湿度35~70%.级或干缴净化，环境振动幅度小于4fn。
4.10.4其它接SJ/T31002—94%设备维护保养通则执行，5检查、评定方法
5.1检查方法
5.1.1光强均勾性的检查方法：精度不低于0.33mW/cm的紫外照度计检查有效曝光面积内的五点光强（中心一点，周围均布4点），其光强均匀性按下式计算光强均勾性V：V-±(EnarEmm)/(Em+Emm) X 100%+++++++.+...++++()
式中E-x—设大光强值,mW/cm\bzxZ.net
E...~最小光强值.mw/cm
如此测三次，取平均值
TTTKAONTKAca-
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5.1.2恒光强波动度的检查方法，用同5.1.1照度计检查4h内的光强变化值，按下式计算光强波动度D
D=(Em-Em.)/EX100%
式中：Ema、Eia最人和最小光强度，mW/cmE——4小时内的平均光强，mW/cm.-(2)
5.1.3对准精度的检查方法：将涂好胶的基片用有特定标记的版精确对准，然后骤光、显影腐蚀，再次涂胶完成精确对准，曝光、显影，用线宽测量仪测出待定标志X、Y向偏离值，如此6次，取具均值。
5.1.4爆光分辨率的检查方法：将基片涂胶，在规定的工艺条件下，骤光显影，观测刻线宽度，按下式计算线宽变化率B：
(h. - h)/b, X 100%......
式中：h—-掩模版的标称线觉.mb·基本线宽极值·m;
其值小丁·10兆的最细线觉为曝光分辨率。+**(3)
5.1.5垂直跳动误差的检查方法：将带支架的千分表固定在扫描部件上，扫描部件移动时，测其Z方向跳动量。
5-1.6对各系统完好要求，在设备现场采用主观法检查5.2评定方法
5.2.1主要项目有，4.1.1+4.1.3+4.1.4；其余为饮要项门。5.2.2主要项口有项不符合要求，为不究好设备；次要项目有两项不符合要求亦为不完好设备。
5.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子部工业部经济运行及体制改革司提出。本标准由机电部第13所组织起草。本标推主要起草人：薛中堂，
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