【电子行业标准(SJ)】 精缩机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
精缩机完好要求和检查评定方法1主题内容和适用范围此内容来自标准下载网
SJ/T 31115—94
本标准规定了半导体器件牛产用精缩机的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于8696型.8595型、EM250型精缩机，其它型号的精缩机，亦可塞照执行。2名词与术语
2.1主掩膜
在制版过程中，将中间掩模图形进行缩小并分步重复制成图形陈列的版，称主掩模，2.2镜头实拍分辨率
在标谁工艺条件下，镜头在其魂场内可能产生的最小图像尺寸，或单位长度可分辨的最大线对数目。
3完好要求
3.1主要技术指标
3.1.1工作台定位精度优于±0.15pm。3.1.2L作台最大行程为150mm×150mm，全程范围内的总精度为±0.6μm。3.1.3上作台莅移正交性为士1arccond(lum/m）。3.1.4光学镜头在10倍缩小时有效视场为10trn×10mm实用分辨率为1.25um。3.1.5可制作最大圆形陈列为150mm×150mm的主掩模，可制作铬版和乳胶干版，有效视场内光源均约性为士2.5%。
3.1.6自动调焦系统Z轴运动范围是635am，对版面探测及跟踪精度为士0.25m。3.2操作系统
3.2.1各操作变速手柄，开关按钮启动灵活、定位可靠、标志齐全。3.2.2制动、限位装置齐全，灵敏可靠。3.3传动系统
3.3.1伺服工作台机械传动平稳可靠3.3.2机械精度间隙、磨损母，平整度，平度符合要求。丝杆、导轨润滑良好、3.4光学系统
3.4.1各光学另部件的位置精度正确可靠，光撕及光学镜头无尘、无油污、无带斑、确保视场中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
清晰。
3.4.2光学系统零部件齐全完好。3.4.3光学调焦装置灵活可靠。
3.5电气系统
SJ/T 31115—94
3.5.1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确可靠。各种线路标志明显，联接可靠。
3.5.2伺服工作台控制部分、符合使用技术要求。3.5.3步距控制及曝光系统正确可靠。3.5.4电气线路板接触可靠，其它各种接触器、继电器灵敏可靠。3.5.5各光电传感器工作正常，动作准确3.5.6各电流表，电压表指示正确，误差在允许范围内，且有有效期内校验合格证。3.6气路（压缩空气、真空)系统3.6.1为隔震台提供干燥及经过滤的压缩空气（配有专用空压机的，其完好要求按空压机完好要求行）
3.6.2低法真空泵工作正常，真空泵完好要求参照SJ/T31412--94执行。3.6.3各气、电磁阀，节流阀上作可靠。3.6.4气路及真空管道、接头，阀门等元件之问联接牢质，密封性好，无漏气现象：各管路排列整齐、清沽。
3.7微机控制系统
3.7.1各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良好，显示清晰。3.7.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。3.7.3输入/输出程序正确无误。3.7.4打印机、穿孔析主机接口良好，工作止常。3.7.5装肾内部清猜，布线整齐，线路无破裂，老化，各线路标志齐全、正确、明显。3.7.6所有裸露导体件（包括外壳）必须有良好接地，微机系统任何裸露导体件和整机外壳之间的接地电阻不得大于0.12。3.8润滑系统
3.8.1润滑装置齐全，管线完整，密封性好，尤漏油现象。3.8.2各润滑点清洁无堵塞现象，油路畅通，润滑良好。3.8.3油质符合规定要求；油位醒目，油窗明亮，油最达标。3.9附作
附件齐全，保管良好，无锈蚀及损伤。3. 10附属装留
净化间应保持21土0.1℃，相对显度应小于70%.净化应保持100级以内。3.11安全防护
3.11.1各发全防护装管齐全，可靠。3.11.2接地可靠，标志明显。
3.12维护保养
3.12.1设备-J作坏境温度应保持在18~27C，相对湿度应保持在75%R-H以下。2
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SJ/T 31115—94
3.12.2其他按SI/131002—94%设备维护保养通则1第章执行4：捡查评定方法
4.1检查方法
4.1.1用游标测试中间掩膜（见图示)以定的步距制作3～5块图形陈列。4.1.2用高精度測长仪器及高倍显微镜检测图形陈列，4.1.3通过游标检测设备缩小倍率4.1.4通过游标检测设备角度及定位精度。4.1.5通过游标②检测设备重复定位精度。4.1.6通过游标@检测镜头实用分辨率及光源均勺性4.1.7用凝度表及尘埃粒子计数器检测净化间环境状况。4.1.8对各系统完好要求,在设备现场采用主、客观方法相结合，进行检查。4.2评定方法
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CUNKERSAI, VEENER!
5.5 CRS.1MM
GCA/PCRL
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图示游标测试图形
4. 2. 1 究好婴求所列内容中,3. 1. 1 ~3. 1. 6、3. 11. 1 ~3. 11. 2为主要项目,其余为次要项日。4.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备次要项有二颁不符合要求，亦为不宪好设备。
4.2.3完好设备维护保养应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子「业部经济运行与体谢改革司提出本标滩由国营南京有线电厂组织起草。本标推主要起草人：钱伟训(电子1业部第13所)沈永周、顾军建(中国华晶中集闭公同、查志文（国营南京有线也厂)。
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