【电子行业标准(SJ)】 AMC－7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
AMC一7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
SJ/T31111--94
本标准规定了AMC一7811/21系列桶式外延炉的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于AMC-7811/21系列桶式外延炉。2完好要求
2.1主要技术性能指标
2. 1. 1工作温度设定值与显示值误差土3℃。2.1.2H,加压泄漏率：<8.91Pa/min。2.1.3真空泄率：<6.65Pa/min。2.1.4外延层厚度均勾性（片间）：厚度范围在1~100m间，均勺性为土10%。2.1.5外延层电阻率均勺性（片间）：当电阻率为0.1～1.0Q+cm时，士7%，电阻率为1.0~100cm时±8%：电阻率为10~300+cm时士20%。2.1.6处理基片能力分别为：
+100mm，为24片；
$125mm，为12片，
$150mm，为10片，
2.2加热源及温度控制装置
2.2.1红外灯辐射圳热装置，为保证溢度均匀性，六排红外灯全部完好，电源必须高度稳定。2.2.2用自动温控器控制温度精度时，传感器应灵敏可靠。2.3反应室
2.3.1石英钟罩完好，无裂缝、无崩边。2.3.2“()\型臀密封良好，不锈钢盘无锈蚀，缔封槽无损伤。2.3.3基座转动平稳，无冲击、无抖动。2.3.4反应柜门锁机构有效。
2.4微机控制系统
2.4.1各开关，按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，L作状态良好，显示清晰。2.4.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。2、4.3榆人/输出程序无误。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
S.I/T 31111—94
2.4.4装置内部清洁，布线整齐、线路无老化，破裂，各线路标志齐全，正确。2.4.5所有裸导体件（包括外壳），必须与保护接地端子构成通路，保证永久良好的导电性接地保护端子与微机挖制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电限不得大于0.18。2.4.6CRT显示数据推确。
2.5传动系统
2.5.1机械传动齿轮，丝杆，活铃升降运行平稳无抖动。2.6气路系统
2.6.1气路系统的运动件在规定的各种速度范围内，不应发生振动和显著的冲击，不应有停带现象。
2.6.2气路及真空管道、接头、闸门元件之间连接应牢固，密封良好，无漏气现象。2.6.3各气动阀、手动阀工作正常，电磁阀、磁力启动器，动作灵敏可靠。2.6.4各压力表、流量计指示正确，误差在允许范围内，且有有效期内校验合格证。2.7电气系统
2.7.1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确可靠。各种线路标患明显，连接可靠，线路绝缘无老化、被裂。2.7.2电气系统装置齐全，管线完整·性能良好，运行可靠。2.7.3各种开关，按钮动作灵敏，自动保扩装置及报警装置齐全，工作灵敏，安全可靠。2.7.4各传感器，测温组件工作灵敏可靠，指示正常。2.B冷却系统
2.8.1红外加热源的冷却装置齐全，安装良好，工作可靠。各管接口连接可靠，无漏水现象。2.8.2冷却液不得渗入电气箱内。2.9安全防护
2.9.1设备防护盖板·挡尘板齐，完整无损、半固、可靠。2.9.2外壳接地可靠。
2. 9. 3紧急并关灵敏可靠。
2.9.4各报警装置、报警难确可靠。2.10设备环境要求
设备应安装在恒温超净房间，通风排放良好，室内温度不得高于26℃，超净净化标准为千级。通风及气休排放均应符合环境保护要求，必须有良好的环保措施。2.11维护保养
按SJ/T31002—94*设备维护保养通则\执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1. 1H,涨度检查方法
用H检漏仪进行检查加压泄漏率，记录报警和停炉时的H浓度。3.1.2各气体漏率检查方法
用CRT设定值显示与探头传感器实际值来确定各种气体压力，加压漏率，真空泄漏率。3.1.3工作温度检查方法
设定从1100一1200℃其间任一温度，用数宁式光学高温计测量基座温度，实测温度与设定HTTKAONTKAca-
SJ/T 31111—94
温度之偏离不人于士3℃。连续观测3min，同一被测圆周上的温度起伏不尺于士3℃。3.1.4外延厚度均勾性检查方法
用膜厚测试仪检测外延厚度均匀性。3.1.5外延电阻率均匀性检查方法用四探针测试仪检测外延层电阻率均匀性。3.2评定方法
3.2.1主要项目有2.1人项。其余为次要项目3.2.2主要项目有-项不符合要求，为不完好设备，次要项月有二项不符合要求，亦为不完好设备。wwW.bzxz.Net
3.2.3完好设备的维护保养、应达到优等设备标准。附加说明：
本标准出电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。本标准主要起草人：秦舒、张国仁、顾军建、吴正伟。3
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