【电子行业标准(SJ)】 ZDS－1型电泳机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
ZDS-1型电泳机完好要求和检查
评定方法
1 主要内容与适用范压
本标准规定了ZDS一1型电泳机的完好要求和检查，评定方法。本标推适用于半导体器件生产用类似ZDS一1型电泳机。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1玻璃搅拌器可带动ZL玻璃粉溶液进行搅拌。S.J/T 31107--94
2.1.2电极电乐（直流电压0~450V，可调；电压波动不超过工艺要求范围。2.2真空系统
确保阴极板与硅片紧密接触.不掉片，无玻璃液泄漏现象，同时也不能因真空度过高造成碎片。
2.3机体系统
2.3.1可提供0—500V直流稳压
2.3.2阴、阳电极间距可调。
2.3.3电泳槽搅揽拌器在停开5min后启动仍可带动拌子搅拌。2.3.4搅拌器自动控制系统运行可靠。2.3.5各仪表性能灵敏，指示准确，有有效期内校验合格证。2.4电气系统
2.4.1电气箱内清洁，布线整齐，线路无破损老化、各种线路标志明显，连接可靠。2.4.2外部导线有完整的保护装置，线路外套管无脱落破损。2.4.3各种开关动作灵敏，安全可靠2.4.4传感器反应灵敏可靠。
2.4.5搅拌器、自动控制稳定可靠。2.5安全系统
2.5.1自动灭火装置运行正常，光敏触头光洁无尘埃。2.5.2搅拌器无溶波泄漏，无打火。2.5.3阴、阳电极无毛刺。
2.5.4电压数值显示精确。
2.5.5有机溶液清除水流量稳定止常。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6维护保养
2.6.1机体表面清洁光亮，无尘埃SJ/T 31107-94
2.6.2阴、阳极率无损伤，玻璃粉沾污，阴极板要求光亮、整。2.6.3接触电压不超过工艺要求范。2.6.4按SJ/T31002--94设备维护保养通测执行。3检奎、评定方法
3.1检查方法
3.1.1用两只数字电压表监测微调，由控制柜进行控制电板电压，3.2评定方法
3.2.1主要项目有2.1.1、2.1.2.其余均为次要项目。3.2.2主要项目有--项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二项不符会婴求，亦为不完好设备。
完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标雅出中国华晶电子集团公司组织起草。本标雅主要起草人：邵建新、吴秀琴。2bzxZ.net
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