【电子行业标准(SJ)】 WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
WGK型微控扩散系统完好要求
和检查评定方法
1生题内容与适用范围
本标准规定了WGK型微控扩散系统的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于WGK型微控扩散系统。2名词与术语
2.1恒温区长度一达到稳定温度及精度时炉管内连续温区的长度SJ/T31112—94
2.2静态炉管两端用耐火材料基本封闭，炉膛无明显气流扰动的情况2.3升温功率一从室温升至1作温度的过程中所需的般大功率。2.4恒温功率一达到稳定1200℃时维持恒温所需的功率。2.5单点温度稳定性一—达到稳定工作温度后炉管中点在规定时间内温度的偏差。2.6定值重复性一—改变定值而后重新回到原定值时溢度的偏差。2.7开机重复性指关炉24h后重新开机达到工作温度与精度，其稳定湿度与关炉前温度的差。
2.8层间彪响一一多管炉中一管工作时，相邻管对管的影响。3完好要求
3.1主要性能
3.1.1工作温度范围：
标准型：300～1200℃
高温型，300～1300℃。
3.1.2单点温度稳定性：670~1240±0.5C/24h300~1300C±1/24h
3.1.3恒温区长度及精度：±0.5C/800mm（1200℃）。3.1.4刀温时间：≤90rnin
3.1.5升温功率：<15kW/管，
3.1.6恒温功率：<7kW//管（1200℃)；3.1.7降溢速率，≥1000℃时6C/min；≤1000℃时 4℃/min。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
3.1.8定值重复性：土0.5℃；
3.1.9开机重复性士0.5℃；
3.1.10层间影响：+0.25℃。
3.1.11推角速度
行程≥1200mm；
摆速100~300/min可调：
摆幅10~20m可调；
SJ/T 31112—94
3.1.12石英工序管有效内径≥Φ130mm。3.1.13净化台操作面净化级别；一万级厂房中达-一百级（静态）。3.1.14气柜管路系统漏气率1.0133X10-\Pa?m*/sec+He3.1.15电源220V±10%.380V±10%，50Hz。3.2微机控制系统
3.2、1单管单控，CRT显示，薄膜操作面板，除装卸片外，进舟、氧化、扩散、出舟、送气整个工艺过程全部由计算机控制。
3.2.2可编程工艺步≥30步，每步定时范围oh0minOs~299h59min50s，存储五条以上成熟的工艺曲线、控制系统具有在线操作、掉电保护、工艺曲线存储、故辫自诊断，CRT显示，恒温区自调整，板警保护等功能。
3.2.3微机控制系统各开关、按钮，操作键完整无损，动作灵敏，可靠，控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良好.显示清晰。3.2.4显示器能正常显示通电自检的止常信息，微机系统通电自检功能必须正常。3.2.5输入/输H程序正确无误。
3.2.6打印机、穿孔机与主机接凹良好，工作正常。3.2.7装置内部清洁，布线整齐线路无老化、破裂，各线路标志齐全、正确。3.2.8所有裸露导体件（包括外凳），必须与保护接地端子构成通路，保证有永久良好的导电性，保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于1。3.3电气系统
3.3.1外部导线有完整的保护装置，线路外套管无脱、破损，漏电现象。3.3.2电气箱内清洁，布线整齐，线路绝缘层无老化、破裂现象；线路标志齐全、明显，各端子联接牢固、无松动；电器性能灵敏，送行可靠。3.3.3各种开关，按钮动作灵敏，安全可靠。3.3.4各种仪表指示正确，误差在允差范围内，有有效期校验合格证3.4气路系统
3.4.1气路系统装置齐全、整洁，管路联接牢固、密封性好，尤泄漏。3.4.2各元件动作灵敏、可靠阀与管道联接密封良好，无泄漏。3.4.3各种仪表性能灵敏，指示正确，有有效期内校验合格证。3.5操作系统
3.5.1各操作开关、按钮启动灵活，定位标志齐全，可靠。3.5.2各种保护装置齐全，性能灵敏，安全可靠。2
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3.6安全防护
S.J/T 31112-- 94
3.6.1各安全防护装置、报警装暨状态良好，功能齐全、有效·性能灵敏、可靠。3.6.2设务接地可靠，标志明垦。3.7维护探养
3.7.1净化工作台操作仙的净化级别，必须达到并保持在规定范围内。3.7.2其它按SJ/T31002—94《设备维护保养通则》执行。4检弯、评定方法
4.1检查方法
4.1.1单点温度稳定性
静态下，升温至1.作温度，待稳定后，用标准铂佬-铂测量热电偶，每10min，连续24h测得炉膛中点的温度，然后用均方根值法或最大偏差法（即所测备点最人值与最小值之间的差值）：求出温度偏差值，再除以2.4得单点稳定渡。4.1.2恒温度长度及精度
静态下，升溢个工作温度，待稳定后，沿炉膛中心轴线，从恒温区距炉口最远点测起，每10min（测量点间隔100mm）测-点，依次往炉口方向连测9点，所测点温度间的最大偏差，即为800mm恒温区精度，
4. 1. 3 升温时问
将温度预置为1200℃，从开始升温计时，升至1200时，所需的时间，即为升温时间。4.1.4升温功率
静态下.炉手全速升溢时，测得炉子的总电流1，然后再测当时的电网电压U，即得溫功率W=UI。
4.1.5恒温功率
静态下，升温至1200，温度稳定后测得炉子的维持电流1线，再测当时的电网电示V即得恒温功率Wt √·i邹
4.1.6 定值重复性
静态下，升温至某定值，稳定后測得炉管中点溢度，然后改变定值，最后再恢复原定值,待稳定再测炉管中点温度L2则按下列公式计算：定值重得性=上至-±下载标准就来标准下载网
4.1.7开机童复性
静态下，升温至工作温度，待稳定后测得炉管中点温度值t，然后关机24h，再升温至源定值.稳定后测得炉管中心温度t则：开机重复性±
4.1.8层间影响
静态下，管升温至工作温度，稳定后测得单点稳定性，再使相邻管.工作，此过程中第“管对第管单点稳定性的影响,即为层间影响。4.1.9净化台操作面的净化级
用“生埃粒子计数器”测划
4.1.10气路系统的瀚气率
SJ/T 31112- 94
按He检凝仪的需要.将每路气路接入检漏仪检滞，即可得出气路系统的漏气率。4.1.11对系统完好要求所列内容，在设各现场，采用主观法验查：4.2评定方法
42.7好要求所列内容.3,1.2、3.1,8、3.1.5、3.1.8,3.1.9.3.1.13、3.1、14、3.6.1.3,6.要项与，其余为次要顶中。
4-2、2定要项目有--项不符合要求，为不完好设备；次要顶日有二项不衍合婴求，亦为不完好设备，
4.2.3究好设备的维护保养：应达到优等设备标准。附加说明：
本标准出电了业部经济运行与体制改革同提出。本标准由电广工业部第48所组织起草。本标主要起草人：陆潜良
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