【电子行业标准(SJ)】 15B型磨片机完好要求和检查评定方法

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15B型磨片机完好要求和检查
评定方法
1主题内容与适用范围
本标准规定了15B型磨片机的完好要求和捡查、评定方法。SJ/T 31117—94
本标准适用于15B型磨片机和9B型磨片机，其它磨片机亦可参照本标准有关条款执行。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1磨后硅片厚度允拳：
2.1.2磨削速率：
2.1.3磨盘转速：
2.1.4空气压力设定：
2.1.5磨片压力：
±2.5μm/盘。
3—5+μm/min。
5-65,r/min;无级变速。
0~3. 8X105Pa。
5.9×10~9×10°Pa；可调。
2.1.6磨片尺寸硅片直径：
2.1.7磨片厚度：
2.1.8廉盘平整度：
2.2操作系统
2”-6\。
0.3530,mm。
50μm。
2.2.1各操作开关，按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全。2.2.2制动，限位装胃齐余，灵敏可靠。2.3传动系统
2.3.1修正齿轮，隔离片无明显破损。2.3.2齿轮传动部份工作正常，定期保养.润滑链条松紧得当。2.3.3自动加油系统工作良好，离合器等工作止常，齿轮无严重磨损。2.3.4汽缸及安全机构安装正确，工作可靠。2.3.5下盘定位确，保证定位面整洁。2.4气路系统
2.4.1气路系统的运动件在规定的各种速度范围内，不应发生振动和显著的冲击，不应有停滞现象。
2.4.2各电磁接触器、磁力启动器，继电器动作灵敏可靠。2.4.3气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应固，密封良好，无漏气现象。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
SJ/T 3111794
2.4. 4各气动阀、手动阀工作正常，所启-关闭灵污,到位T作正常。2.5电气系统
2.5.1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确可靠，各种线路标志明显.联报可靠,线路沾破损老化，
2.5.2电气系统装置齐全，管线完整,性能良好，运行可靠。2.5.3备种开关动作灵敏，自动保护装置及报警装留齐全，安全川靠，工作灵敏可带，2.5.4控制器按键操作灵活可靠。2.5.5面板按钮和操织杆灵活可靠。2.5.6良动保护装置，连锁装置齐全，工作止常。2.6发全防护
2.6、1设备保护盖板、挡尘板疗全完坚无损半围、可靠，2.6.2安全装管定期检查，「作年固可靠。2. 6. 3磨料盘搅拌机工作正常,停机切记放下上盘。2.6.4外壳、电机接池可靠，
2.7维持邦保养
按SI/T31002---94\设备维护保养通则执行。3检查,评定方法
3. 1检查方法
3.1.1用测微仪，下分穴尺、数显转速表·米·级直尺，塞尺等检测信片率度、磨削逐率、磨岛转速，
3.1.2对各系统完好要求所列内容，除有参数要求，运用相应测量器具检测外，其余项川在没备现场采用丰观方法行检查
3.2评定方法
3.2.1主要项日有2.1.1、2.1,2,2.1.3、2.1.4、2.1.5、2.1.8.其余为次要项目。3.2.2主要项目有一项不符合要求.为不完好设备，次要项I有一项不符合要求，亦为不完好段备、
3.2.3完好设备的维保养，应达到优等设备标准，附加说明：
本标准由中子工业部经济运行与体制改掌司提。本标准中中国华品电了集团公司组织起草。本标谁主要起草人：顾军建、吴正伟、周伟支、顾伟恶。2
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