【电子行业标准(SJ)】 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规让「掩膜对雅爆光机的究好要求和检查、评定方法。SJ/T 31119—94
不标准适用于接触曝光以及同时具各接触曝光和按近哦光功能的掩模对准曝光机。2宪好要求
2.1性能要求
2.1.1显微镜分辨率、焦深应符今下表规定。表1
分辨率
21,0~3. 0
3=3. C~5. 0
分释率优于
2.1.2操光灯启耀性能应良好，在冷态情况下，必须在3次启动之内完成启辉。2.1.3有效躁光光束直径应符合下表规定表2
萃木尺(mm)
数强光光束益径（mm）
?.4噪光光束在掩模版上的光强不均句性.在配备有梯度滤色片时，应达到或优于13%；熟配备席度滬色片时，应达到感优于士8%。2.1.5定时履光装毕的控制时间可在0.1~99.95范用内选祥。在6.399.9s内，定时曝光特没内间误差不大于5关，时间重复性误差不大丁2。2.1.6操光t积分装片的曦光量积分档次可在0.1-~99.9%落国选择。在6.3~99.内，曦完设司分装的积分误券不大厅土5公，补偿误差不大于，5%：2、.2传南系统
2.？.1模对准爆光机进行掩模对准附，扫描部件及播模版架在X.Y方间移动应灵活、平中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06实施bzxZ.net
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2.2.2片架盒上下移动应灵活、平稳.升降累积误差不人于士0.5mm。2.2.3全白动掩模对准噪光机的预对证度在X，Y方向应优于土0.15mm，半自动掩模对准噪光机的预对准精度在X，Y方向优于：.0.30mm。2.3电气系统
2.3.1电器性能良好、运行可靠，护装置齐全，有效。2.3.2线路完整，绝缘层彼裂，无漏电现象。2.4安全防扩
2.4.1掩模对准曝光机的绝缘电至不得小于2M0。2.4.2在1500V交流电压下，初级电路与机壳问游前压imin不被穿和不产生放电，渐电流不大1.0mA。
2.4.3掩模对推曦光机应有明显的接地标志。2.5维护保养
按SJ/T31002-94设备维护保养通测执行3检查、评定方法
3.1检查方法
3.、1用自视法检查曝光灯的安装：在3天内检查曝光灯启辉性能10次。3.1.2用照度计测基掩模对准曝光机最大可曝光基片面积上的光强不均勾性。光强测量点如图所示（图中中分别为50mm.75mm、100mm、125mm，150mm），试验数据按公式（1）处理。4
光强不均匀性测草点示意阁
Eur - Em × 100%
U=++Ea
武中：U一所测直径范围内：光强不均勾性；Fm所测圆周四点及中心点5个位置中的最大光强值,mW/cm\；一所测圆周四点及中心点5个位置中的最小光强值，mW/cm\。Eaa
3.1.3将赚光时间分别调整到6.3.10.16.25.40,63.80,99.9S的位置上，在每一设定时间下，月最小计时址为0.01s的电子秒表实测二次。按公式（2)计算是时系统的时间误差。1) = 二: × 100%
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式中:1)一一定时曝光装置设定时间为 t.的时间误差%；t,--—定时曝光设定骤光时间，s一各设定喉光时间下，三次实测光时问算术均值，s将爆光时间的设定值调整到10s和25s的位冒上，分别开启10次，用最小计时量为0.015的电于秒表实谢曝光时间·用公式(3)计穿曝光时间重复性误差。Rm_m × 100%
式中：R.——定时曦光装置的时间重复性误差，%；tma.--10 次测量中,实测的最长赚光时间,s1fmn——10次测量中，实测的最短曝光时间，s，i,—10次测量曝光时间的算术平均值，s;3.1.4升降片架盒，并则游标卡尺检测片架盒升降累积误差。3.1.5用自动击穿装置在500V直流电压下，测量初级电路与机壳间的绝缘阻。（3)
3.1.6用自动击穿装置测试耐压性能，初级电路与机壳在1500V交流电压下，imin内不被击穿，不产生放电现象，并从自动击穿装留上读取电流大小。3.2评定方法
3.2.1上要项目有2.1.2.2,2.3中各条及2.4.1,2.4.2条。其余为次要项目3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标由国营南光机器厂组织起草，本标准主要起草人：王洪波。
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