【电子行业标准(SJ)】 AEC－2200型常压CVD完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
AEC-2200开常压CVD完好要求
和检查评定方法
1主题内容与适用范围
S.I/T 31124 -94
本标雅规定了AEC-·2200型CVD的宽好要求和检查、评冠方法，本标准只适用于AEC—2200型CVD2完好要求
2.1主要技本术性能指标
2.1、1热板温度分购封性：4605（）2.1.2喷买喷射气体膜罩均勾性（内、片间批间）：0.70um，At派1，2.1.3CV膜表仙质量成本发花即5元以1的期粒每片成0个；2.1.4（密检：N1.96x10Pa.2得成小1.5×Pz2.1.5质流量计根示效字跳动：二1格，2-2探准系续
2.2.1各操作开美.按凯户动足活.定位可常，标志齐全。2.2.2限位装齐余，灵激可靠。
2.3传动系统
2.3.1上、下料传动装置运代可能。2.3.2齐皮萨，滚轮，滚珠，链条杀等灵活可。2. 3.3热板送行速度平稳可靠：2.3.4喷气头支求高度调整机构灵活呼靠2.4路系编
2.4.1年气、气动液、电磁阀、流垫计工作正带。2.4.2N.0).长头工作正常，指示正确、误差在允许范调内，月有有效期检验合格证2.4.3依冬连接头管道，阀门元件之间联接牢固无滞一程堵寒现象。2.5电（系统
2.5.1电气箱内清洁布线整齐.线路无被损老化.各种线路标志明显，联接可靠。2.5.2自动保扩及报整装置齐全，1作正常，各熟热挖制部分安全可带2.5.3各指示灯齐全完整，半示正确：备按开美表活可带.各仪示止铺，1维可。2.5.4各电乐，电流表火指示止确，深差在允许范用内.过有有效期内较验含格证，2.5.5加热控制部分安全可单
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1
1994-0601实施
2.6微机控制系统
SJ/T31124—94
2.6.1各开关，接钮、操作整无损、！军灵，叫克，制装臂各组戒部分堡持完整，功能齐全、性能稳定，工作状态良好，能尔游脚。2.6.2显示器能正常显示通也自检的正常信息，微机系统通电白检功能必须正常2.6.3输人/输出理序正确尤误。2.6.4装罩内部消洁，布线整齐、线路无老化，破裂，各线路标志齐全、正，2.7安全防护
2.7.1电绝缘装罩良好，
2.7.2各防护盖板安装牢固，齐金，完整。2.7.3门帘开关工作良好.排毒气装置工作可靠。2.8维护保养
2.8.1确保设备内外清洁，整齐，无摔硅屑片及杂物，无油垢，无锈蚀。2.8.2其它按ST/T31002--94设备维护保养通则》执行。3检查，评定方法Www.bzxZ.net
3.1检查方法
3.1.1对热板温度分布均匀性用HL—300温度计测试热板表面10-个点取平均值：3.1.2膜厚分布均匀性1AFF200膜厚测试仪进行检测硅片。3.1.3对0.5μ以上颗粒小于10颗，采用镜检方法执行检查。3.1.4对其它顺目采用现场主观方法进行检查。3.2评定内容
3.2.1主要项目2.1.1,2.1.2,2.1.3,2.1.4.2.1.5,其余均为次要项月。3.2.2问要项日有一项不符合要求，为不完好设备欲要项四有二项不符合要求，亦为不完设备。
3.2.3完好设备的维护误养，应达到优等设备标准。附加说明：
本权准出库.于工业部经济运行与体改司提出。标雅巾中国华晶电于华团公司组织起草。本标滩主要起草人，恶展辉范建超、顾军建、垦正伟2
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