【电子行业标准(SJ)】 PET－5500型常压CVD完好要求和检查评定方法

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PET---5500型常压CVD完好要求
和检查评定方法
1主题内容和适用范围
本标准规定了PET550C塑CVD的完好要求和检代、评定方法。本标准只适川于PE-5500制CVD。2完好要求
2.1主要技犬性能指示
SJ/T 31125--- 94
2.1.1热酸温度分均性：1303（：间测点在8h券.=2（2.1.2喷头喷射气本膜厚均性（片内，片间、批间）：（.5上5%m即210x5%）2.1.3膜表面质量应基不无发花，卵0.5m以上的颗粒每片成小于10个。2.1.4气缩性>检查：正力1.96×10a，经h泽4.9×10pa%2.1.5质量流量计显示数字整动：±1格2.2操作系统
2.2.1应操作开关、按创启动火活、定可靠、标乐济食。2.2.2制动限位装置齐全，灵可节。2.3传动系统
2.3.1热板运行速度平稳可带。
2-3.2滚轮，钢丝绳等史活可囊。2.3.3喷气头支承高度调整机构天活可带，2.4气路系统
2.4.：各汽征、电磁谢气动阀、流量计1作正常2.4.2N0表指录敏、可赏、误落在规定范团内.有行效期检验合格证2.4.3管道与阀各联接点联接固密封生好，无泄谢和诺宽现象。2.5电气系统
2.5.1中箱内清站，布线整齐，线路儿被积老化，各种线路标志明妮，联接可货2.5.2自动保护及报整装置齐全，工作正常，2.5.3加热控制部分安全可常。
2.5.4齐指示灯齐全，指示准确，各按钮开关灵活可靠，各仪衰指示准所，工作可靠，2.5.5各科仪表性能良好，功能可节、毕示准确、误差全规定范围以，有有效期长验合格证。2.6微机控制系统
中华人民共和国电子工业部199404-15批准1994-06-01实施
SJ/T31125—94
2.6-1各开关、按扭操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装胃各红成部分保持完整、功能齐全、性能稳定，工作状态良好，显示清晰。2.6.2显示器能出常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。2.6.3输入/输出程序正确无误。2.6.4打印机、穿孔机与主机接口良好，工作正常。2.6.5装置内部清洁，布线整齐，线路无老化、破裂，各线路标志齐全，正确。2.6.6所有裸露导体件（包括外壳）、必须与保护接地端子构成通路，保证有永久良好的导也性，保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的附不得人于1。2.7安全防护
2.7.1电气绝缘装置良好。排毒气装贸工作可靠。2.7.2门帘开关良好。
2.8维护保养
2.8.1确保设备内外清洁、整齐，无碎硅屑片及杂物.无汕垢，无诱蚀2.8.2其它接S]/T31062--91设务维扩保养造测执行。3检查、评定方法
3.1检查力法
3.1.1对热板温度分存均匀性，用H[--300温度计测试热板表拍温度10个点求平均送：3.1.2膜厚分布均句性用AFF20G膜测试仪进行检测硅片，3.1.3对0.5u的上颗粒<10个，-般采消镜检片法来轮代。3.2评定内容
3.2.1主要项目2.1.1.2.1.2.2.1.3.2.1.#.2.1.5,2.7.1.3.7.2:其余构为次要项母3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二顶不特合要求，亦为不寇设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到代等议备示准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体改司提出。太标雅出中国华品电子集团公司负责起草。太标准主要起草人：冯金良、郑振势、杨建厨、顾军建、吴正佛，HKAONTKAca-
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