【其他行业标准】 铂蒸发料

ICS 77.150.99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1123—2016
Evaporated platinum material2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2017-01-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院。YS/T1123—2016
本标准主要起草人：张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋。I
1范围
铂蒸发料
YS/T1123—2016
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容，
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1419—2004海绵铂
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T15077—2008
3贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求
3.1产品分类
3.1.1产品按照化学成分分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号，3.1.2产品主要分为片状、柱状，如图1所示。产品形状、定义及供货状态应符合表1的要求，需方有其他要求时由供需双方协商解决。L
说明：
A—长度；
B——宽度；
C—厚度；
a)片状
b)柱状
长度；
D直径。
铂蒸发料示意图
铂蒸发料分类
厚度为0.5mm~5mm，长度为5mm~20mm，宽度为5mm~20mm的片材直径为2mm~8mm，长度为3mm~10mm的丝线材供货状态
加工态
YS/T1123—2016
牌号表示方法和标记示例
片状标记示例
IC-Pt99.99-mm×mm×mm-YS/T1123—2016厚
示例：长为10mm、宽为10mm、厚为2mm、纯度为99.99%的片状铂蒸发料产品标记为IC-Pt99.99-10X10X2mm-YS/T1123—20163.2.2
柱状标记示例
IC-Pt99.99-mm×mm-YS/T1123—2016长度
示例：直径为6mm、长为6mm、纯度为99.99%的柱状铂蒸发料产品标记为：IC-Pt99.99-6X6mm-YS/T1123—20163.3
化学成分
产品的化学成分要求见表2。
IC-Pt 99.95
IC-Pt99.99
IC-Pt99.95
IC-Pt 99.99
Pt（质量分数）/%，
不小于
Pt(质量分数）/%，
不小于
铂蒸发料的化学成分
杂质含量（质量分数）/%，不大于Au
杂质含量（质量分数）/%，不大于Rh
注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。a杂质总和为表中所列杂质实测值之和。b铂蒸发料的铂含量为100%减去表中所列杂质实测值之和的余量。3.4
几何尺寸
产品的几何尺寸及允许偏差见表3。Si
杂质总量“免费标准bzxz.net
允许偏差
外观质量
表3几何尺寸及允许偏差
产品表面应光亮平整、洁净，边角完整、无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。产品表面应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。3.5.3
试验方法
YS/T 1123—2016
单位为毫米
4.1产品化学成分的分析方法按GB/T1419一2004中附录A和附录B的规定执行。4.2产品几何尺寸测量按GB/T15077一2008的方法1直接测量法执行。4.3
外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5
检验规则
检查和验收
5.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填写质量证明书。
5.1.2需方收到产品，可按本标准的规定进行复验。如复验结果与订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
5.2组批
产品应成批提交检验。每批应由同一熔炼炉次、同一几何尺寸的产品组成，5.3检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。表4
检验项目、取样位置及数量
检验项目
化学成分
几何尺寸
外观质量
取样位置
成品随机取样
成品随机取样
取样数量
每批2粒
按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品要求的章条号
检验的章条号
YS/T1123—2016
5.4检验结果的判定
5.4.1化学成分不合格时，则判该批产品不合格。2几何尺寸、外观质量不合格时，重新取双倍样进行重复试验，若仍有不合格，对余下的产品按几5.4.2
何尺寸、外观质量的取样数量进行检验，合格者重新组批交货。标志、包装、运输、贮存和质量证明书6
6.1标志
在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，注明以下内容：产品名称；
b）纯度；
c）规格；
d）净重；
批号；
生产日期；
供方名称；
生产厂家地址电话。
包装、运输和贮存
产品内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂6.2.1
无贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。6.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，并保证运输过程中产品及包装完整，6.3
3质量证明书
每批产品应附有质量证明书，并注明以下内容：a）
供方名称；
b）产品名称；
c）纯度；
d）规格；
数量；
f）净重；
g）批号；
生产日期；
本标准编号（YS/T1123—2016）。订货单(或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括以下内容：a）产品名称；
b）纯度；
c）规格；
供货状态；
数量；
f）本标准编号（YS/T1123—2016）；其他。
YS/T1123—2016
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