【其他行业标准】 铂蒸发料

ICS 77.150.99 H68 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1123—2016 铂蒸发料 Evaporated platinum material 2016-07-11发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 2017-01-01实施 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院。 本标准主要起草人：张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋。 1 范围 本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1419—2004 海绵铂 GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1 产品按照化学成分分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。 3.1.2 产品主要分为片状、柱状，如图1所示。产品形状、定义及供货状态应符合表1要求。 表1 铂蒸发料分类 片状：厚度0.5mm~5mm，长度5mm~20mm，宽度5mm~20mm的片材，加工态供货。 柱状：直径2mm~8mm，长度3mm~10mm的丝线材，加工态供货。 3.2 牌号表示方法和标记示例 3.2.1 片状标记示例 IC-Pt99.99-长×宽×厚-YS/T1123—2016 示例：IC-Pt99.99-10×10×2mm 3.2.2 柱状标记示例 IC-Pt99.99-直径×长度-YS/T1123—2016 示例：IC-Pt99.99-6×6mm 3.3 化学成分 产品化学成分要求见表2。 IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两种牌号铂（Pt）含量分别不小于99.95%和99.99%。 主要杂质元素包括Ag、Al、Au、Bi、Cr、Cu、Fe、Ni、Pd、Pb、Rh、Ru、Si、Sn、Zn、Mg、Mn等。 其中各杂质含量一般不大于0.005%~0.02%范围（不同元素对应不同限值）。 杂质总量：IC-Pt99.95不大于0.05%，IC-Pt99.99不大于0.01%。 3.4 几何尺寸 产品尺寸及允许偏差见表3。 片状：A 10.0/15.0 ±0.5；B 10.0/15.0 ±0.5；C 2.0 ±0.2 柱状：D 2.0/3.0 ±0.2 3.5 外观质量 产品表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 产品表面应清洁、无油污和锈蚀，应无颗粒附加。