【电子行业标准(SJ)】 电子级氩

中华人民共和期电子工业部部标准电子级氟
SJ2797-87
本标推适用于乎导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氢，按其便用要求电子级氮分为两级，代号为：电子I级愈代号为：DZAr—Ⅱ，
电子1级代号为，DZAr—I。
技术要求
1.1电子级鼠应符合表1中的要求：表1
指标名称bzxz.net
含，Ppm
氮含进，Poms
，ppm
甲说含这，pm医
一微化碳十二筑亿
含，m
水你命思，Ppm
后盗举例
电子级颤技术指标
3(20.2 μm)
用牛放制大登经优
硅单晶利化学气
和沉数等
准，丧1中气体合迹均为体积比
电子工业部1987-05-18发布
3 (≥0.5 μm)
用了退火、粘接和
烧给与刻体等
1988-10-01实摊
SJ2797—87
1,2电子级氩的含最（C氢）应按下列公式计算：C1 00-2C%
式中：C氢电子级体积百分含度；C氢—“杂质体积百分含量
2试验方法
2.1电子级氢中杂质含量应按表2规定的方法进行检验；表2电子级氢中杂质检验方法
一或化碳
二墩化癣
经路法标造
SI2801-87
SJ2804.1-87
SJ2304,2-A7
GBe785-85
SJ2R00-87
SJ2801-87
SJ2802-87
SI 279A-87
GB 5832 .1-86
SJ2798-87
检监方法名踪
屯子级气中痕量氢的测定方法
气破孕萨诺
老子设或巾续尿娠的认定可法
“李温教统总潜法（一）
自学级随与您就烈的测定方法
交温斑缩色谱法（二）
气法与微母衰的谢定
电化学法
电子级气体中推通型流的谢定
文法复茹色谱法
电子级气体中症盈一罕化的
澳定方法登转比色谱法
屯于设气体中能坦二辑化致的
设街法军名我化危措法
级气体中痕监水公的定
无法祠年！法，
气传中微民家份的测定
牛解法
主子级气作中教教的测定方供
我敬法
0：5PP以下氛含量测法标限待定。，8m以题检测定方法标准待定，3验规见
SJ2797—B7
3.1电于级瓶山川亿单位的检监部门按技术指标经常检验，应符合本标准的规定，3.2电子级氟的检验（取样）点在纰化装置弃用气设备的智段。见下图所示
检验点
图检验（取榨）点位胃
用气设备
当检验点前的气源改变时，必须检验2～8项各种指标，应符合本标准的规定。纠化置充用设备的管路、督接件和过滤帮更换与维修后，检验表1中4与8两项拍标，应符合本标推中的规定。3.5
检验用的仅器与检验点之间使群的金解管道融接连接，管道应尽量短，不得有泄铺和预法游
荫加谎明，
本标准由中国电子学会潜净技术学会提出，由电子工业部标准化研究所主办。本标握由电子工业部标雅化研究所赵长春、第二十四研究所夏立生和北京市半导体器件试验中心周定华起草和修讨
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