【电子行业标准(SJ)】 电子级氮

中华人民共和国电子工业部部标准电子级氮
SJ279581
本标准适用于导体材料分立器体和集成电略生产工艺过程中使用的电子级，按其使用要求电子级氮，办为兰级，代号为：电了I级氮代号为：DZN一I：
电子I级氮代号为：DZN1，
电子I级氮代号为：D2NaI
1技术要求
1.1电子级裁应符合表1中的要求：表1电子级氟技术指标
指标名
氢含鼠，PPm
罕含受，ppms
复化碳十三化
，ppn
甲流合址，ppm
冰份含盘，ppm≤
颗拉穿苯，
用离例
3(n,2 μm)i
刑于都分大
规模和途
魏斑华酸面
路相出器
浩市湿处刊
社，表1中气本漫均为体积比。
电于工业部1987-05-18发布
用手部分大
规模凯河小
现模您欢电
路及胡滤器wwW.bzxz.Net
性离误处理
视具工
要流确
要求确究
用于欧的、
于燥等常误
1988-10-01实施
SJ2795-87
电子级氮的含量（C氮）按下列公式计算，1.2
C=10%—C茶
武中：C瓦一一电子级氮的体积百分含虐；C
试验方法
质的体积首分含量。
2.1电子氮中杂质含量应按表2规定方法进行检验。囊2电子级氨中杂质检验方法
杂质种炎
一化磁
三战化跋
格验方法徐号
GE 6 285 -85
SJ2807~78
SI?a01-RT
SI2802-87
SI2793-82
GB5A32-1-36
S279R-2
检渝方法名称
气军中微蛋实药测定
电化华法
非了级汽谢即痕正等的调方
气敏的语法
点一级与浓这一化碳竹
生治转化血设法
亢报与来中班盘二氧化像的
谢定法
氢烤轻化色法
非子气体中旗最太竹的刻定
万法目视蒸点店
汽学出谢划家份超调室
#解法
电子圾气体中新封测定方谈
逆教射法
：0以下载含世法标准待准
，m以下欢拉视完方法标准待定，3检验规则
3.1电子级氮山用气单位的质意检验部门按技术指标经常检验，应符合本标准的规定。3.2电子级氮的检验（取样）点在纯化装置至用气设备的管段。见下图所示：检验点
气源·
图检验（取样）点的位置
用气设备
SJ2795-—87
3.3当抢验点前的气源改变时，必须检验表1中2～了项各种指标，应符合本标准中的规定。
3.4纯化装置用设备的单略、管接件和过懿器更换与维修后检验丧中8和7两项指标，应符合本标准中的现定。3.5检验用的仪表与拎验点之间使和的金属管道硬接连接，管道应尽量短，不得有\和二次污染。
附加说明：
本标准由中国电子学会净技术学会提出，由电子工业部标准化研究所主办。本标准由电子工业部第十设计研究院陈霖新和谭易和，电子工业部标准化研究所赵长赛和北京市半导体器件试验中心周定华起草和修订，