【电子行业标准(SJ)】 电子级氧

中华人民共和国电子工业部部标准电子级氧
SJ2796—87
本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级：代号为：电子I级载代号为：DzO2—I
电子【级筑代号为：DZO—1。
技术要求
1.1电了级氧应符合表1中的要求，1电子级氧氟技术撒标
指标名称
性含母，
的含，Ppm
串烷含盘，Ppm
氧化碳十二笃龙
含，ppm≤bZxz.net
水份含，PPm=
频程命，
州迩学例
招于大规模和超太期
模筑戒电路及其相
的共电路(群件)药
轻化、北气柏江朝
注，表！中英举含均为体比，
电子工业部1987-05-18发布
3<20.5μm)
H于其旭老路(踏件)
步产、等两于刻他和
等离子制商等
1988-10-01实施
$J2796—87
1.2电子级氧的含量（C氧）应接下列公式计算：C=1 00%-≤C
式中，C至“一电子级氧体积百分含量：C案
斌验方法
架质体积百分含量。
2.1也子级氧含孟及其氧中杂质含量应按表2规定的方法进行检验。电子级单含燃及其氧中杂质检验方法袋2
深透和
一双化酰
二烟安族
格验方法标治
GB9903-a3
SJ2807-87
SJ 2A51-?
SJ 28h1-87
SI2542-87
SI 2703-87
SJ 2798-87
注，0,3 μI以下效别定分泌标准特定,3检验规则
检验法名
工业指术中的家法
也子级与作中痕录氨的测定方
或我色语来
级”越
穿快公培经谐法
老等技气作中病量一化膜心
点留教化色难法
定子设汽作水底果实化积商
氢新转包语法
谢些医
电级气伴内度性水份的让
方法日视露点
电子级气体方凝粒的凝定方法
光散穿法
3.1电子级氧出用气单位的质量检验部门按技术指标经常检验，应符合本标准的规定3.2电子级氧的检验（联样）点在纯化装置率用气设备的管段。见下图所示：2
$J2796—87
检验点
图检验（取样）点的位置
用气设备
当检验点前的气源设变时，必须检验表I中1～6项各种指标，应符合本标准中的3.3
规定。
3.4纯化装蟹率用气设备的管路，管接件和过滤器更换与维修后检验表中4和6两项指标应符合本标准中的规定。
3.5检验用的仪表与检验点之间使用的金属管道硬接连接，管道应尽董短，不得有泄漏
和二污架。
附加说明：
本标准由中国电子学会洁净技术学会挺出，由电子工业部标推化研究所主办。本标准由电子工业部第二十四研究所林摇泽、电子工业部标准化研究所赵长春和北京半导体器件试验中心周定华起草和修订。3
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